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活動組織 - 日本半導体製造装置協会
活動組織 -委員会- 福永 明(委員長) 村尾 幸信(副委員長) 小方 誠司(副委員長) 門倉 好之 松下 兼人 堀部 久夫 本田 和広 山口 哲男 山本 眞 ㈱ 荏原製作所 キヤノンアネルバ ㈱ ㈱ アルバック ㈱ アルバック 芝浦メカトロニクス ㈱ 日本エンジニアリング ㈱ 日本電子 ㈱ ㈱ ニューフレアテクノロジー 村田機械 ㈱ -リソグラフィ- 安田 洋 松永 隆 山田 雄一 加藤 敦彦 西村 裕幸 浅井 正也 山口 忠之 中島 英男 森 晋 佐本 典彦 山口 哲男 * 峰岸 裕一郎 佐藤 功 ㈱ アドバンテスト ギガフォトン ㈱ キヤノン ㈱ ケーエルエー・テンコール ㈱ 信越石英 ㈱ ㈱ SOKUDO 東京エレクトロン ㈱ 東京エレクトロン ㈱ ㈱ ニコン 日本電子 ㈱ ㈱ ニューフレアテクノロジー 富士電機システムズ ヴィステックセミコンダクタシステムズ ㈱ -ウェーハプロセス- 柴田 健二 門倉 好之 * 金津 桂太 徳重 克彦 鈴木 俊治 天井 秀美 村尾 幸信 鈴木 則夫 野中 幹男 今井 正芳 アプリシアテクノロジー ㈱ ㈱ アルバック ウシオ電機 ㈱ ㈱ 荏原製作所 ㈱ SEN エス・イー・エス ㈱ キヤノンアネルバ ㈱ クリーンテクノロジ ㈱ 芝浦メカトロニクス ㈱ 大日本スクリーン製造 ㈱ 石原 大内 鈴木 池田 中嶋 大形 樫田 野尻 良夫 明 良守 慎悟 定夫 俊英 和夫 一男 ★社名順(*印はWGリーダ) ★ご退任の方は活動時の社名で記載。 大陽日酸 ㈱ 東京エレクトロン ㈱ 日新イオン機器 ㈱ 日本エー・エス・エム ㈱ ㈱ 日立国際電気 ㈱ 日立ハイテクノロジーズ ㈱ 日立プラントテクノロジー ラムリサーチ ㈱ -M&S- M&S- 小方 誠司 * 小林 司 堀 勝 豊田 一行 渡辺 元之 田中 正明 田中 雅人 ㈱ アルバック キヤノンアネルバ ㈱ 名古屋大学 ㈱ 日立国際電気 浜松ホトニクス ㈱ ペガサスソフトウェア ㈱ ㈱ 山武 -計測- 塩田 隆 中川 良知 多田 光男 保坂 純男 堀江 正浩 宮崎 陽子 西萩 一夫 岡崎 智彦 本田 和広 * 瀧下 明 川田 勲 達本 剛隆 近藤 郁 アジレント・テクノロジー・インターナショナル ㈱ エスアイアイ・ナノテクノロジー ㈱ ㈱ 荏原製作所 群馬大学 大日本スクリーン製造 ㈱ ㈱ 東京精密 ㈱ 堀場製作所 ㈱ トプコン 日本電子 ㈱ 日本電子 ㈱ ㈱ 日立ハイテクノロジーズ レーザーテック ㈱ リオン ㈱ -組立- 斉藤 信利 間島 奨 松下 兼人 * ㈱ 荏原製作所 ㈱ カイジョー 芝浦メカトロニクス ㈱ Semiconductor Equipment Association of Japan 装置技術ロードマップ専門委員会 活動組織 野辺 隆 横田 寛 南條 雅俊 林 智雄 藤原 久 冨川 守 春田 亮 ㈱ 新川 住友重機械工業 ㈱ ㈱ ディスコ ㈱ 東京精密 日本電産トーソク ㈱ 日本電産トーソク ㈱ ㈱ ルネサステクノロジ -検査- 池田 浩樹 藤井 康雄 鳴海 直明 興津 光 涌井 淳夫 真弓 和明 飯塚 毅 山中 常行 尾亦 利夫 牧下 裕之 塚本 晃章 田岡 健 和久田 洋 鈴木 幸三郎 水村 勉 堀部 久夫 * 亀田 耕悦 江口 光一 麻生 裕之 村上 拓 鈴木 宏叔 三宅 直己 鈴木 威之 永田 孝弘 熊田 明俊 中山 明彦 ㈱ アドバンテスト ㈱ アドバンテスト ㈱ MJCテクノ ㈱ エンプラス半導体機器 オリオン機械 ㈱ ㈱ JSRマイクロテック ㈱ シバソク シリコンアーティストテクノロジー株式会社 ㈱ テセック ㈱ テセック ㈱ テラプローブ 東京エレクトロンTS ㈱ ㈱ 東京カソード研究所 ㈱ 東京カソード研究所 ㈱ 東京精密 日本エンジニアリング ㈱ 日本電子材料 ㈱ ㈱ 日本マイクロニクス ㈱ 日本マイクロニクス ㈱ 日本マイクロニクス 浜松ホトニクス ㈱ パナソニック ㈱ 山一電機 ㈱ ㈱ ヨコオ 横河電機 ㈱ ワイエイシイ ㈱ -FI- FI- 大谷 幹雄 蠣崎 和廣 都築 成年 村井 浩一 原口 雄次 堀 裕一 古川 幹雄 樫本 明 溝河 巧 湯澤 典久 安永 秀司 大山 幸次 川口 雅昭 岩崎 勇二 吾郷 光政 相原 敏幸 西村 剛幸 名和 健二郎 西松 福之助 迎 健一 堀井 康孝 荻原 秀昭 松田 充弘 久禮 得男 大森 雅司 森 高明 岩城 忠雄 笠間 宣行 山本 眞 * 石井 雄一郎 中澤 聖一 村上 智 アシストテクノロジーズジャパン ㈱ アプライドマテリアルズジャパン ㈱ ㈱ アルバック ㈱ システック井上 ㈱ システック井上 芝浦メカトロニクス ㈱ 信越ポリマー ㈱ 信越ポリマー ㈱ 神鋼電機 ㈱ 新菱冷熱工業 ㈱ ㈱ 大気社 大日商事 ㈱ ㈱ ダイフク ㈱ ダイフク ㈱ ダイフク ㈱ ダイフク 大日本スクリーン製造 ㈱ 東京エレクトロン ㈱ ㈱ ニコン 日本ヒューレット・パッカード ㈱ 日本アイ・ビー・エムサービス ㈱ 日本エム・ケー・エス ㈱ 日立国際電気 ㈱ ㈱ 日立プラントテクノロジー 三菱電機 ㈱ 三菱電機 ㈱ ミライアル ㈱ ミライアル ㈱ 村田機械 ㈱ 村田機械 ㈱ ㈱ ユニスリー・システム ㈱ 安川電機 -事務局- 頼金 雅春 清水 哲士 井上 香 社団法人 日本半導体製造装置協会 社団法人 日本半導体製造装置協会 社団法人 日本半導体製造装置協会 Semiconductor Equipment Association of Japan 装置技術ロードマップ専門委員会