モジュール型高速調節計 [プロセス/温度調節計]

モジュール型高速調節計
[プロセス/温度調節計]
High-Speed
controller
CEマーキング適合
UL、cUL認定
C-Tickマーク適合
（一部機種を除く）
R
モジュールタイプ
高速デジタル調節計
SRX
1秒間に40回の超高速フィードバック制御
制御演算周期25ms（0.025秒）の超高速サンプリング仕様デジタルコントローラの登場です。高分解能な入力と1/100秒単位で設定可能なPID定数・
各種パラメータ設定等を装備し、高速に変化するプロセス量を緻密かつ的確に捉え、制御演算出力を行います。
今まで制御が困難であった、フリップチップボンダのパルスヒート温度制御、ハロゲンランプアニール温度制御等といった、半導体製造プロセスにおける
RTP（Rapid Thermal Process：急速加熱処理）工程の高速度昇降温度制御、その他圧力・流量等のプロセス制御アプリケーションに対応可能です。
（℃）
200
100msサンプリング調節計
SV
PV
SRX
（℃）
200
25msサンプリング調節計
SV
PV
フリップチップボンダの
パルスヒート温度制御
100
100
1秒
1秒
調節計：当社製　SRX X-TIO-A（基本タイプ）
操作器：当社製　デジタルサイリスタユニット　THVシリーズ
ランプアニール等の
RTP装置温度制御
省スペース・省配線＞＞
コンパクトなモジュール1台で2chの制御が可能。　温度制御モジュール（基本タイプ）をベースに増設タイプの制御モジュール・デジタル入／出力モジュールを連結できます。
電源と通信ラインは連結用内部バスコネクタに集約しました。　増設されたモジュールへの配線は必要無く、省配線化が実現します。
連結されたモジュール（コントロールユニット）は制御ゾーンごとへマルチドロップ接続による分散設置も可能です。
＜温度制御モジュール（基本タイプ）をベースにモジュールを連結し制御点数・DIO点数の増設が可能＞
温度制御モジュール
（増設タイプ）
通信
(RS-485)
125mm
30mm
温度制御
モジュール
（基本タイプ）
温度制御
モジュール
（増設タイプ）
デジタル入力
モジュール
デジタル出力
モジュール
・・・・・・・・・・・・
110mm
＜CH1＞ ＜CH2＞
出力 １ 出力 ２
＜CH1＞ ＜CH2＞
出力 １ 出力 ２
温度制御
モジュール
（基本タイプ）
通信
通信
電源
電源
電源
連結用
内部バスコネクタ
電源
（DC24V）
温度制御
モジュール
（増設タイプ）
通信
コンピュータ
操作パネル等へ
RS-485
入力 １ 入力 ２
＜CH1＞ ＜CH2＞
入力 １ 入力 ２
＜CH1＞ ＜CH2＞
＜分散設置例＞
プログラム制御機能搭載＞＞
16セグメント×16パターン容量のプログラム制御機能を標準搭載しました。　DI・DOモジュールと組み合わせ、高速でコンパクトなプログラム制御システムの構築が手軽に実現します。
＊定値制御とプログラム制御は切換可能です。
パターン16
＜CH1＞
パターン16
＜CH2＞
⑮
④
パターン2
・・・・
パターン1
①
①
②
③
⑮
⑮
①
パターン2
⑭
③
②
パターン1
③
⑯
⑭
・・・・
⑬
⑯
⑭
・・・
⑮
⑭
・・・・
④
⑯
⑯
④
②
⑯
⑬
⑬
・
③
⑬
①
②
④
・・・・
流量制御
各種プロセス制御に対応＞＞
⑮
⑮
・
・・・
⑯
圧力制御
電圧連続／電流連続入力仕様を用意。
温度制御以外にも、圧力・流量等のプロセス制御アプリケーションに幅広く対応可能です。
フレキシブルなデジタル入出力＞＞
1台で最大28点の入力・出力が可能なデジタル入力モジュール（DIモジュール）、デジタル出力モジュール（DOモジュール）を用意。　DIモジュールは温度制御モジュールの運転モード各種の切換、DOモジュールは運転状態や各種イベント状態等について出力可能です。
温度制御モジュール各チャネルのイベント出力やRUN/STOP切換等を独立して指令／出力が可能です。
デジタル入力（端子台）
デジタル出力（端子台）
温度制御モジュール
＜DIモジュール指令内容＞
デジタル出力
モジュール
デジタル入力
モジュール
デジタル入力
（コネクタ）
デジタル入力（端子台）
デジタル出力
（コネクタ）
デジタル出力（端子台）
＜DOモジュール出力内容＞
バーンアウト状態
RESET
第1イベント状態
RUN
第2イベント状態
FIX
ヒータ断線警報状態
MANUAL
ＬＢＡ状態
HOLD
END状態
STEP
パターンエンド状態
ウェイト状態
＜プログラムパターン選択＞
＜オートチューニング開始／停止切換＞ タイムシグナル1～16各出力状態
ＤＩモジュールCH1～28各入力状態
＜プログラム運転モード切換＞
システム構成例
操作パネル
＜各モジュールの連結方法＞
コンピュータ
TIO-A
TIO-B
DI-A
DI-B
増設モジュール
DO-A
DO-B
基本モジュール
＜RS-485＞
モジュール
モジュール
モジュール
モジュール
モジュール
モジュール
温度制御モジュール（基本タイプ）
温度制御モジュール（増設タイプ）
デジタル入力モジュール （12点端子入力）
デジタル入力モジュール （12点端子入力＋16点コネクタ入力）
デジタル出力モジュール （12点端子出力）
デジタル出力モジュール （12点端子出力＋16点コネクタ出力）
基本モジュール
TIO-A
増設モジュール
TIO-B DI-A/B DO-A/B
＜RS-232C＞
RS-232C/RS-485
変換器
●モジュールを連結してコントロールユニットを構成するには、
先頭モジュールは必ずTIO-Aモジュールを使用します。
（TIO-B・DI-A/B・DO-A/Bモジュール単体で動作しません）
●コンピュータOSがWindows95/98/NTの場合、
送受信自動切換タイプのRS-232C/RS-485
変換器をご使用ください。
推奨品：　データリンク（株）製　CD485、CD485/V相当品
コントロールユニット
＜RS-485＞
デジタル入出力モジュール
温度制御モジュール
第1出力
第2出力
MODBUS
または
ANSI X3.28
サブカテゴリ 2.5 A4
（切換可能）
第1出力 第1出力
第2出力 第2出力
CT入力
1, 2
CT入力
1, 2
TIO-A
第1出力
第2出力
デジタル入力
1～6
デジタル入力
1～6
デジタル出力
1～6
デジタル出力
1～6
TIO-B
DI-A
DI-B
DO-A
DO-B
CT入力
1, 2
CT入力
1, 2
TIO-B
RS-485
RS-485
電源
（DC24V）
アドレス
アドレス
アドレス
アドレス
アドレス
アドレス
アドレス
アドレス
0
1
2
3
4
5
6
7
デジタル入力
7～12
デジタル入力
7～12
デジタル出力
7～12
デジタル出力
7～12
第1入力
第2入力
第1入力 第1入力
第2入力 第2入力
第1入力
第2入力
温度制御モジュール（TIO-A, TIO-B）
デジタル入力／出力モジュール（DI-A/B, DO-A/B）
●TIO-AとTIO-Bは制御仕様・制御機能が同等です。
●各モジュールは最大2点(チャネル）まで制御が可能です。
●DO-AとDO-BおよびDI-AとDI-Bモジュールについて、入出力点数を除き機能は同等です。
●連結された温度制御モジュールの各CHに対して、DI指令／DO出力の割付が任意に可能です。
●DOモジュール出力は全てオープンコレクタ出力となります。
●デジタル入出力は連結されたモジュール内にて可能です。
（マルチドロップ接続されているモジュールのデジタル入出力を扱うことはできません。）
＜第2入力をリモート設定入力として使用した場合＞
第1出力
CT入力1
●TIO-A以下に連結されたモジュールの電源・通信ラインはTIO-Aモジュール連結用コネクタで全て供給されます。
第1出力
CT入力1
TIO-A
TIO-B
コネクタターミナル
CT2-20
コネクタターミナル
（松下電工製）
CT2-20
（松下電工製）
W-BQ-01
デジタル入力
13～28
デジタル出力
13～28
（オープンコレクタ出力）
W-BQ-01
リモート
リモート
入力
入力
第1入力
第1入力
＊コネクタターミナルとリレーターミナルはいずれか選択となります
リレーターミナル
RT1S-OD16-24V-S
（松下電工製）
コントロールユニット
TIO-A
DI-A
DI-B
DO-A DO-B
アドレス
アドレス
アドレス
アドレス アドレス
8
9
10
RS-485
RS-485
W-BQ-02
11
12
デジタル出力
13～28
（リレー接点出力）
コネクタターミナル／リレーターミナル
他のTIO-Aモジュールへマルチドロップ接続可能
（最大31モジュール）
（アドレス設定可能範囲は0～99）
●端子ターミナルをDI-Bモジュールに接続すると入力用端子ターミナルとなります。
端子ターミナルをDO-Bモジュールに接続すると出力用端子ターミナルとなります。
●出力用ターミナルにはオープンコレクタ出力とリレー接点出力からいずれか選択できます。
端子説明図
温度制御モジュール
デジタル入力モジュール・デジタル出力モジュール
DI-A/B端子部(共通)
温度制御モジュール 温度制御モジュール
（基本タイプ）
（増設タイプ）
TIO-A
TIO-B
16 15 3 2
6
5
4
7
6
5
17
4
T/R(A)
3
15
2
7
SG T/R(B)
5
CT2
ＲＳ－４８５
18
11
A
FG
18 11 10 9
8
11 10 9
OUT1
リレー接点出力
OUT2
リレー接点出力
DC24V
13
B
RTD1
B
8
14 13 12
1
9
5
1
5
4
DI 1
DI 2
DI 4
DI 5
COM
4
デジタル入力
DI-A
DO-A
DI-B
DO-B
11
10
14
9
13
8
12
DI 7
DI 8
DI 9
DI 10
DI 11
DI 12
COM
デジタル入力
DO-A/B端子部(共通)
8
12
B
3
7
B
A
RTD2
2
6
DO 3
測温抵抗体
TC2
4
DO 1
DO 2
DC24V DO 6
1
5
DO 4
DO 5
COM
熱電対
IN2
電圧/電流
測定入力１
（第1入力）
電　源
6
制御出力２
（第2出力）
測温抵抗体
TC1
熱電対
IN1
電圧/電流
接地
20 19 14 13 12
NO
10
14
7
4
NO
ＣＴ入力
制御出力１
（ヒータ断線警報用） （第1出力）
19
DI 3
OUT1
OUT2
電圧パルス/電圧/ 電圧パルス/電圧/
電流出力
電流出力
CT1：第1入力用
CT2：第2入力用
20
1
6
CT1
通　信
2
6
DI 6
1
16
17 7
3 2
（基本タイプのみ）
3 2
1
3
7
デジタル出力
11
測定入力２
（第2入力）
11 10 9
* 測定入力２をリモート設定入力としても使用可能です。（電圧/電流入力のみ）
8
DC24V
14 13 12
10
14
9
13
DO 9
DO 11
DO 12
8
12
DO 7
DO 8
DO 10
COM
デジタル出力
コネクタターミナル
CT2-20
DI-B
1
2
7
10
20
8
9
10
DI 16
COM
DI 17
DI 18
15
16
17
18
DI 19
19
DI 20
20
B10 A10
DI 22
DI 23
DI 24
COM
DI 25
DI 26
DI 27
DI 26
B8
B7
DI 25
COM
DI 24
B1
W-BQ-01
A1
A6
B6
B4
DI 22
B3
DI 21
DI 28
A7
B5
DI 23
DI 27
A10
A9
A8
B10
B9
B2
COM
B1
DI 20
DI 19
DI 18
DI 17
COM
A5
DI 16
A4
DI 15
A3
DI 14
A2
A1
DI 13
デジタル入力
5
6
13
14
DI 28
デジタル入力
11
DI 15
デジタル入力
1
12
DI 14
（松下電工製）
DI 21
デジタル入力
3
4
11
DI 13
COM
（無電圧接点入力）
DI-Bコネクタ部
COM
COM
コネクタターミナル
DO-B
CT2-20
1
2
5
DO 16
6
COMDC24V
7
10
20
DO 15
8
9
10
DO 17
DO 18
DO 19
DO 20
13
14
15
16
17
18
19
20
DO 21
DO 22
DO 23
DO 24
COMDC24V
DO 25
DO 28
B10 A10
DO 26
DO 27
DO 26
DO 27
DO 28
B1
DO 25
COM
DO 24
B8
B7
A6
B6
B4
DO 22
B3
COM
A7
B5
DO 23
DO 21
A1
A10
A9
A8
B10
B9
B2
B1
DO 20
DO 19
DO 18
デジタル出力
4
DO 14
（松下電工製）
デジタル出力
11
12
COMDC24V
デジタル出力
1
DO 13
デジタル出力
3
11
（オープンコレクタ出力）
DO-Bコネクタ部
COMDC24V
DO 17
COM
A5
DO 16
A4
DO 15
A3
DO 14
A2
A1
DO 13
COM
DC24V
W-BQ-01
W-BQ-02
DO 28
リレーターミナル
RT1S-OD16-24V-S
E+
DO 26
D+
DO 25
C+
（松下電工製）
F＋
F－
デジタル出力
（リレー接点出力）
VCC GND
DO 24
B+
DO 23
A+
DO 22
9+
DO 21
8+
DO 20
7+
DO 19
6+
DO 18
5+
DO 17
4+
DO 16
3+
DO 15
2+
DO 14
1+
DO 13
0+
DC24V
F－
F+
DO 27
VCC
E－
D－
C－
B－
A－
9－
～
8－
+
AC
（DC電源も可能）
7－
6－
5－
4－
3－
2－
1－
*COM（コモン）は独立も可能
0－
NC
GND
不使用
仕　様
温度制御モジュール　（TIO-A/B）
入　力
入力点数
2点 (チャネル間絶縁)
※　第２入力をリモート入力として使用可能。
入力の種類
a) 熱電対・低電圧グループ
熱電対　：K, J, E, T, R, S, B, N (JIS/IEC)
PLII (NBS), W5Re/W26Re (ASTM)
直流電圧(低)　：DC 0～1V, DC 0～100mV, DC 0～10mV
b) 測温抵抗体グループ
Pt100 (JIS/IEC),　JPt100 (JIS) ※三線式
c) 高電圧/電流グループ
直流電圧（高)　：DC 0～5V, DC 1～5V, DC 0～10V
直流電流　：DC 4～20mA, DC 0～20mA　(入力インピーダンス 250Ω)
＊グループ内ユニバーサル　サンプリング周期 0.025秒
ヒータ断線警報：HBA
（オプション）
警報点数
２点
入力の種類
電流検出器（CT）　CTL-6-P-N, CTL-12-S56-10L-N のいずれか指定
入力範囲
CTL-6-P-N　：0～30A
CTL-12-S56-10L-N　：0～100A
ヒータ電流表示範囲
0.0～100.0A
ヒータ電流表示精度 入力値の±5％または±2A （いずれか大きい方の値以内）
出力方式
警報状態を通信データとして出力
プログラム制御
パターン数
最大16パターン (1パターンあたり最大16セグメント)
*パターンリンク機能あり
許容入力導線の影響 １線あたり最大10Ω以内(測温抵抗体入力）
セグメント数
最大256セグメント (16パターン×16セグメント)
入力断線時の動作 熱電対入力　：アップスケール
測温抵抗体入力　：アップスケール
DC 0～100mV, DC 0～10mV　：アップスケール
DC 0～5V, DC 0～1V, DC 1～5V, DC 0～10V　：0V付近の値を指示
DC 4～20mA, DC 0～20mA　：0mA付近の値を指示
プログラム設定
レベル設定 （ＣＨごとの設定）
セグメント時間 （CHごとの設定)
設定範囲
レベル　：入力範囲と同じ
セグメント時間　：0.00～300.00秒/ 0.0～3000.0秒/
0～30000秒/ 0～30000分（切換可能）
信号源抵抗の影響 0.25μV/Ω（熱電対入力)
入力デジタルフィルタ 0.01～10.00秒　（０.00秒設定でデジタルフィルタＯＦＦ）
PVバイアス
±入力レンジスパン
プログラム実行回数 1～1000回 （1000を設定した場合、無限回実行）
時間精度
性　能
測定精度
入力コード表参照
絶縁抵抗
各絶縁ブロック間 DC 500V 20ＭΩ以上
耐電圧
各絶縁ブロック間 AC 600V １分間
制　御
制御方式
ブリリアントPＩＤ制御 (オートチューニング機能付）
・正動作／逆動作切換可能
設定範囲
a) 比例帯(P)： 温度入力時　0～入力スパン (℃)
電圧・電流入力時　入力スパンの0.0～1000.0%　b) 積分時間(I)： 0.01～360.00秒　または　0.1～3600.0秒（切換可能）
c) 微分時間(D)： 0.00～360.00秒　または　0.0～3600.0秒（切換可能）
d) 制御応答： Slow, Medium, Fast
e) 出力リミッタ： －5.0～+105.0％ (上下限別設定)
f) 出力変化率リミッタ： 0.0～100.0％/秒
d) 比例周期： 0.2～50.0秒
e) レベルPID： ８種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択
出力の種類
a) リレー接点出力 1a接点,定格：　AC250V　3A（抵抗負荷）
電気的寿命：　30万回以上　(定格負荷)
b) 電圧パルス出力 DC 0/12V
(許容負荷抵抗：　600Ω以上)
c) 電流出力 DC 4～20mA、0～20mA
(許容負荷抵抗：　600Ω以下）
d) 電圧連続出力　DC 0～5V, DC 1～5V, DC 0～10V
(許容負荷抵抗：　1kΩ以上)
イベント(警報)出力
警報点数
最大2点/ch
警報の種類
上限偏差,下限偏差,上下限偏差,範囲内,上限入力値,
下限入力値警報
* 範囲内を除き、待機動作を設定可能。
設定範囲
a) 偏差警報： ±入力スパン
b)入力値警報： 入力範囲と同じ
動作すきま
出力方式
± (0.01% of reading + 1digit)
プログラム開始状態 0スタート/ 時間固定PVスタート/ 時間短縮PVスタート
各種機能
ホールド機能/ ステップ機能/ ウェイト機能
プログラム制御モード リセットモード/ プログラム制御モード/
定値制御モード/ マニュアル制御モード
タイムシグナル
16点 (１パターンあたり)
*タイムシグナルの接点出力はＤＯモジュール（近日発売）からの出力
通　信
通信規格
RS-485準拠
プロトコル
a) ANSI X3.28 ｻﾌﾞｶﾃｺﾞﾘ 2.5 A4
b) MODBUS
*切換可能
通信方法
2線式半２重接続
通信速度
2400BPS,　9600BPS, 19200BPS, 38400BPS（選択可能）
ビット構成
スタートビット ： １、 データビット ： ７または８
パリティビット ： 有り(奇数または偶数)または無し
ストップビット　： １
最大接続数
31台（各種モジュール含む）
一般仕様
電源電圧
DC21.6～26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V)
消費電流
TIO-A： 120mA以下
TIO-B： 120mA以下
停電時の影響
20ms以下の停電に対しては影響なし
それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能
メモリバックアップ 不揮発性メモリ (FRAM) によるデータバックアップ
(データ記憶保持期間： 約10年,書換回数： 約100億回）
*ただし、製品の保管期間保管環境および使用環境等により異なる
許容周囲温度
-10～50℃
温度入力時： 0～10℃ または 0.0～10.0℃
電圧・電流入力時： 0～100digit
許容周囲湿度
5～95％RH（結露がないこと）
絶対湿度：29g／m3　dry air at 101.3kPa
イベント状態を通信データとして出力
質量
TIO-A： 220g
TIO-B： 190g
制御ループ断線警報：LBA
外形寸法
外形寸法図参照
警報点数
２点
仕様雰囲気・条件
LBA設定時間
1～7200秒
腐食性･可燃性ガスがなく、塵埃がひどくないこと。
外部ノイズがなく、直接振動･衝撃が加わらないこと。
直接,日光がたらない場所。
LBD設定時間
0～入力スパン
出力方式
警報状態を通信データとして出力
適応規格
ＣＥマーキング適合,　UL、cUL認定品,　C-Tickマーク適合
仕　様
デジタル入力モジュール　（DI-A/B）
入　力
入力点数
入力定格
通　信
DI-Aモジュール： 12点(6点/コモン) <端子台>
DI-Bモジュール： 12点(6点/コモン) <端子台>
16点(4点/コモン) <コネクタ>
無電圧接点入力
a) 500kΩ以上(OPEN)
b) 10Ω以下 (CLOSE)
*接点電流： 10mA以下、開放時の電圧:約DC24V
入力の種類 温調チャネルごとに下記機能の割付可能
a) プログラム運転モード
RESET, RUN, FIX, MAN, HOLD, STEP
b) プログラムスタートパターン選択
c) オートチューニング開始/停止
絶縁方式
設定方法
通信方式
一般仕様
RS-485 (2線式)
自己診断機能 メモリバックアップチェック
通信プロトコル a)ANSI X3.28(1976)2.5 A4
b)MODBUS
(切換可能）　同期方式
調歩同期式
通信速度
2400, 9600, 19200, 38400BPS
ビット構成
スタートビット： １
データビット　： ７または８
パリティビット： 奇数、偶数または無し
ストップビット： １
停電時の影響 20ms以下の停電に対しては影響なし
メモリバックアップ 不揮発性メモリ(EEPROM)によるデータバックアップ
(書込回数：　100万回以上,　データ保持期間：　約10年)
電源電圧
温度制御モジュール(基本タイプ)から供給
DC21.6～26.4V (定格：DC24V)
消費電流
DI-Aモジュール：　115mA以下
DI-Bモジュール：　160mA以下
許容周囲温度 -10～50℃
許容周囲湿度 5～95％RH(結露しないこと)
絶対湿度：29g／m3　dry air at 101.3kPa
フォトカプラ絶縁
最大接続台数 31台（各種モジュール含む）
通信による設定
質量
DI-Aモジュール：　約152g
DI-Bモジュール：　約158g
外形寸法
外形寸法図参照
デジタル出力モジュール　（DO-A/B）
通信方式
一般仕様
RS-485 (2線式)
自己診断機能 メモリバックアップチェック
メモリバックアップ 不揮発性メモリ(EEPROM)によるデータバックアップ
(書込回数：　100万回以上,　データ保持期間：　約10年)
同期方式
調歩同期式
出力の種類 温調チャネルごとに下記機能の割付可能
バーンアウト状態、イベント１状態、イベント２状態、
ヒータ断線状態、ループ断線(LBA)状態、
パターンEND状態、ウェイト状態、
タイムシグナルCH1～CH16出力状態、
DIモジュールCH1～CH28入力状態
通信速度
2400, 9600, 19200, 38400BPS
ビット構成
スタートビット： １
データビット　： ７または８
パリティビット： 奇数、偶数または無し
ストップビット： １
絶縁方式
フォトカプラ絶縁
最大接続台数 31台（各種モジュール含む）
設定方法
通信による設定
外形寸法図
30
質量
DO-Aモジュール：　約152g
DO-Bモジュール：　約158g
外形寸法
外形寸法図参照
デジタル入力モジュール（DI-A）
デジタル出力モジュール（DO-A）
78
30
110
5
6.8
30
デジタル入力モジュール（DI-B）
デジタル出力モジュール（DO-B）
φ3.5（M3）
125
130.5 ±0.2
124.3
110
(＊）ネジ取付時、別売りの取付具（KSRX-55）が
モジュール1台につき一つ必要となります。
6.8
78
35.25 ±0.2
DO-Aモジュール：　70mA以下
DO-Bモジュール：　90mA以下
許容周囲湿度 5～95％RH(結露しないこと)
絶対湿度：29g／m3　dry air at 101.3kPa
取付具：KSRX-55　(＊)
（ ネジ取付時の寸法 ）
消費電流
（ 単位 ： mm ）
5
5
6.8
温度制御モジュール(基本タイプ)から供給
DC21.6～26.4V (定格：　DC24V)
125
110
40.5
78
6.8
125
110
電源電圧
許容周囲温度 -10～50℃
温度制御モジュール（増設タイプ）
温度制御モジュール（基本タイプ）
125
停電時の影響 20ms以下の停電に対しては影響なし
通信プロトコル a)ANSI X3.28(1976)2.5 A4
b)MODBUS
(切換可能）　5
出力定格
通　信
DO-Aモジュール： 12点(6点/コモン) <端子台>
DO-Bモジュール： 12点(6点/コモン) <端子台>
16点(4点/コモン) <コネクタ>
トランジスタ出力（シンクタイプ）
a) 定 格 負 荷： DC24V
b) 最大負荷電流： 50mA(1点)
c) ＯＮ 電 圧： 最大2V
78
出　力
出力点数
30
型　式
●温度制御モジュール　X-TIO
●デジタル入力モジュール　X-DI
仕　様　コ　ー　ド
仕　様
X-TIO - 高速デジタル調節計
A
基本タイプ
タ　イ　プ
B
増設タイプ
測定入力１（チャネル1） 入力コード表参照
測定入力２（チャネル2） 入力コード表参照
リレー接点出力
電圧パルス出力 DC0/12V
電圧連続出力 DC 0～5V
制御出力１（チャネル1） 電圧連続出力 DC 0～10V
電圧連続出力 DC 1～5V
電流出力 DC 0～20mA
電流出力 DC 4～20mA
リレー接点出力
電圧パルス出力 DC0/12V
電圧連続出力 DC 0～5V
制御出力２（チャネル2） 電圧連続出力 DC 0～10V
電圧連続出力 DC 1～5V
電流出力 DC 0～20mA
電流出力 DC 4～20mA
ＣＴ入力なし
CT入力1
CTL-6-P-N使用
（チャネル１のＣＴ入力）
CTL-12-S56-10L-N使用
ＣＴ入力なし
CT入力2
CTL-6-P-N使用
（チャネル２のＣＴ入力）
CTL-12-S56-10L-N使用
標準価格
*
-
基本
基本
\76,000
\66,000
品　名
型　名
M
V
4
5
6
7
8
N
P
S
N
P
S
加算
\3,000
加算
\3,000
加算
\3,000
加算
\3,000
加算
\3,000
加算
\3,000
加算
\3,000
加算
\3,000
加算
\3,000
加算
\3,000
加算
\2,000
加算
\2,000
加算
\2,000
加算
\2,000
熱電対グループ
低電圧グループ
Ｋ
Ｊ
Ｔ
E
PLII
N
S
R
W5Re/W26Re
測温抵抗体
グループ
高電圧グループ
電流グループ
DC 0～10mV
DC 0～100mV
DC 0～1V
Pt100
JPt100
DC 0～5V
DC 0～10V
DC 1～5V
DC 0～20mA
DC 4～20mA
\35,000
\39,000
品　名
コネクタターミナル
接続用ケーブル
標準価格
型　名
W-BQ-01-3000 (ケーブル長3m)
\4,800
●デジタル出力モジュール　X-DO
仕　様
タ　イ　プ
（入力点数）
仕　様　コ　ー　ド
X-DO デジタル出力モジュール
A
出力12点(端子台)
出力28点(端子台12点＋コネクタ16点) B
標準価格
\35,000
\39,000
X-DO-B←→コネクタターミナル／リレーターミナル
接続ケーブル
標準価格
品　名
コネクタターミナル
接続用ケーブル
W-BQ-01-3000 (ケーブル長3m)
型　名
\4,800
リレーターミナル
接続用ケーブル
W-BQ-02-3000 (ケーブル長3m)
\4,800
●コネクタターミナル
X-DI-B/X-DO-B用コネクタターミナル　（松下電工製）
レンジ
コード
-200～1372℃
-200～1200℃
-200～400℃
-200～1000℃
0～1390℃
0～1300℃
-50～1768℃
-50～1768℃
0～2300℃
K
J
T
E
A
N
S
R
W
0～1800℃
B
標準価格
標準価格
\1,700
\3,000
CTL-6-P-N (0～30A)
CTL-12-S56-10L-N (0～100A)
入力コード表
入力の種類
タ　イ　プ
（入力点数）
仕　様　コ　ー　ド
X-DI デジタル入力モジュール
A
入力12点(端子台)
入力28点(端子台12点＋コネクタ16点) B
X-DI-B←→コネクタターミナル
接続ケーブル
M
V
4
5
6
7
8
＊ 増設タイプモジュールのみ単体での使用はできません。
* 測定入力２をリモート設定入力としても使用可能です。　（電圧/電流入力のみ）
＊ ヒータ断線警報機能を使用する場合、対応するチャネルの出力はリレー接点出力、または電圧パルス出力を選定してください。
ヒータ断線警報用CT
仕　様
-20000～20000
(スパン20000の範囲内で
スケーリング可能)
-200～850℃
-200～600℃
-20000～20000
(スパン20000の範囲内で
スケーリング可能)
測定精度
表示分解能
型　名
CT2-20 (DINレール取付型)
CT2-M-20 (直付型)
-100℃未満 ： ± 1.0℃
-100～500℃ ： ± 0.5℃
500℃以上 ： ± (0.1% of Reading+1digit)
1℃、0.1℃
(切換可能)
-50～1000℃未満 ： ± 1.0℃
1000℃以上 ： ± (0.1% of Reading+1digit)
●リレーターミナル
X-DO-B用コネクタターミナル　（松下電工製）
型　名
RT1S-OD16-24V-S
400℃未満 ： ± 70.0℃
400～1000℃ ： ± 1.0℃
1000℃以上 ： ± (0.1% of Reading+1digit)
B
1
2
3
1, 0.1, 0.01,
0.001, 0.0001
(プログラマブル)
± (スパンの0.1%)
D
P
4
200℃未満 ： ± 0.2℃
200℃以上 ： ± (0.1% of Reading+1digit)
5
1, 0.1, 0.01,
0.001, 0.0001
(プログラマブル)
± (スパンの0.1%)
6
1℃、0.1℃
(切換可能)
7
8
※ 冷接点温度補償誤差 ：±1.0℃（周囲温度 23℃±2℃)　{周囲温度0～50℃にて±1.5℃以内}
標準価格
\3,600
\3,600
THV-1 Series
デジタルコントロール
単相電力調整器
（スタンダード型）
標準価格：￥22,000～
RoHS 指令対応
・フルデジタルコントロールで
高速応答と高分解能設定を実現
・コンパクトなボディに多彩な機能を搭載
・勾配設定等の各種設定は前面キーと
7セグLEDで全て設定,確認が可能
・定電圧/定電流/定電力制御が可能
（THV-A1シリーズ）
・通信機能搭載可能（THV-A1シリーズ）
標準価格
\11,500
THV-A1 Series
（高機能型）
標準価格：￥45,000～
RoHS 指令対応
（一部機種を除く）
20A
～
100A
0A
20A
～
200A
輸出貿易管理令に関するご注意
●ご使用のまえに取扱説明書をよくお読みの上、正しくお使いください。
!
安全に関する
ご注意
●大量破壊兵器等（軍事用途･軍事設備等）で使用されることがないよう、最終用途や最終客先を調査して
ください。　尚、再販売についても不正に輸出されないよう、十分に注意してください。
●本製品は、産業機械･工作機械･計測機器に使用されることを意図しています。
（人命に係わる医療機器等にはご使用にならないでください）
模倣品に関するご注意
●本製品の故障や異常でシステムの重大な事故につながる恐れのある場合には、事故防止
のため、外部に適切な保護装置を設置してください。
●設置場所は、記載のない条件･環境を避けてください。
免責事項
●当社製品の故障により誘発されるお客様の損害および逸失利益につきましては一切の責任を負わない
ものとしますので、ご了承ください。
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R
本
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長野市篠ノ井会855-1 エーワンビル
名古屋市西区浅間1-1-20クラウチビル
大阪市淀川区宮原4-5-36セントラル新大阪ビル
広島市西区大宮1-14-1宮川ビル
熊本市中央区帯山 6-7-120
茨城県結城郡八千代町佐野1164
146-8515
03(3751)8111
03(3754)3316
981-3341
349-0122
388-8004
451-0035
532-0003
733-0007
862-0924
300-3595
022(348)3166
048(765)3955
026(299)3211
052(524)6105
06(4807)7751
082(238)5252
096(385)5055
0296(48)1073
022(351)6737
048(765)3956
026(299)3302
052(524)6734
06(6395)8866
082(238)5263
096(385)5054
0296(49)2839
Printed in Japan : DEC.2013
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