Comments
Description
Transcript
HLD5000 - Products
取 扱 説 明 書 kina40jp1-g ( ０ ９ ０ ５ ) カタログ No. 510-010 510-015 510-016 510-017 ソフトウェアバージョン V4.0 以降 HLD5000 冷媒 スニファ ー リ ーク ディ テク タ HLD5000IVZ.fm ( ０９０５ ) 取扱説明書 目次 1 一般事項 1-1 1.1 1.1.1 1.2 1.2.1 1.2.2 1.2.3 1.2.4 1.3 1.3.1 1.4 1.4.1 1.5 1.5.1 1.6 1.6.1 1.6.2 1.6.3 1.6.4 1.6.5 1.6.6 1.6.6.1 1.6.6.2 1.6.6.3 1.6.6.4 は じ めに 目的 テ ク ニ カルデー タ 物理的デー タ 電気的デー タ 他のデー タ オーダー情報 供給部品 交換部品 / ア ク セサ リ ア フ タ ーサービ ス ア フ タ ーサービ ス セ ン タ ー こ の取扱説明書の使用方法 用語の定義 取 り 付け 開梱 機械接続 電気接続 壁面へのマ ウ ン ト RS232 イ ン タ ーフ ェース ス ニ フ ァ ーチ ッ プ ス ニ フ ァ ーチ ッ プの交換 フ レ キ シブルス ニ フ ァ ーチ ッ プの使用 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ用延長チ ッ プの使用 防水チ ッ プの使用 1-1 1-1 1-2 1-2 1-2 1-2 1-3 1-3 1-4 1-5 1-6 1-8 1-8 1-9 1-9 1-9 1-9 1-9 1-10 1-11 1-11 1-11 1-12 1-12 2 動作原理 2-1 2.1 2.2 説明 HLD5000 概観 3 HLD5000 の運転 3.1 3.2 3.3 3.3.1 3.3.2 3.3.3 3.3.4 3.3.5 起動 HLD5000 のはた ら き 制御お よ び機能 制御部お よ び表示部品の概略 電源ス イ ッ チ HLD5000 の LED デ ィ ス プ レ イ 液晶デ ィ ス プ レ イ プ ロ ーブ 4 HLD5000 の設定 ( メ ニ ュ ー構造 ) 4-1 4.1 4.1.1 4.1.2 4.1.3 4.1.4 4.1.5 [Program （プ ロ グ ラ ム） ] メ ニ ュ ーの説明 ト リ ガー 音量 コン ト ラス ト オプシ ョ ン 校正 4-1 4-2 4-4 4-4 4-4 4-6 2-1 2-2 3-1 3-1 3-2 3-3 3-3 3-3 3-3 3-3 3-5 目次 0-3 エ ラー リ ス ト インフォ メ ニ ュ ー項目 [INFO （ イ ン フ ォ） ] の説明 メ ニ ュ ー項目ス タ ンバ イ ガ ス種の選択 校正 校正の確認 HLD5000 の校正 COOL-Check 校正 リ ー ク （COOL-Check） シャ ッ ト ダウン 異な る 冷媒への変更 4-7 4-7 4-8 4-9 4-10 4-10 4-10 4-11 4-12 4-12 4-12 5 メ ッ セージ 5-1 6 メ ン テナン ス 6-1 6.1 6.2 6.2.1 6.2.1.1 6.2.1.2 6.2.2 6.2.3 6.2.4 6.2.5 INFICON に よ る ア フ タ ーサービ ス メ ン テナン ス作業 フ ィ ル タ の交換 ス ニ フ ァ ー ラ イ ンの フ ィ ル タ の交換 ハ ウ ジ ン グ底部のエア フ ィ ル タ の交換 校正 リ ー ク の開口部の ク リ ーニ ン グ ク リ ーニ ン グ ヒ ュ ーズの交換 校正 リ ー ク の交換 (SF6/CO2 バージ ョ ン を除 く ) 6-1 6-1 6-1 6-1 6-2 6-3 6-3 6-3 6-4 A-1 HLD5000IVZ.fm ( ０９０５ ) 索引 取扱説明書 4.1.6 4.1.7 4.2 4.3 4.4 4.5 4.5.1 4.5.2 4.5.3 4.6 4.7 0-4 目次 一般的な安全予防措置 取扱説明書 警 告 オペレーターに対する危険を防止するために、厳格に遵守しなければならない操 作手順を説明します。 注 意 HLD5000 リークディテクタの損傷や破壊を防ぐために、厳格に遵守しなければな らない操作手順を説明します。 注記 操作者が守るべき、特別な技術要件を示します。 INFICON HLD5000 リークディテクタは、適切にまたこのテクニカルハンドブック に従って使用されるとき、安全で効率的な操作を行えるように設計されています。 本章およびこのテクニカルハンドブックを通して説明されたすべての安全予防措 置を注意深くお読みになり、それを厳守することはユーザーの責任です。HLD5000 は適切な条件で、またこのテクニカルハンドブックで説明した条件下でのみ運転す る必要があります。本装置の運転とメンテナンスは、訓練を受けたスタッフしか行 うことができません。特定の規定および規制に関しては、地方自治体または国の関 係機関にお問い合わせください。安全、運転、またはメンテナンスに関するその他 の質問は、最寄りの支店にお問い合わせください。 次の予防措置に従わなかった場合、重傷を負う結果になります。 警 告 HLD5000は水中または水の流れる場所、水滴のある場所で操作しないでください。 水以外の液体についても同様の注意が必要です。 ( ０９０５ ) HLD5000 は室内運転専用です。 警 告 HLD5000 は爆発の危険性のある場所で、操作しないでください。 熱い表面の上で HLD5000 を使用しないで下さい。 HLD5000IVZ.fm 警 告 グラウンド端子を持つ 3 端子の電源コードのみ使用可能です。グラウンド端子の 接続を断って HLD5000 を運転しないでください。 一般的な安全予防措置 0-5 警 告 • スニファーチップの通電している部品に触れないようにしてください。 • テストサンプルは、リークテスト前に電気接続を切断する必要があります。 警 取扱説明書 感電気ショックの危険。 告 ヒューズを交換する場合は、まず電源コードを抜いてください。 次の予防措置に従わなかった場合、機器が損傷する結果を招きます。 注 意 酸や塩基、溶媒等が HLD5000 に触れないようにして下さい。また、極端な気候条 件にさらさないようにして下さい。 注 意 接続ナットを緩める前に、まず HLD5000 のスイッチをオフにしてください。 スニファーチップを交換する場合、ちりやほこりの粒子が開口部に入らないよう に注意してください。 注 意 注 意 ( ０９０５ ) まずスニファーラインを確実に接続してから、HLD5000 を運転してください。 熱い表面の上で HLD5000 を置かないで下さい。 注 意 HLD5000IVZ.fm ウォームアップ中にスニファーチップをテストリークの開口部に挿入しないでく ださい。挿入すると、内部校正が無効になり、エラーメッセージが表示されます。 0-6 一般的な安全予防措置 注 意 取扱説明書 いかなる場合も、試験体の表面上にある液体を、絶対に吸引しないでください。 試 験 体 に 湿 気 が あ る 場 合 は（結 露 な ど）、防 水 チ ッ プ の 使 用 を 推 奨 し ま す （1.6.6 章を参照）。 注 意 いかなる場合も、新しい PIN を忘れないようにしてください！ PIN は INFICON のアフターサービスセンターでのみリセットできます。 注 意 スニファーラインのフィルタを交換する前に、HLD5000 のスイッチをオフにして ください。 フィルタを交換する際に、粒子が吸気開口部に入らないように注意してください。 注 意 HLD5000IVZ.fm ( ０９０５ ) ハウジング底部のエアフィルタを交換する前には、HLD5000 の電源を切ってくだ さい。 一般的な安全予防措置 0-7 0-8 一般的な安全予防措置 HLD5000IVZ.fm ( ０９０５ ) 取扱説明書 1 一般事項 取扱説明書 冷媒 リ ー ク デ ィ テ ク タ HLD5000 は、 設置後すぐ に使用可能な状態で出荷 さ れてい ます。 それで も 、 最初か ら 安全に正 し く お使いいただけ る よ う 、 ご使用の前に こ の マニ ュ アルを よ く お読み く だ さ い。 1.1 は じ めに 1.1.1 目的 HLD5000 はエア コ ンお よ び自動車用エア コ ン シ ス テ ム ( 超過気圧方式 ) での ス ニ フ ァ ー リ ー ク テ ス ト に適 し てい ます。 本機器の適用分野はエア コ ン業界で、 エア コ ンやそれに含まれ る コ ン ポーネ ン ト のチ ェ ッ ク に使用 し ます。 警 告 HLD5000 は水中ま たは水の流れ る 場所、水滴のあ る 場所で操作 し ないで く だ さ い。 水以外の液体について も 同様の注意が必要です。 HLD5000 は室内運転専用です。 注 意 酸や塩基、 溶媒等が HLD5000 に触れない よ う に し て下 さ い。 ま た、 極端な気候条 件に さ ら さ ない よ う に し て下 さ い。 警 告 HLD5000 は爆発の危険性のあ る 場所で、 操作 し ないで く だ さ い。 言語お よ び仕様書において適合す る ガ イ ド ラ イ ン、 標準お よ び国家規格を以下に示 し ます。 EN 50081-1 電磁適合性 EN61000-6-2 電磁適合性 EN61010-1 電気安全性 kina40jp 01.fm ( ０９０５ ) 熱い表面の上で HLD5000 を使用 し ないで下 さ い。 一般事項 1-1 テ ク ニ カルデー タ 1.2.1 物理的データ 最小 ト リ ガーレベルの設定 単一ガ ス用プ ロ ーブ ユニバーサル ス マー ト プ ロ ーブ用 最大 ト リ ガーレベルの設定 1.0 g/a (0.04 oz/yr) 0.5 g/a (0.02 oz/yr) 取扱説明書 1.2 50 g/a (1.76 oz/yr) 測定範囲 単一ガ ス用プ ロ ーブ 0 - 100 g/a (3.57 oz/yr) ユニバーサル ス マー ト プ ロ ーブ用 0 - 300 g/a (10.7 oz/yr) 検知可能冷媒 単一ガ ス プ ロ ーブ ( 購入仕様に よ り 検知可能な冷媒 ) ユニバーサル ス マー ト プ ロ ーブ 1秒 運転準備時間 30 秒 回復時間 約2秒 グ ロ ス リ ー ク 回復時間 約8秒 電源電圧 100 V ... 230 V ± 10 % 50/60Hz 消費電力 ス タ ンバ イ 時 < 60 VA < 40 VA 電気的データ 保護規格 IP30 過電圧カ テ ゴ リ ー II ガ ス吸引流量 320 sccm 寸法 （高 さ 、 直径） （H） 365mm ； Φ260mm (14.4 in.; 10.25 in.) 本体の重量 4.5 kg (10 lb.) ( ０９０５ ) 1.2.3 応答時間 他のデータ プ ロ ーブの重量 390 g (0.9 lb.) 周辺条件温度 （運転中） 5 – 50°C; 40 – 120°F 最大相対湿度 80 % (+31 °C で )、 40°C (104°F) では 50% に減少 4.8 m (15.5 ft.) プ ロ ーブ ラ イ ン の長 さ 1-2 一般事項 kina40jp 01.fm 1.2.2 R134a, R744 (CO2), SF6 全てのハ ロ ゲ ン 取扱説明書 1.2.4 1.3 リ ー ク レー ト の表示方法 LED デ ィ ス プ レ イ 、 24 個 0 – 200 %; （ ト リ ガーレベル＝ 100%） ノ イ ズ レベル <50 dBA 汚染レベル 2 音声ア ラ ーム 100 dBA 最高海抜レベル （運転中） 2,000 m HLD5000 R134a 用 カ タ ロ グ No. 510-010 HLD5000 R744 (CO2) 用 HLD5000 SF6 用 カ タ ロ グ No.510-015 カ タ ロ グ No.510-016 HLD5000 ス マー ト プ ロ ーブ付 き カ タ ロ グ No. 510-017 オーダー情報 供給部品 HLD5000 は、 設置後す ぐ に使用可能な状態で出荷 さ れてい ます。 HLD5000 を取 り 付け る 前に、 1.6 章をお読み く だ さ い。 リ ー ク デ ィ テ ク タ には以下の部品が同梱 さ れてい ます。 ラ イ ン付 き プ ロ ーブ ･ ス ニ フ ァ ーチ ッ プ、 100mm 長 ･ ス ニ フ ァ ーチ ッ プ用フ レ キ シブル タ イ プの延長 ラ イ ン （アダプ タ ー付） ･ EU 仕様、 US 仕様の 2 種の電源用 コ ー ド ･ マニ ュ アル ( ０９０５ ) ･ - HLD5000 の操作方法について kima40e2 - HLD5000 テ ク ニ カルハン ド ブ ッ ク kinb40e1 - イ ン タ ーフ ェース説明書 HLD5000 kins40e1 - スペアパーツ リ ス ト HLD5000 kiua40e1 - 修理手順書 kipa40e1 - 16 進法 コ ー ド ･ スペア ヒ ュ ーズセ ッ ト ･ 交換用フ ィ ル タ ーホルダー （5 個） ･ 交換用シ リ コ ン フ ィ ル タ カー ト リ ッ ジ （4 個） R744 (CO2) 用 ( バージ ョ ン (510-015) のみ ) CO2 校正用アダプ タ kina40jp 01.fm ･ 一般事項 1-3 1.3.1 交換部品 / ア ク セサ リ ス ニ フ ァ ーチ ッ プ プ ロ ーブチ ッ プ、 100mm 長 511-021 プ ロ ーブチ ッ プ、 400mm 長、 フ レ キ シブル 511-024 延長 ラ イ ン、 400mm 長 ( フ レ キ シブル )、 プ ロ ーブチ ッ プ用 （20 個） 511-020 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ用延長チ ッ プ （フ レ キ シブル）、 角度 45° に切断 （20 個） 511-029 防水チ ッ プ 511-025 フ ィ ル タ ホルダー （20 個） 511-027 フ ィ ル タ ーカー ト リ ッ ジ （20 個） 511-018 COOL-Check 511-010 取扱説明書 カ タ ロ グ -No. フ ィ ルタ ス ニ フ ァ ー ラ イ ン ( ハン ド ルを含む ) ( 他の冷媒への 変換用 ) R134a 511-030 R744 (CO2) 511-035 SF6 511-036 ス マー ト プ ロ ーブ 511-037 511-040 511-042 kina40jp 01.fm ( ０９０５ ) ス ニ フ ァ ー ラ イ ン延長、 5 m CO2 校正用ア ダプ タ 1-4 一般事項 取扱説明書 1.4 ア フ タ ーサービ ス HLD5000 を INFICON イ ン フ ィ コ ン に送 り 返す場合、 リ ー ク デ ィ テ ク タ に健康を害 す る 物質が含まれていない こ と 、 あ る いは、 汚染 さ れていない こ と を申告す る 必要 があ り ます。 汚染 さ れてい る 場合には、 危険性の性質を明示 し て く だ さ い。 「汚染 状況申告書」 が添付 さ れていない場合、 INFICON は リ ー ク デ ィ テ ク タ を発送元に返 送 し ます。 機器を送 り 返す場合は、 問題を話 し 合 う ために、 ア フ タ ーサービ ス セ ン タ ーま でご 連絡 く だ さ い。 一般事項 当社は、 設計お よ び仕様デー タ を変更す る 権利を有 し ます。 図 と 実際の製品に相違 が生 じ る 場合があ り ます。 加圧 さ れた校正 リ ー ク が含まれてい る ため、 危険物に関す る 国の運送規定に従っ て く だ さ い。 Declaration of Contamination The service, repair, and/or disposal of vacuum equipment and components will only be carried out if a correctly completed declaration has been submitted. Non-completion will result in delay. This declaration may only be completed (in block letters) and signed by authorized and qualified staff. Description of product Reason for return Type Article Number Serial Number Operating fluid(s) used (Must be drained before shipping.) Process related contamination of product: toxic no 1) caustic no 1) yes biological hazard explosive no no yes 2) yes 2) radioactive no other harmful substances no 1) The product is free of any substances which are damaging to health yes 1) or not containing any amount of hazardous residues that exceed the permissible exposure limits yes yes 2) yes 2) Products thus contaminated will not be accepted without written evidence of decontamination! Harmful substances, gases and/or by-products Please list all substances, gases, and by-products which the product may have come into contact with: ( ０９０５ ) Trade/p roduct name Precautions associated with substance Chemical name (or symbol) Action if human contact Legally binding declaration: I/we hereby declare that the information on this form is complete and accurate and that I/we will assume any further costs that may arise. The contaminated product will be dispatched in accordance with the applicable regulations. O rganization/company Address Post code, place Phone Fax Email Name kina40jp 01.fm Date and legally binding signature This form can be downloaded from our website. Company stamp Copies: Original for addressee - 1 copy for accompanying documents - 1 copy for file of sender INFICON GmbH Bonner Str. 498,50968 Cologne, Germany Tel: +49 221 3474 2222 Fax: +49 221 3474 2221 www.inficon.com [email protected] zisa01e1-a 図 1-1 汚染状況申告書 （付録に、 原寸大の申告書があ り ます） 一般事項 1-5 会社名 アルジ ェ リ ア A ﾕ Gramkow オース ト リ ア ベ ラ ルーシ L+H Vakuumtechnik Gertner Service 市 ソ ン ダーボ ルグ ウ ィ ーン モス ク ワ 電話番号 フ ァ ッ ク ス番号 メ ールア ド レ ス +45 74 12 36 36 +45 74 43 36 46 [email protected] +43.1.611.0270 +7 95 9 31 96 46 +43.1.616.0466 +7 95 9 31 96 45 +49 221 347 42222 +49 221 347 42221 [email protected] [email protected] leakdetection.service@ inficon.com ベルギー INFICON GmbH ケルン ブ ラ ジル PV Prest Vcuo Ltda. +55.114 154 4888 +55.114 154 4888 [email protected] ブルガ リ ア A ﾕ Gramkow +45 74 12 36 36 +45 74 43 36 46 [email protected] オン タ リ オ +905.672.7704 +905.672.2249 ケレ タ ロ Brno 香港 北京 広州 上海 ソ ン ダーボ ルグ ソ ン ダーボ ルグ モス ク ワ ソ ン ダーボ ルグ +52.442.212.3615 +420 5 44 21 13 39 +852.2862.8863 +86.10.6590.0164 +86.20.8723.6889 +86.21.6209.3094 +52.442.212.1941 +420 5 44 21 32 30 +852.2865.6883 +86.10.6590.0521 +86.20.8723.6003 +86.21.6295.2852 [email protected] [email protected] +45 74 12 36 36 +45 74 43 36 46 [email protected] +45 74 12 36 36 +45 74 43 36 46 [email protected] +7 95 9 31 96 46 +7 95 9 31 96 45 [email protected] +45 74 12 36 36 +45 74 43 36 46 [email protected] サン タ ナジ パルナ イ バ ソ ン ダーボ ルグ 中米 チ ェ コ 共和国 Vacuum Products Canada Ltd. MEISA S.a. de C.V. Finn-Ley 中国 INFICON LTD デン マー ク A ﾕ Gramkow エジプ ト A ﾕ Gramkow エス ト ラ ン ド Gertner Service フ ィンランド A ﾕ Gramkow フランス INFICON Vif +33.4.7672.5215 +33.4.7672.5235 ド イツ INFICON GmbH ケルン +49.221.3474.2222 +49.221.3474.2221 ハン ガ リ ー Kontrade +36 06 23 50 38 80 +36 06 23 50 38 96 [email protected] アイスランド A ﾕ Gramkow +45 74 12 36 36 +45 74 43 36 46 [email protected] ア イルラ ン ド INFICON Ltd. ボル ト ン +44 12 04 46 99 30 +44 12 04 69 07 10 reach.unitedkingdom@ inficon.com イ ス ラ エル Mark Technologies Ltd. +972.3.534.6822 +972.3.534.2589 [email protected] イタ リア INFICON GmbH +39 045 6 40 25 56 +39 045 6 40 24 21 日本 韓国 ラ ト ビア リ ト アニア メ キシ コ INFICON Co. Ltd INFICON Ltd. Gertner Service Gertner Service MEISA S.a. de C.V. キリヤト オ ノ カ ス テル ヌ オーボ 横浜市 城南市 モス ク ワ モス ク ワ ケレ タ ロ +81.45.471.3328 +82.312.062.890 +7 95 9 31 96 46 +7 95 9 31 96 46 +52.442.212.3615 +81.45.471.3327 +82.312.063.058 +7 95 9 31 96 45 +7 95 9 31 96 45 +52.442.212.1941 オ ラ ンダ INFICON GmbH ケルン +49 221 347 42222 +49 221 347 42221 ノ ルウ ェー A ﾕ Gramkow +45 74 12 36 36 +45 74 43 36 46 [email protected] ポー ラ ン ド +48 324 592 000 +48 324 592 001 +351.213.224.160 +351.213.224.169 [email protected] zickermann.lis@ mail.telepac.pt 南ア フ リ カ 共和国 ロ シア Prevac Sociedade Zickermann リ スボン S.A.R.L ラ ン ド ブル Vacuquip グ Gertner Service モス ク ワ シ ン ガポール INFICON PTE LTD. シンガポール +65.890.6250 +65.890.6266 ス ロ バキ ア Finn-Ley Brno +420 5 44 21 32 30 カナダ ポル ト ガル 1-6 一般事項 ブダエル シェ ソ ン ダーボ ルグ ソ ン ダーボ ルグ Rogw +27 731 578 355 +7 95 9 31 96 46 +420 5 44 21 13 39 [email protected] leakdetection.service@ inficon.com leakdetection.service@ inficon.com davide.giovanetti@ inficon.com [email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected] leakdetection.service@ inficon.com ( ０９０５ ) 国名 取扱説明書 ア フ タ ーサービ ス セン タ ー [email protected] +7 95 9 31 96 45 [email protected] reach.singapore@ inficon.com [email protected] kina40jp 01.fm 1.4.1 取扱説明書 国名 会社名 ス ロ ベニ ア Medivac ブ ラ ジルを除 く 南ア メ リ カ MEISA S.a. de C.V. スペ イ ン Leybold Optics Ibrica バルセ ロ ナ ス ウ ェ ーデン A ﾕ Gramkow シリア A ﾕ Gramkow 電話番号 フ ァ ッ ク ス番号 メ ールア ド レ ス +386 15 63 91 50 +386 17 22 04 51 [email protected] +52.442.212.3615 +52.442.212.1940 [email protected] +34.93.666.0778 +34.93.666.4612 jordi.poza@ leyboldoptics.com +45 74 12 36 36 +45 74 43 36 46 [email protected] +45 74 12 36 36 +45 74 43 36 46 [email protected] +886.3.5525.828 +886.3.5525.829 [email protected] + 216 1 434848 +216 1 432450 [email protected] +45 74 12 36 36 +45 74 43 36 46 [email protected] Sel Trade Trading Est. ド バ イ +971.4.266.0315 +971.4.2628.140 [email protected] Gertner Service モス ク ワ +7 95 9 31 96 46 +7 95 9 31 96 45 INFICON Ltd. ボル ト ン +44.12 04 46 99 30 +44.120.469.0710 [email protected] reach.unitedkingdom@ inficon.com Inficon Inc. イ ース ト シ ラ キ ュ ース、 +1.315.434.1167 ニ ュー ヨ ー ク州 サン ノ ゼ、 カ リ フ ォ ル +1.408.361.1200 ニ ア州 オース テ ィ ン、 テ キサ +1.512.448.0488 ス州 チ ュ ニジ ア INFICON Company Limited Dhaouadi Anis ト ルコ A ﾕ Gramkow 台湾 ア ラ ブ首長国 連邦 ウ ク ラ イナ イギ リ ス メ キシ コ ソ ン ダーボ ルグ ソ ン ダーボ ルグ 新竹縣 竹北市 Tunisie ソ ン ダーボ ルグ +1.315.434.2551 +1.408.362.1556 [email protected] +1.512.448.0398 kina40jp 01.fm ( ０９０５ ) ア メ リ カ合衆国 市 dol pri Ljubljani 一般事項 1-7 1.5 こ の取扱説明書の使用方法 操作上の安全お よ び保護に関連す る 重要事項は、 以下の区分で表記 し ます。 HLD5000 リ ー ク デ ィ テ ク タ の損傷や破壊を防 ぐ ために、 厳格に遵守 し なければな ら ない操作手順を説明 し ます。 警 取扱説明書 注 意 告 オペレー タ ーに対す る 危険を防止す る ために、 厳格に遵守 し なければな ら ない操 作手順を説明 し ます。 注記 操作者が守 る べ き 、 特別な技術要件を示 し ます。 挿入図への参照は、（ 図 2-2/1） のよ う な 形式で表記さ れ、 前から 順に、 章番号、 図番号、 お よ び項目番号を表 し てい ます。 例えば （2-2/1） は、 2 章の第 2 図に記述 さ れた項目番号 1 「校正 リ ー ク 用キ ャ リ ブ レーシ ョ ン ポー ト 」 を示 し ます。 1.5.1 用語の定義 工場出荷時におけ る HLD5000 の初期状態です。 メ イ ン メ ニ ュー HLD5000 の ス イ ッ チ を オ ン に し た後に表示 さ れ る 最初の メ ニ ュ ー画面です。 サブ メ ニ ュ ー メ イ ン メ ニ ュ ーか ら ア ク セ ス 可能な他のすべて の メ ニ ュ ー です。 メ ニ ュ ー項目 1 つの メ ニ ュ ー行を指 し ます。 ス タ ンバ イ モー ド HLD5000 が休止 し てい る 状態 を意味 し ま す。 こ のモー ド で は、 ポ ン プお よ びバルブシ ス テ ムが休止 し ます。 PIN リ ー ク デ ィ テ ク タ の設定が非権限者に よ り 変更 さ れ る こ と を防ぐ ための個人用パ ス ワー ド 番号です。 kina40jp 01.fm デフ ォ ル ト 状態 ( ０９０５ ) リ ー ク レ ー ト ト リ ガー ト リ ガーレベル、 すなわち試験体の合格、 不合格の ト リ ガー 値 値 し き い 値 と し て 設定 さ れ て い る リ ー ク レ ー ト 。 リ ー ク レー ト が ト リ ガーレベルを超え る と 、HLD5000 は、測定モー ド におい て視覚お よ び音声で認識 さ れ る ア ラ ー ム を 発生 し ます。 1-8 一般事項 1.6 取 り 付け 1.6.1 開梱 後で取 り 付け る 場合であ っ て も 、 HLD5000 を ただちに開梱 し て く だ さ い。 取扱説明書 搬送容器の外面に損傷がない こ と を確認 し て く だ さ い。 梱包材をすべて取 り 外 し て 下 さ い。 注記 梱包に損傷があ る 場合は、 輸送用容器 と 梱包材を保管 し て く だ さ い。 HLD5000 に損傷がない こ と を目視で十分に確認 し て く だ さ い。 損傷があ る 場合は、 ただちに運輸業者ま たは保険業者にご連絡 く だ さ い。 損傷 し た 部品を交換す る 場合は、 当社の発注部門へご連絡 く だ さ い。 デ ィ ス プ レ イ か ら 保護ホ イ ルを取 り 除 き ます。 HLD5000 の ス イ ッ チを オ ン に し た後、デ ィ ス プ レ イ の左上部のプ ロ グ ラ ム さ れたガ ス種が、 プ ロ ーブの ス テ ッ カーの表示 と 一致 し てい る こ と を確認 し て く だ さ い。 1.6.2 機械接続 HLD5000 を運転す る には、 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン の接続が必要です。 接続部 （図 2-1/ 2） は本体の前面左側に位置 し てい ま す。 プ ラ グ がかみ合 う ま で開口部に挿入 し ま す。 プ ラ グ上の赤いマー ク を本体の対応す る マー ク に合わせます。 プ ラ グ を外す時は、 カ ッ プ リ ン グの ロ ーレ ッ ト 部を引いてプ ロ ーブ ラ イ ン を外 し て く だ さ い。 1.6.3 電気接続 HLD5000 は供給電圧が 100V ～ 230V （± 10%、 50/60Hz） の広範囲で動作 し ます。 電源 コ ー ド は本体背面にあ る 電源 ソ ケ ッ ト （図 2-1/7） に接続 し ます。 電源 コ ー ド の各端子の ヒ ュ ーズ ( 図 2-1/8) は、 本体の電源 ソ ケ ッ ト （図 2-1/7） に ま と め ら れ てい ます。 ( ０９０５ ) 警 告 グ ラ ウ ン ド 端子を持つ 3 端子の電源 コ ー ド のみ使用可能です。 グ ラ ウ ン ド 端子の 接続を断っ て HLD5000 を運転 し ないで く だ さ い。 1.6.4 壁面へのマ ウ ン ト kina40jp 01.fm HLD5000 ( 図 2-2/7) の下部にあ る 取 り 付け具に よ り 、 リ ー ク デ ィ テ ク タ を壁面に マ ウ ン ト で き ます ( た と えば、 スペース の制約のため )。 デ ィ ス プ レ イ が下を指す よ う に、 HLD5000 を十分に高 く ( 少な く と も 2m) 設置す る よ う にお勧め し ます。 一般事項 1-9 RS232 イ ン ターフ ェース HLD5000 は、 本体背面の電源接続部 （図 1-2） の下に RS232 イ ン タ ーフ ェ ース を備 え て いま す。 こ のイ ン タ ーフ ェ ース は DCE（ データ 通信装置） タ イ プであ り 、 PC を接続す る こ と に よ り 、 監視お よ びデー タ ロ ギ ン グ を行え ま す。 接続には、 市 販の D-Sub プ ラ グ を使用 し ます。 詳細については、 「HLD5000 の イ ン タ ーフ ェース 説明」 （kins40e1） を参照 し て く だ さ い。 取扱説明書 1.6.5 図 1-2RS232 インターフェース 説明 電源 ソ ケ ッ ト 電源 ヒ ュ ーズ Pos. 3. 説明 RS232 イ ン タ ーフ ェ ース kina40jp 01.fm ( ０９０５ ) Pos. 1. 2. 1-10 一般事項 1.6.6 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ 1.6.6.1 ス ニ フ ァ ーチ ッ プの交換 取扱説明書 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ全体を交換す る には （図 1-3 を参照） 、 ナ ッ ト を緩め （図 1-3） 、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を引 き 出 し て く だ さ い。 そ し て、 ガ イ ド ピ ン を溝に合わせなが ら （図 1-3/2） 新 し い ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を挿入 し 、 ナ ッ ト を確実に締めて く だ さ い。 フ ィ ル タ カー ト リ ッ ジ （図 1-3/1） が き れいであ る こ と を確認 し 、 必要に応 じ て交 換 し て く だ さ い。 注 意 接続ナ ッ ト を緩め る 前に、まず HLD5000 の ス イ ッ チを オ フ に し て く だ さ い。 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を交換す る 場合、 ち り やほ こ り の粒子が開口に入 ら ない よ う に注意 し て く だ さ い。 図 1-3 スニファーチップおよび付属品 Pos. 1 2 3 4 Pos. 5 6 7 8 説明 フ ィ ル タ ホルダー 延長 防水チ ッ プ 延長用ホルダー フ レ キ シブルス ニ フ ァ ーチ ッ プの使用 HLD5000 に備え ら れてい る ス ト レー ト ス ニ フ ァ ーチ ッ プの他に、 長 さ 400mm の フ レ キ シブルチ ッ プ （カ タ ロ グ No.511-024） を使用す る こ と がで き ます。 フ レ キ シブ ルチ ッ プ を曲げ る こ と に よ り 、 ア ク セ ス が困難な場所に到達す る こ と がで き ます。 kina40jp 01.fm ( ０９０５ ) 1.6.6.2 説明 フ ィ ル タ カー ト リ ッ ジ ガイ ド ピン 接続ナ ッ ト ス ニ フ ァ ーチ ッ プ 一般事項 1-11 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ用延長チ ッ プの使用 冷媒濃度を測定す る 場合 （すでにパ ッ ケージに収め ら れてい る 試験体な ど の場合）、 ア ク セ ス が困難な場所に到達す る ため、 あ る いは、 大量の リ ー ク を早期発見す る た めに、 フ レ キ シブル延長チ ッ プ （カ タ ロ グ No.511-020） を フ ィ ル タ ーホルダーに接 続す る こ と がで き ます （図 図 1-3/5 を参照）。 プ ラ ス チ ッ ク ホース が、 ホルダーお よ び フ ィ ル タ ホルダー を 包んでい る こ と を 確認 し て く だ さ い。 ホルダーの リ ン グ （図 1-3/8） を押 し 込んだ後、 長 さ 400mm の延長チ ッ プ （図 1-3/6） を引 き 抜 く こ と も で き ます。 必要に応 じ て、 延長チ ッ プ を切断す る こ と も で き ます。 試験体 と 向 き 合 う チ ッ プは、 必ず約 45° の角度に切断 し て く だ さ い。 1.6.6.4 取扱説明書 1.6.6.3 防水チ ッ プの使用 液体を吸い込ま ない よ う にす る ため、防水チ ッ プ （図 1-3/7）（カ タ ロ グ No.511-025） を、 フ ィ ル タ ホルダーにネジ込む こ と がで き ます。 防水チ ッ プは、 最大高 さ 約 3mm ま で液体の吸い込みを防止 し ます （凝縮水のた ま り な ど）。 図 1-4 防水チップのはめ込み kina40jp 01.fm ( ０９０５ ) 水分を含む試験体に対 し て作業す る 場合、 水の浸入を防 ぐ ため、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を上に向けてハン ド ルを立てて持たない よ う に し て く だ さ い。 立て て持つ と 、 防水 チ ッ プ内の水が、 セ ンサーに浸入す る 恐れがあ り ます。 も し 、 セ ンサーに水が浸入 し た場合は、 HLD5000 を約 10 分間動作 さ せ （ス タ ンバ イ モー ド ではな く ） 、 本体 の供給ポ ン プ を介 し てセ ン サーか ら 液体を排出 し て く だ さ い。 1-12 一般事項 取扱説明書 2 動作原理 2.1 説明 HLD5000 はプ ロ ーブの ラ イ ン を通 し て吸引 さ れた C02 や SF6 な ど の冷媒ガ ス を、 赤外線ガ ス解析の機能で検知お よ び測定 し 、 定量的に表示 し ます。 HLD5000 の主な構成部品を以下に示 し ます。 ･ プ ロ ーブ内部にあ る セ ンサーシ ス テ ム ･ 本体内部にあ る 電気お よ び電子部品を装備 し たポ ンプシ ス テ ム アセ ンブ リ 対応す る 光源か ら 放射 さ れた赤外線は、HLD5000 流量に よ っ て吸引 さ れたガ ス が流 れ る セル内を直進 し ます。 セル内を直進 し た赤外線の う ち、 特定の波長成分のみが フ ィ ル タ ーを透過 し 、 赤外線セ ンサーに到達 し ます。 リ ー ク が存在す る と 、SF6 や CO2 な ど の冷媒ガ ス は吸引 さ れた空気 と 共にセル内へ 流入 し ます。 こ の と き 、赤外線は冷媒ガ ス に よ り 部分的に吸収 さ れます。 こ のため、 セ ンサーに到達す る 赤外線の強度は減少 し ます。 ( ０９０５ ) 赤外線強度の変化は電子回路に よ り 増幅 さ れ、 アナ ロ グ信号か ら デジ タ ル信号へ変 換 さ れ ます。 その後、本体内部のマ イ ク ロ プ ロ セ ッ サに よ り 加工 さ れ、LED や表示、 ア ラ ーム音でオペレー タ ーに伝え ます。 周囲の大気に基づいた リ フ ァ レ ン ス測定に よ り 、 測定デー タ を処理す る 時、 テ ス ト ガ ス ま たは他の干渉ガ ス のバ ッ ク グ ラ ウ ン ド の濃度は考慮 さ れ ます。 kina40jp 02.fm 図 2-1 内のガ ス の流量 HLD5000 動作原理 2-1 HLD5000 概観 取扱説明書 2.2 Pos. 説明 Pos. 説明 1 キ ャ リ ブ レーシ ョ ン ポー ト 9 2 プ ロ ーブ ラ イ ンの接続 10 マウン ト 3 メ ニ ュ ー操作キー 11 内蔵校正 リ ー ク 4 液晶デ ィ ス プ レ イ 5 LED デ ィ ス プ レ イ 12 エア フ ィ ル タ 6 電源ス イ ッ チ 13 プ ロ ーブ 7 電源 ソ ケ ッ ト 14 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ 8 電源 ヒ ュ ーズ 15 つ り 下げ用ホルダー RS232 イ ン タ ーフ ェース ( ０９０５ ) 図 2-2 概観 kina40jp 02.fm (SF6/CO2 バージ ョ ン を除 く ) 2-2 動作原理 取扱説明書 3 HLD5000 の運転 3.1 起動 HLD5000 を 所定の位置に置き（「 壁面への取り 付け 」 章も 参照し て く ださ い）、 プ ロ ーブ ラ イ ンお よ び電源 コ ー ド を本体に接続 し ます。 注 意 まずス ニ フ ァ ー ラ イ ン を確実に接続 し てか ら 、 HLD5000 を運転 し て く だ さ い。 注 意 熱い表面の上で HLD5000 を置かないで下 さ い。 注記 デフ ォ ル ト 設定では本体 と プ ロ ーブのシ リ アル番号が一致 し ていなければな り ません。 電 源 ス イ ッ チ （図 3-4/6） を 押 す と 、 HLD5000 の ス イ ッ チ が オ ン に な り ま す。 HLD5000 の ウ ォ ーム ア ッ プには約 30 秒必要で、 その状態はデ ィ ス プ レ イ に表示 さ れ ます。 注 意 ウ ォ ーム ア ッ プ中に ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を テ ス ト リ ー ク の開口部に挿入 し ないで く だ さ い。 挿入す る と 、 内部校正が無効にな り 、 エ ラ ー メ ッ セージが表示 さ れます。 ( ０９０５ ) デフ ォ ル ト 設定で、HLD5000 は英語 メ ニ ュ ーテ キ ス ト を使用 し ます。 別の言語に切 り 替え る 場合は、 キー PROGRAMM、 オプシ ョ ンお よ び言語を押 し ます。 選択 し た言 語のボ タ ン を押 し 、 [OK] で確認 し ます。 After the HLD5000 の ウ ォ ーム ア ッ プ時間後、信号音が鳴 り 、 リ ー ク デ ィ テ ク タ の測 定準備がで き た こ と を通知 し ます。 プ ロ ーブ上にあ る 緑色の LED （図 3-5/2） が点 灯 し 、 HLD5000 の測定準備がで き た こ と を示 し ます。 リ ー ク レー ト の測定単位 （工 場出荷時のデフ ォ ル ト 値 ： g/a） 、 お よ び HLD5000 にプ ロ グ ラ ム さ れたガ ス 種は、 デ ィ ス プ レ イ （図 3-4/4） に表示 さ れます。 さ ら に、 HLD5000 が設定 さ れてい る プ ロ ーブの種類 ( 検出可能なガ ス ) はプ ロ ーブの ス テ ッ カーに示 さ れてい ます。 kina40jp 03.fm 本体はすべての冷媒で使用で き ます。 検出可能な冷媒はプ ロ ーブに よ っ て判断 さ れ ます。 HLD5000 の運転 3-1 3.2 HLD5000 のはた ら き プ ロ ーブチ ッ プ を テ ス ト す る 部分に極力接近 さ せて く だ さ い。 必要に応 じ て被検体 にチ ッ プ を接触 さ せ る こ と も 可能です。 警 取扱説明書 HLD5000 が十分に機能を発揮す る ためには、 用途に適合 し た設定 （4 章 参照） と キ ャ リ ブ レーシ ョ ン が実施 さ れてい る 必要があ り ます。 リ ー ク テ ス ト の概要を以下 に示 し ます。 告 感電気シ ョ ッ ク の危険。 ･ ス ニ フ ァ ーチ ッ プが、 通電 し てい る 部品に触れない よ う に し て く だ さ い。 ･ テ ス ト サン プルは、 リ ー ク テ ス ト 前に電気接続を切断す る 必要があ り ます。 注 意 いかな る 場合 も 、 テ ス ト 対象物の表面上にあ る 液体を、 絶対に吸引 し ないで く だ さ い。 試験体に水分があ る 場合は （凝縮水な ど）、 防水チ ッ プの使用を推奨 し ます （1.6.6 章を参照）。 溶接 さ れた継ぎ目ま たは接合部分を テ ス ト す る 場合、 プ ロ ーブの先端を テ ス ト す る 部分に極力接近 さ せ、 2.5cm/ 秒 (1 inch/s) 以下の速度で ス キ ャ ン し て く だ さ い。 プ ロ ーブチ ッ プ と 被検体間の距離は、 で き る 限 り 近 く し て く だ さ い。 特殊な場所を テ ス ト す る 場合は、 プ ロ ーブの先端は短時間 （最低 1 秒） 。 同一の場所に止めて く だ さ い。 動作原理に起因 し て （2.1 章を参照）、 周囲のバ ッ ク グ ラ ウ ン ド 濃度が抑制 さ れ、 ア ラ ーム が発生 し ない場合があ り ます。 ま た、 大量の リ ー ク 部分の前に存在す る 冷媒 のか た ま り が、 バ ッ ク グ ラ ウ ン ド 濃度 と し て判断 さ れ る 場合 も あ り ま す。 前バー ジ ョ ン で あ る HLD4000 の動作 と 異な り 、 HLD5000 は、 距離の離れた と こ ろ か ら リ ー ク に近づ く だけ では ア ラ ー ム を 発生 し ま せん。 大量の リ ー ク が検出 さ れ る の は、 リ ー ク 部分に近づいた と き だけです。 従っ て、 局所的な信頼性が高ま り ます。 ( ０９０５ ) HLD5000 は、 設定 さ れた リ ー ク レー ト ト リ ガー値 （ ト リ ガーレベル） と 測定 さ れた リ ー ク レー ト を比較 し ます （4.1 章参照）。 測定 さ れた リ ー ク レー ト が リ ー ク レー ト ト リ ガー値を超え た場合、 円弧型のデ ィ ス プ レ イ （図 3-4/5） 上の半数以上の LED が黄色 く 点灯 し 、 ア ラ ーム音を発 し ます。 注記 リ ー ク 部分に十分近づけない場合 （前述の説明を参照） 、 大量の リ ー ク が見 測定モー ド に よ っ ては （4.1 章を参照）、 リ ー ク 部分を ピ ン ポ イ ン ト で特定す る ため に、 あ る いは、 リ ー ク レ ー ト ト リ ガー値 を 二重チ ェ ッ ク す る た めに、 プ ロ ーブの キーを押 し た状態でテ ス ト を繰 り 返す必要があ り ます。 3-2 HLD5000 の運転 kina40jp 03.fm 逃 さ れ る 恐れがあ り ます。 こ の場合、 HLD5000 に同梱 さ れてい る フ レ キ シブ ル ス ニ フ ァ ーチ ッ プ用延長チ ッ プ （カ タ ロ グ No.511-020） を使用 し て く だ さ い。 こ の用途では、 延長チ ッ プ を 100 mm (4 in.) に切断す る と 、 取 り 扱いが楽 にな り ます。 (1.6.6.3 章を参照 ) 3.3 制御お よ び機能 3.3.1 制御部お よび表示部品の概略 取扱説明書 HLD5000 の制御部 と 表示部は、 プ ロ ーブ上のボ タ ン と LED を除 き 、 すべて本体に あ り ます （図 3-4）。 3.3.2 電源ス イ ッ チ HLD5000 は電源ス イ ッ チ （図 3-4/6） を使用 し て、 ス イ ッ チのオ ン と オ フ を切 り 替 え ます。 さ ら に、 自動ま たは手動で ス タ ンバ イ モー ド に移行で き ます。 3.3.3 HLD5000 の LED デ ィ ス プ レ イ 円弧型の LED デ ィ ス プ レ イ （図 3-4/5） は、 左側半分が緑色、 右側半分が黄色に色 分け さ れてい ます。 検出 さ れた相対 リ ー ク レー ト は こ こ に表示 さ れます。 LED が緑 か ら 黄色に変わ る 円弧型の LED デ ィ ス プ レ イ の中心は、 リ ー ク レー ト ト リ ガー値 が設定 さ れてい る こ と を示 し てい ます。 緑色 と 黄色の境界 （円弧の中央） は、 設定 さ れた リ ー ク レー ト ト リ ガー値に相当 し ます。 円弧上で最 も 右側の黄色 LED は、 ト リ ガー値の約 200% の リ ー ク レー ト を検出 し た場合に点灯 し ます。 3.3.4 液晶デ ィ ス プ レ イ デフ ォ ルト 設定では、 ス イ ッ チを オン にし た 後、 液晶ディ ス プレ イ （ 図 3-4/4） に測定画面が表示 さ れ ます。 ･ 検知 さ れたガ ス種 （例 ： R 134a） は、 左側最上部に表示 さ れ ます。 ･ ス マ ート プ ロ ーブ が 接続さ れて い る 場合、 ガ ス 種の 下に「 Smart」 と 表示さ れま す。 ･ 現在検出さ れている 実際のリ ーク レ ート はディ ス プレ イ の中心に表示さ れま す。 （表示下限値は単一ガ ス プ ロ ーブで 0.3 g/a (0.02 oz / yr)、ス マー ト プ ロ ーブでは 0.2 g/a (0.02 oz / yr) です。 ) kina40jp 03.fm ( ０９０５ ) ･ 現在入力 さ れてい る リ ー ク レー ト 値 ( ト リ ガーレベル ) （例 ： 09.0 g/a） は、 右 側最上部に表示 さ れ ます。 HLD5000 の運転 3-3 取扱説明書 図 3-3 Pos. 1 2 3 説明 プ ロ ーブのガ ス種 ト リ ガー ス タ ンバ イ ボ タ ン Pos. 4 5 6 説明 イ ンフォボタン リ ー ク レー ト の表示 メ ニ ュ ーボ タ ン ･ 左下のボ タ ンは メ イ ン メ ニ ュ ーを開 く ボ タ ン です。 kina40jp 03.fm ( ０９０５ ) ･ 右下のボ タ ンは イ ン フ ォ ページ を開 き 、 HLD5000 が ス リ ープモー ド に入っ てい る こ と を通知 し ます。 3-4 HLD5000 の運転 取扱説明書 ( ０９０５ ) 図 3-4 本体 3.3.5 Pos. 1 説明 キ ャ リ ブ レーシ ョ ン ポー ト Pos. 4 2 プ ロ ーブ ラ イ ンへの接続部 5 3 キーで 4 ま での メ ニ ュ ーお よ び右の 6 5 ～ 8 を運転 （左側のキーの番号は一番上が 1 でそれ か ら 下に数が大 き く な っ てい き ます ） 説明 液晶デ ィ ス プ レ イ LED デ ィ ス プ レ イ （ リ ー ク レー ト デ ィ ス プ レ イ ） 電源ス イ ッ チ プ ローブ プ ロ ーブ （図 3-5 を参照） と プ ロ ーブ ラ イ ンは一体です。 ス ニ フ ァ ーのチ ッ プのみ 長 さ に応 じ て交換可能です。 プ ロ ーブに LED （図 3-5/2） と ボ タ ン （図 3-5/3） があ り ます。 LED は次の運転モー ド を示 し ます。 kina40jp 03.fm 稼働状態 オフ ： 緑 ( 点灯 ) ： 緑、 点滅 ： 黄色 ( 点灯 ) ： 黄、 速い点滅 ： 黄 / 緑、 点滅 ： 説明 HLD5000 測定準備がで き てい ません。 通常の動作モー ド で、 エ ラ ーは発生 し てい ません。 エ ラ ー / 測定不可ま たは測定値の精度が保証で き ません。 測定 さ れた リ ー ク レー ト は >40% ですが、 リ ー ク レー ト ト リ ガー値を超え てい ません。 測定 さ れた リ ー ク レー ト が リ ー ク レー ト ト リ ガー値を超え ま し た。 再起動時、 プ ロ ーブ と 本体が接続 さ れていない こ と を検知 し ま し た。 HLD5000 の運転 3-5 取扱説明書 図 3-5 ハンドユニット Pos. 1 2 説明 フ ィ ル タ ホルダー LED Pos. 3 4 説明 ボタン つ り 下げ用ホルダー ボ タ ン は異な る テ ス ト モー ド を選択す る ために用意 さ れてい ま す （4 章を参照） 。 HLD5000 を校正す る 場合は、 4.5 章を参照 し て く だ さ い。 kina40jp 03.fm ( ０９０５ ) つ り 下げ用ホルダー （図 3-5/4 を参照） は、 ハン ド ユニ ッ ト を掛け る 場合 （作業を 中断す る 場合な ど） に使用 し ます。 3-6 HLD5000 の運転 HLD5000 の設定 ( メ ニ ュー構造 ) 取扱説明書 4 図 4-1 メ ニ ュ ー構造 多様な用途や環境、 状況に柔軟に対応す る ため、 HLD5000 の各種の機能は メ ニ ュ ー で設定で き ます。 [PROGRAM （プ ロ グ ラ ム） ] キーを押す と メ ニ ュ ーが開 き ます。 [STANDY （ス タ ンバ イ ） ] を選択す る と 、 HLD5000 は ス タ ンバ イ モー ド （バルブや ポ ン プが停止 し た状態） に移行 し ます。 [INFO （ イ ン フ ォ メ ーシ ョ ン） ] には、重要なパ ラ メ ー タ や設定の情報が含まれます。 設定項目が異な っ て も 、 パ ラ メ ー タ の設定方法は共通です。 設定す る メ ニ ュ ーポ イ ン ト を選択 （例 ： TRIGGER （ ト リ ガー） → LEVEL （レベル）） し た後に、 設定する 数値が選択でき ま す。 た と え ば「 8」 を 入力する 場合、「 8」 と 「 9」 横のキ ーを 押 すこ と によ り 数字の 8 が選択さ れま す。 設定を ス キ ッ プ、 ま た は戻る 場合は、 [ 矢印 ←] お よ び [ 矢印 → ] 横のキーを押 し て く だ さ い。 メ ニ ュ ーに変更 し て エ ン ト リ を 保存す る には、 [OK] を 押す こ と で承認 さ れ ま す。 [ESC] を押す と 、 エ ン ト リ はキ ャ ン セル さ れ ます。 こ の場合、 新 し いエ ン ト リ は保 存 さ れ ません。 ( ０９０５ ) HLD5000 の操作に必要なすべてのパ ラ メ ー タ ーは、 HLD5000 の電源がオ ン にな っ ていない と き で も 保存 さ れ ます。 4.1 [Program （プ ロ グ ラ ム） ] メ ニ ューの説明 [Program （プ ロ グ ラ ム） ] メ ニ ュ ーは以下の項目か ら 構成 さ れます。 ト リ ガー 音量 コン ト ラス ト オプシ ョ ン 校正 kina40jp 04.fm エラー リ ス ト インフォ HLD5000 の設定 ( メ ニ ュ ー構造 ) 4-1 4.1.1 ト リ ガー こ の メ ニ ュ ー項目を通 し て、 次の設定を入力で き ます。 レベル （ リ ー ク レー ト ト リ ガー値） ALT レベル 取扱説明書 ガ ス種 ( ス マー ト プ ロ ーブのみ ) ボタン 単位 こ れ ら の設定について、 以下に説明 し ます。 レベル （ リ ー ク レー ト ト リ ガー値） テ ス ト をす る 単位が リ ー ク レー ト ト リ ガー値を入力す る 場合、 [LEVEL （レベル） ] メ ニ ュ ー項目を選択 し て く だ さ い。 レベルは、 1 g/a （0.04 oz/yr） （ガ ス種に よ り 異な る ） か ら 50g/a （1.76 oz/yr） ま で設定で き ます。 その他の単位については、 以 下の表を参照 し て く だ さ い ： 単位 g/a mbar l/s-1 lb/yr oz/yr Pa m3 x s-1 表示下限値 (0.5) 1.0 4 x 10-6 (1) 2 x 10-3 (0.02) 0.04 4 x 10-7 表示上限値 50.0 3.9 x 10-4 1.0 x 10-1 1.76 3.9 x 10-5 (() 内の値は ス マー ト プ ロ ーブのみです ) ALT レベル kina40jp 04.fm ( ０９０５ ) 代替 リ ー ク レー ト ト リ ガー値の入力。 こ の リ ー ク レー ト ト リ ガー値が使用 さ れ る の は、 ハン ド ルのキーが [ALT] にプ ロ グ ラ ム さ れてい る 場合のみです （以下を参照）。 こ の設定では、 LEVEL の値のパーセ ン ト 表示 （50% な ど）、 ま たは絶対値 （10g/a な ど） を入力で き ます。 4-2 HLD5000 の設定 ( メ ニ ュ ー構造 ) ガ ス種 ( ス マー ト プ ロ ーブのみ ) 取扱説明書 ス マー ト プ ロ ーブ を備え た HLD5000 は、 あ ら か じ めプ ロ グ ラ ム さ れてい る 5 種類 のガ ス から 選択する こ と ができ ま す。 ガ ス 種メ ニ ュ ーを 開く と 、 こ れら 5 種類の ガ ス と 、ユーザーが設定可能な 3 種類のガ ス が表示 さ れ ます。 画面の左下部にあ る 2 つのボ タ ン に よ り 、 リ ス ト を ス ク ロ ールす る こ と がで き ます。 現在選択 さ れてい る ガ ス は、 反転色でハ イ ラ イ ト 表示 さ れ ます。 あ ら か じ めプ ロ グ ラ ム さ れてい る ガ ス を切 り 替え る 場合、HLD5000 を再校正す る 必 要はあ り ません。 それぞれのガ ス に対 し て、HLD5000 が ス マー ト プ ロ ーブの感度を 自動的に調整 し ます。 ただ し 、 ト リ ガー値は変化 し ません。 ユーザー設定可能なガ ス を選択す る 場合は、 HLD5000 を外部校正す る こ と も 、 あ る いは、 内蔵校正 リ ー ク を使用 し 、 校正係数を入力 し て校正を実施す る こ と も で き ま す。 こ れ ら の係数は、 それぞれの追加ガ ス について定め る 必要があ り ますが、 ほ と ん ど の場合、 ご要望に応 じ て INFICON か ら 提供す る こ と がで き ま す。 校正係数を 入力 し ない場合、 該当す る ガ ス を選択す る と 、 外部校正の要求が発行 さ れます。 校 正係数を入力す る 場合は、 リ ス ト に表示 さ れてい る すべてのガ ス について、 内部校 正 リ ー ク に よ り HLD5000 を校正で き ます。 ボタン 「オ フ」 [OFF （オ フ） ] に設定す る と 、 プ ロ ーブ上のボ タ ン が無効に な り ま す ( 校正 プ ロ セ ス 中は除 き ま す。 4.5.2 章 を 参照 )。 メ ニ ュ ー項目 [TRIGGER （ ト リ ガー） ] の下で設定 さ れた リ ー ク レ ー ト ト リ ガー値 (LEVEL （ レ ベル） が使用 さ れ、 代替 リ ー ク レ ー ト ト リ ガー値は こ こ では適用 さ れ ま せん。 「ALT」 異 な る 感度 に よ り 2 ヶ 所 の ポ イ ン ト で被検体 を テ ス ト す る 場合は、 [ALT] を 選 択 し て く だ さ い。 プ ロ ー ブ の ボ タ ン を 押 さ な い と 、 [LEVEL( レ ベル )] で設定 し た リ ー ク レ ー ト ト リ ガー値が適用 さ れ ま す。 ボ タ ン を押す と 、 代替 リ ー ク レ ー ト ト リ ガー値が適用 さ れ ま す （[ALT LEVEL] の設定 を参照）。 「検索」 設定 [SEARCH （検索） ] を選択 し てい る と 、 プ ロ ーブのボ タ ン を押 さ ない状態の HLD5000 で定義 さ れた被検体を高感度で迅速に探す こ と がで き ます。 HLD5000 が検出 さ れてす ぐ にボ タ ン を押す と 、 リ ー ク が [LEVEL( レベル )] で設定 し た リ ー ク レー ト ト リ ガー値を超え る か ど う か を判定 し ます。 代替 リ ー ク レー ト ト リ ガー値は こ のモー ド では使用 で き ません。 メ イ ン メ ニ ュ ーで こ の設定を有効に し てい る と き にハン ド ルのボ タ ン を押 さ ない と 、 [ 検索 ]( テ ス ト ) が表示 さ れます。 kina40jp 04.fm ( ０９０５ ) HLD5000 は、 異な っ た作業やテ ス ト 方法に対応す る ために、 プ ロ ーブ上のボ タ ン の 機能を変更す る こ と がで き ます。 HLD5000 の設定 ( メ ニ ュ ー構造 ) 4-3 単位 こ こ では測定で使用す る 測定単位 を以下か ら 1 つ選択 し ま す。 g/a、 mbar x l /s、 lb/yr、 oz/yr、 Pa x m3/s か ら 1 つ選択で き ます。 4.1.2 取扱説明書 ス マー ト プ ロ ーブの場合、 g/a、 oz/yr、 お よ び lb/yr のみが使用可能です。 あ ら か じ め プ ロ グ ラ ム さ れ て い る ガ ス か ら 、 ユ ー ザー設定可能 な ガ ス に 切 り 替 え る と 、 HLD5000 はデフ ォ ル ト で g/a を設定 し ます。 音量 こ こ で、 ラ ウ ド ス ピーカーの ス イ ッ チの 「オ フ」 / 「オ ン」 を切 り 替え ま す。 「オ ン」 を選択 し た場合、 音量は下矢印 キー ま たは上矢印 キーに よ り 1 ( 小 ) ～ 20 ( 大 ) の範囲で調節可能です。 [Test( テ ス ト )] ボ タ ン に よ り 、 選択 し た音量 を チ ェ ッ ク す る こ と がで き ま す。 エ ラ ー音はツー ト ーン の音です。 4.1.3 コン ト ラス ト 極端に明 る く 、 ま たは極端に暗 く 設定 し た場合、 画面の文字が読めな く な り ます。 こ の場合、 [brighter] （明 る い） ま たは [darker] （暗い） キーを必要な回数押 し て明 る さ を調節 し ます。 1 ～ 99 の範囲で調節可能です。 間違っ て、 極端に明 る く 、 ま たは極端に暗 く 設定 し た場合、 画面の文字が読めな く な り ます。 その場合、 以下の手順で適度な明 る さ に変え て く だ さ い。 HLD5000 の ス イ ッ チを オ フ に し てか ら 、 再びオ ン に し ます。 ウ ォ ーム ア ッ プ中に、 メ ニ ュ ー操作キー 「3」 ま たは 「7」 （図 3-4 を参照） をデ ィ ス プ レ イ 上の文字が正 確に読み取れ る ま で押 し 続け ます。 メ ニ ュ ー操作キーの番号は、 左側最上部を No.1 と し て下に向かい、 右側最下部が No.8 にな り ます。 こ の コ ン ト ラ ス ト の設定は メ ニ ュ ー項目 [CONTRAST （ コ ン ト ラ ス ト ） ] で確認 し た場合のみ、 永久に保存 さ れ ます。 こ れが設定 さ れていない場合、 HLD5000 の ス イ ッ チ を再度オ ン に し た と き 、 以前の設定が再び適用 さ れます。 4.1.4 オプシ ョ ン ( ０９０５ ) 「オプシ ョ ン」 では以下のパ ラ メ ー タ ーが設定で き ます。 言語 こ こ では メ ニ ュ ー と メ ッ セージに使用す る 言語を選択 し ます。 日本語、 英語、 中国 語、 スペ イ ン語、 フ ラ ン ス語ま たは ド イ ツ語を選択 し て く だ さ い。 間違っ て、 中国語ま たはカ タ カナ言語を選択 し た場合、 ボ タ ン 2 と 6 を押す と 英語 メ ニ ュ ーに戻 り ます。 現在の日付お よ び時刻を設定 し ます。 日付は 「日、 月、 年 （DD.MM.YY）」 での形式 で設定 し ます。 時刻は 「時、 分 （HH.MM）」 での形式で設定 し ます。 時刻は 24 時間 で入力 し て く だ さ い。 4-4 HLD5000 の設定 ( メ ニ ュ ー構造 ) kina40jp 04.fm クロック PIN の変更 こ の機能を通 し て、 PIN ( パ ス ワー ド ) を定義ま たは変更で き ます。 PIN ( パ ス ワ ー ド ) は、 不正ア ク セ ス か ら プ ロ グ ラ ム メ ニ ュ ーを保護 し ます。 PIN は 4 桁の数字で構成 さ れ ます。 PIN を変更す る 場合、 新 し い PIN を 2 度連続 し て入力 し て く だ さ い。 取扱説明書 上記の手順で、 PIN と し て 「0000」 を入力す る と PIN 機能は無効にな り ます。 上記 の手順で、 上で説明 し た よ う に処理す る こ と で、 いつで も 有効にで き ます。 注 意 いかな る 場合 も 、 新 し い PIN を忘れない よ う に し て く だ さ い！ PIN は INFICON のア フ タ ーサービ ス セ ン タ ーでのみ リ セ ッ ト で き ます。 ( ０９０５ ) 要求 要求 ( 校正用 ) 校正の要求です。 HLD5000 を設定す る こ と に よ り 、 オペレー タ が定期的に校正を実行で き る よ う に し ま す。 ま た、 こ の機能に よ り 、 校正の自動要求の ス イ ッ チのオ ン ま たはオ フ を切 り 替え る こ と がで き ます。 こ の場合、 時間間隔は 30 分単位で設定で き ます。 下矢印キーま たは上矢印キーを使用 し て、 30 分～ 24 時 間 で 設 定 す る こ と が で き ま す。 入 力 し た 時 間 を 超 え る と 、 HLD5000 ア ラ ーム音が発生 し 、 画面に再校正要求の メ ッ セージ が表示 さ れます。 要求 ( フ ィ ル タ 交換） HLD5000 を設定す る こ と に よ り 、 オペレー タ が定期的に、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ の フ ィ ル タ ー ホ ル ダー を 交換で き る よ う に し ま す。 オ ン ま たはオ フ を選択す る こ と に よ り 、 機能を有効ま たは 無効にで き ます。 有効にす る と 、 「フ ィ ル タ ーを交換 し て く だ さ い」 と い う メ ッ セージが、 40 時間の運転時間ご と に表示 さ れま す。 こ の場合、 フ ィ ル タ ーホルダーを交換 し （6.2.1 章を参照）、 メ ッ セージ を確認 し て く だ さ い。 その後、 運転時間が 40 時間経 過す る と 、 次の フ ィ ル タ ーホルダー交換 メ ッ セージが表示 さ れ ます。 デフ ォ ル ト では、 こ の機能は有効にな っ てい ます。 オー ト ス タ ンバ イ HLD5000 は休止中や使用 し ていない期間に、 自動で ス タ ン バ イ モー ド に移行 し ま す。 ス タ ンバ イ モー ド に移行す る ま での間隔は 1 分か ら 15 分の範囲で設定で き ま す。 HLD5000 が こ こ での設定時間 よ り も 長 く 使用 さ れない場合、 リ ー ク デ ィ テ ク タ は自動で ス タ ンバ イ モー ド に移行 し ます。 kina40jp 04.fm プ ロ ーブ を持ち上げ る と 、 HLD5000 は自動で通常操作モー ド に移行 し 、 約 2 秒以 内に測定の準備を整え ます。 HLD5000 の設定 ( メ ニ ュ ー構造 ) 4-5 RS232 こ の メ ニ ュ ー項目に よ り 、 HLD5000 の RS232 イ ン タ ーフ ェ ース に対す る 設定を実 行で き ます。 イ ン タ ーフ ェース プ ロ ト コ ルは、 「オ フ」、 「標準」 ま たは 「シ ン プル」 を選択で き ます。 RS232 イ ン タ ーフ ェ ー ス を使用 し ない場合、 干渉を除外す る ために 「オ フ」 に設定す る こ と を推奨 し ます。 イ ン タ ー フ ェ ー ス プ ロ ト コ ルについ て の詳細は、 「HLD5000 の イ ン タ ーフ ェース説明 （kins40e1）」 を参照 し て く だ さ い。 ボーレー ト 取扱説明書 プロ ト コル RS232 イ ン タ ーフ ェ ース に対す る ボーレー ト を入力 し ます。 利用可能 な設定は、 300、 600、 1200、 2400、 4800、 ま たは 9600 ボーです。 デ フ ォ ル ト 設定は、 9600 ボーです。 外部校正 リ ー ク 外部 リ ー ク か ら の リ ー ク レー ト の設定に入 る こ と がで き ます。 設定の入力は、 4.4 章に従い実行 し 、 [OK] に よ り 確認 し ます。 た と えば g/a で入力 さ れてい る 外部 リ ー ク レー ト を別の測定単位に変え る と 、 HLD5000 は、 リ ー ク レー ト の g/a を新 し い測定単位に変え ます。 4.1.5 校正 こ の メ ニ ュ ー項目に よ り 、HLD5000 を外部校正 リ ー ク に よ り 校正す る こ と がで き ま す。 HLD5000 の SF6 と CO2 バージ ョ ンは、 外部校正 リ ー ク のみを使っ て校正で き ます。 [CAL( 校正 )] ボ タ ン を押す と 、 デ ィ ス プ レ イ には、 「外部校正 リ ー ク の吸引」 と い う メ ッ セージ、 指定 さ れた リ ー ク レー ト 、 外部校正 リ ー ク の冷媒の タ イ プが表 示 さ れます。 ･ [Ext. Test leak( 外部校正 リ ー ク )] メ ニ ュ ー項目において、 外部校正 リ ー ク の リ ー ク レー ト を入力 し ます。 ･ [CAL( 校正 )] メ ニ ュ ー項目に戻 り ます。 ･ ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を、 外部校正 リ ー ク のガ ス排出口に向け、 LED 信号が安定す る ま で待 ち ます。 ･ プ ロ ーブのボ タ ン を押 し て、 確認 し ます。 ･ 「校正が完了 し ま し た」 と い う メ ッ セージ、あ る いはビープ音が発生す る ま で、ス ニ フ ァ ー チ ッ プ を外部校正 リ ー ク のガ ス排出口に保持 し て く だ さ い。 ( ０９０５ ) 校正は、 以下の手順で実行 し て く だ さ い ： kina40jp 04.fm こ れで、 HLD5000 の校正が完了 し ま し た。 4-6 HLD5000 の設定 ( メ ニ ュ ー構造 ) 4.1.6 エラー リ ス ト 最近発生 し た最大 12 件のエ ラ ー メ ッ セージ と エ ラ ー メ ッ セージの承認を含む リ ス ト を、 発生日時や コ ー ド と と も に表示 し ます。 [View （表示） ] キーを押す と プ レー ン テ キ ス ト で発生日時 と と も にエ ラ ー メ ッ セージが表 示 さ れ ます。 エ ラ ー コ ー ド は 1 文字のアルフ ァ ベ ッ ト 、 お よ び 2 文字の数字で構成 さ れ ます。 取扱説明書 アルフ ァ ベ ッ ト の意味 ： ･ E ： エ ラ ー / 警告が表示 さ れま し た。 ･ R ： エ ラ ー / 警告が取 り 除かれま し た （remove） ･ M ： 一般的な メ ッ セージ ： 例 「電力を入れて く だ さ い）」 （message） エ ラ ー コ ー ド の 2 文字の数字は 「修復手順書」 （doc. no. kipa40e1） の表に記載 さ れ てい る 番号 と 一致 し てい ます。 4.1.7 インフォ [INFO （ イ ン フ ォ ） ] キーは HLD5000 の入力 し たパ ラ メ ー タ ーや操作モー ド に関連 す る 重要な イ ン フ ォ メ ーシ ョ ン を表示 し ます。 こ こ で表示 さ れ る イ ン フ ォ メ ーシ ョ ンは、 6 つのページか ら 構成 さ れ ます。 矢印キーで各ページ を ス ク ロ ール し て く だ さ い。 次に、 ア ク セ ス で き る イ ン フ ォ メ ーシ ョ ンについて説明 し ます。 本体 イ ン フ ォ ･ 内部ハ ウ ジ ン グの温度 ･ 本体の稼動時間 ･ 本体の ソ フ ト ウ ェ アバージ ョ ン ( ０９０５ ) プ ロ ーブ イ ン フ ォ 1 ･ セ ンサー回路を監視す る ための内部感度係数 S ･ 測定 ラ イ ン と リ フ ァ レ ン ス ラ イ ンでのガ ス フ ロ ーを監視す る ための差圧 Δp1 お よ び Δp2 ･ AD コ ンバー タ で使用 さ れ る チ ャ ン ネル ･ プ ロ ーブの稼動時間 ･ プ ロ ーブの ソ フ ト ウ ェ アバージ ョ ン プ ロ ーブ イ ン フ ォ 2 プ ロ ーブの HEX コ ー ド ･ ア フ タ ーサービ ス マ ンに対す る 情報が含まれてい ます kina40jp 04.fm ･ HLD5000 の設定 ( メ ニ ュ ー構造 ) 4-7 ･ 校正係数 ･ 手順 ･ セ ンサーの係数 （R134a → R404A な ど） ･ 内部校正 リ ー ク と 乗算す る こ と に よ り 、 測定ガ ス に対す る 等価 リ ー ク レー ト を得 る ため の係数 取扱説明書 校正 イ ン フ ォ テス ト リ ーク イ ンフ ォ ･ 20 ℃に標準化 さ れた校正 リ ー ク に対す る リ ー ク レー ト ･ 温度 と ガ ス種を補償 し た校正 リ ー ク に対する リ ー ク レー ト ･ ＋ 12V 供給電圧 （U ＋） ･ － 12V 供給電圧 （U －） ･ プ ロ ーブ内の赤外線光源への供給電圧 （U light） ･ プ ロ ーブ内の赤外線光源の電流 （I light） ･ 電圧供給を監視す る プ ロ ーブの試験電圧 （U probe） U / I- イ ン フ ォ 4.2 メ ニ ュー項目 [INFO （ イ ン フ ォ） ] の説明 [INFO （ イ ン フ ォ ） ] メ ニ ュ ー項目は、 以下のパ ラ メ ー タ ーの設定情報を表示 し ま す。 こ の メ ニ ュ ーは、 「Setup-Info 1」 と 「Setup-Info 2」 の 2 ページで構成 さ れてい ます。 2 つのページは ス ク ロ ールで切 り 替え ます。 Setup-Info 1: ト リ ガーレベル 代替 ト リ ガーレベル Setup-Info 2: 音量 日付 時間 次の校正 ( ０９０５ ) ボタン ト リ ガーレベル 選択 さ てれい る リ ー ク レー ト ト リ ガー値を表示 し ます （例 ： 10 g/a）。 選択 さ れてい る 代替の リ ー ク レ ー ト ト リ ガー値を表示 し ま す。 「%」 で入力 し た値 は、 絶対値に換算 さ れて表示 さ れ ます。 4-8 HLD5000 の設定 ( メ ニ ュ ー構造 ) kina40jp 04.fm ALT. ト リ ガーレベル ボタン プ ロ ーブ上のボ タ ン の機能 と し て、 選択 し た設定 （オ フ、 ALT、 テ ス ト ） を表示 し ます。 取扱説明書 音量 ラ ウ ド ス ピーカーの音量設定を表示 し ます。 日付 現在の日付を年、 月、 日で表示 し ます。 時間 現在の時間を時、 分、 秒で表示 し ます。 次の校正 校正の実行を促す メ ッ セージが、 表示 さ れ る ま での残 り 時間を 「時間」 と 「分」 で 表示 し ます。 4.3 メ ニ ュー項目ス タ ンバ イ ス タ ン バ イ キー を押す こ と に よ り 、 HLD5000 は ス タ ン バ イ モー ド に移行 し ま す。 ス タ ン バ イ モー ド ではハ ン ド ル内のバルブは機能せず、 ダ イ ア フ ラ ム ポ ン プ も 停 止 し ま す。 ス タ ンバ イ モー ド では、 リ ー ク レー ト を測定で き ません。 kina40jp 04.fm ( ０９０５ ) 自動シ ャ ッ ト ダ ウ ン機能に よ ら ず、[Standby( ス タ ンバ イ )] ボ タ ン を押 し て HLD5000 を ス タ ンバ イ モー ド に し た場合 （[AUTO STANDBY( オー ト ス タ ンバ イ )] メ ニ ュ ー 項目に よ り 設定可能）、 その後 25 秒間は任意のキーを押 し す こ と に よ っ てのみ装置 を再起動で き ます。 こ の後は、 HLD5000 の任意のキーを押す と 、 あ る いはハン ド ルを動かす と 、 リ ー ク デ ィ テ ク タ は測定モー ド に戻 り ます。 HLD5000 の設定 ( メ ニ ュ ー構造 ) 4-9 4.4 ガ ス種の選択 Smart probe の場合は、 あ ら か じ めプ ロ グ ラ ム さ れてい る 5 種類のガ ス と ユーザー 設定可能な 3 種類のガ ス の リ ス ト か ら 、 検出す る ガ ス を選択す る こ と がで き ます。 (4.1.1 章の、 『ガ ス種』 を参照 ) 4.5 取扱説明書 1 種類のガ ス用のプ ロ ーブ （選択式 ： カ タ ロ グ No. 510-010 ～ 510-016 ま たは ス ニ フ ァ ー ラ イ ン カ タ ロ グ No. 511-030 ～ 511-036） の場合、 検出す る ガ ス種は、 該当 す る ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を選択 し て接続す る こ と に よ り 変更 し ます。 校正 HLD5000 は リ ー ク デ ィ テ ク タ を校正す る ために、 校正 リ ー ク を内蔵 し ま す。 校正 リ ー ク の使用期間は約 2 年間です。 使用期間終了前に、 校正 リ ー ク の交換 を促す メ ッ セージが表示 さ れます。 注記 HLD5000 の SF6 と CO2 バージ ョ ン には、 専用に校正 さ れた リ ー ク が装備 さ れてい ません。 校正は、 外部校正 リ ー ク に よ っ てのみ実行す る こ と がで き ま す （4.1.1 章の 『ガ ス種』 を参照）。 注記 Smart probe を ユーザー設定可能なガ ス で使用す る 場合は、 こ のガ ス種の校正 係数を入力後、 外部校正 リ ー ク で校正 し て く だ さ い。 注記 校正 リ ー ク には寿命があ る ので、 交換用の校正 リ ー ク はあ ら か じ め購入 し な いで く だ さ い。 すでにお手元にあ る 校正 リ ー ク はすべて冷所で保管 し て く だ さ い。 注記 測定の精度を保つために、 ス イ ッ チを オ ン に し てか ら 少な く と も 5 分待っ て 構成を実施 し て く だ さ い。 校正の確認 校正は、 プ ロ ーブ上のボ タ ン を押 さ ずに校正ポー ト にプ ロ ーブチ ッ プ を挿入す る こ と で確認で き ます。 その後、 校正の状態 （成功 / 失敗） を示す メ ッ セージが表示 さ れ ます （4.1.4 章、 『マニ ュ アル校正』 も 参照）。 リ ー ク レー ト デ ィ ス プ レ イ において、 100% を示すマー ク の左右にあ る 2 つの LED が点滅 し ま す。 測定値が こ のマー ク の外側に あ る 場合、 再度の校正が必要です。 校正中のプ ロ セ ス と 同様、 現在の測定値は 2 つの移動す る LED に よ っ て表示 さ れ ます。 さ ら に校正の状況 （ス テー タ ス） がデ ィ ス プ レ イ に表示 さ れ ます。 再校正はボ タ ン を押す と す ぐ に開始 し ます。 プ ロ ーブチ ッ プは校正ポー ト か ら 離す 必要はあ り ません。 ( ０９０５ ) 4.5.1 再校正が必要な場合は、 デ ィ ス プ レ イ に メ ッ セージが表示 さ れ、 ア ラ ーム音で知 ら せます。 kina40jp 04.fm 校正のチ ェ ッ ク 中、 プ ロ ーブは振動 さ せず、 校正ポー ト に垂直に挿入 し た ま ま に し て く だ さ い。 4-10 HLD5000 の設定 ( メ ニ ュ ー構造 ) 取扱説明書 4.5.2 HLD5000 の校正 COOL-Check HLD5000 を校正す る 場合は、 プ ロ ーブ上のボ タ ン を押 し 、 本体前面にあ る 校正ポー ト に ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を挿入 し て く だ さ い。 こ れに よ り 、HLD5000 は校正を自動で 実行 し ま す。 校正中、 プ ロ ーブ上のボ タ ン を押 し た ま ま にす る 必要はあ り ま せん。 校正の進度状況は、 デ ィ ス プ レ イ に表示 さ れ ま す。 校正が正常に終了 し た場合 も デ ィ ス プ レ イ に表示 さ れます。 注記 校正中は、 プ ロ ーブは振動 さ せず、 校正ポー ト に垂直に挿入 し た ま ま に し て く だ さ い。 振動 し た り 、 斜めに挿入 さ れ る と 、 校正が正常に実行で き ません。 注記 校正中は、 校正 リ ー ク の開口部に強い気流 （エア コ ン装置等） を当て ないで く だ さ い。 注記 延長チ ッ プ （カ タ ロ グ No. 511-020） を使用 し て校正を実行す る 場合、 校正 リ ー ク の開口部に挿入 し て、 チ ッ プが開口部の中央に位置づけ ら れ る よ う に し て く だ さ い。 ( ０９０５ ) 図 4-2 校正ポート開口部 kina40jp 04.fm 図 4-3 校正リーク HLD5000 の設定 ( メ ニ ュ ー構造 ) 4-11 4.5.3 校正 リ ー ク （COOL-Check） 校正 リ ー ク は本体の底面に格納 さ れます。 校正 リ ー ク はプ リ ン ト 基板 と 一体のガ ス 缶です。 校正 リ ー ク の残量が少な く な る と 、 メ ッ セージ 「間 も な く テ ス ト リ ー ク が空です。 校正 リ ー ク の残量が完全に無 く な る ま での期間 （2 ～ 3 か月） 内に校正 リ ー ク を交 換 し て く だ さ い。 「COOL-Check」 の交換方法は 6.2.5 章を参照 し て く だ さ い。 取扱説明書 リ ー ク が間 も な く な く な り ます。 交換 し て く だ さ い」 が表示 さ れ ます。 注記 校正 リ ー ク には寿命があ る ので、 交換用の校正 リ ー ク はあ ら か じ め購入 し な いで く だ さ い。 4.6 シャ ッ ト ダウン HLD5000 は、 電源ス イ ッ チを操作す る こ と に よ り 、 その と き のモー ド と は無関係に いつで も ス イ ッ チを オ フ にす る こ と がで き ます。 すべてのパ ラ メ ー タ は、 HLD5000 の電源を切 る と 同時に保存 さ れます。 4.7 異な る冷媒への変更 kina40jp 04.fm ( ０９０５ ) HLD5000 において別のプ ロ ーブ を使用す る 場合は、HLD5000 を シ ャ ッ ト ダ ウ ン し 、 使用 し ていた ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を外 し て、 異な る プ ロ ーブ を備え た別の ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を接続 し て く だ さ い。 HLD5000 を再起動す る と 、画面の左上部にプ ロ ーブの 種類が表示 さ れ ます。 4-12 HLD5000 の設定 ( メ ニ ュ ー構造 ) 5 メ ッ セージ リ ー ク 検知モー ド では、HLD5000 の操作に関連す る 情報がデ ィ ス プ レ イ に表示 さ れ ま す。 リ ー ク デ ィ テ ク タ の設定に関連す る メ ッ セージ の他に、 警告やエ ラ ー メ ッ セージ も デ ィ ス プ レ イ に表示 さ れ ます。 取扱説明書 HLD5000 は内部に自己診断の機能を装備 し てい ま す。 コ ン ト ロ ー ラ ボー ド に発生 し たエ ラ ー （障害） を自己診断機能が検出 し た場合、 エ ラ ーの状況が メ ッ セージ と し て、 デ ィ ス プ レ イ に表示 さ れます。 エ ラ ーは HLD5000 が自動で復旧す る こ と ので き ない障害です。 エ ラ ーが発生す る と 、 測定シーケ ン ス は強制的に中断 さ れ ます。 エ ラ ーは、 デ ィ ス プ レ イ にテ キ ス ト 表示 さ れ ます。 エ ラ ー音はツー ト ーンの音です。 エ ラ ー メ ッ セージ を確認 し た ら 、 [OK] キーを押 し て く だ さ い。 エ ラ ー状態が続 く 限 り 、 警告を示す三角マー ク は、 デ ィ ス プ レ イ の下部に表示 さ れ てい ます。 装置 を使用 し てい る と き に表示 さ れ る エ ラ ー メ ッ セージ と その対策 を以下の表に 示 し ます。 ト ラ ブルシ ュ ーテ ィ ン グに対す る 注記事項 と 同様に、 エ ラ ー メ ッ セージの一覧表は 「修復手順書 （kipa40e1）」 に記載 さ れてい ます。 表示 さ れた メ ッ セージ 説明 / 考え ら れ る 原因 対策 マモナ ク テ ス ト リ ー ク ガ カ ラ デス コ ウ カ ン シ テ ク ダサ イ ク ールチ ェ ッ ク の寿命が 3 ヶ 月以内に な っ てい ます ク ールチ ェ ッ ク がほ と ん ど空です 日付の設定が間違っ てい ます ク ールチ ェ ッ ク を取 り 替え て く だ さ い 本体に正 し い日付を プ ロ グ ラ ム し て く だ さい プ ロ ーブ セ ツ ゾ ク シテ イ マセ ン ス ニ フ ァ ープ ロ ーブに対 し て通信接続 さ ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を確認 し て く だ さ い れてい ません LEMO プ ラ グ をチ ェ ッ ク す る か、 ス ニ ス ニ フ ァ ープ ロ ーブ が 接続さ れて い フ ァ ー ラ イ ン を交換 し て く だ さ い ま せん ス ニ フ ァ ープ ロ ーブの LED が消え てい る 場合 ： ス ニ フ ァ ープ ロ ーブのプ ロ セ ッ サーが起 動 し てい ません ガ イ ブ オ ン ド ガ タ カ ス ギマ ス 本体が熱 し た面に置かれてい ます。 本体周囲の温度を下げて く だ さ い 周囲温度が高すぎ ます kina40jp 05.fm ( ０９０５ ) テ ス ト リ ー ク ノ オ ン ド ガ ヒ ク ス ギマ ス 周囲温度が低すぎ ます 本体周囲の温度を上げて く だ さ い ホ ン タ イ ナ イ ブ ノ オ ン ド ガ タ カ ス ギマ 周囲温度が高すぎ ます ス！ フ ァ ン が故障 し てい る か、 ブ ロ ッ ク さ れ てい ます 本体周囲の温度を下げて く だ さ い フ ァ ン を交換 し て く だ さ い ソ ク テ イ ラ イ ン ノ リ ュ ウ リ ョ ウ ガ ヒ ク 測定 ラ イ ンがブ ロ ッ ク さ れてい ます ス ギマ ス！ 差動セ ンサーが破損 し てい ます ス ニ フ ァ ーチ ッ プの フ ィ ル タ を交換 し て く ださい CPU ボー ド （ス ニ フ ァ ープ ロ ーブ） を交 換し て く だ さい ソ ク テ イ ラ イ ン モレ ア リ ！ ス ニ フ ァ ーチ ッ プのガ ス ケ ッ ト を確認 し て く ださい 差動セ ンサーに接続 さ れてい る ホース を チ ェ ッ ク ま たは交換 し て く だ さ い CPU ボー ド （ス ニ フ ァ ープ ロ ーブ） を交 換し て く だ さい 測定 ラ イ ンが リ ー ク し てい ます 差動セ ンサーに接続 さ れてい る ホース の 1 つが リ ー ク し てい ます 差動セ ンサーが破損 し てい ます メ ッ セージ 5-1 説明 / 考え ら れ る 原因 対策 リ フ ァ レンス ラ イン ノ リ ュ ウ リ ョ ウ ガ ヒ ク ス ギマ ス！ 基準 ラ イ ン がブ ロ ッ ク さ れてい ます ス ニ フ ァ ーラ イ ン を 確認し 、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を交換 し て く だ さ い ス ニ フ ァ ーチ ッ プの フ ィ ル タ を交換 し て く ださい CPU ボー ド （ス ニ フ ァ ープ ロ ーブ） を交 換し て く だ さ い フ ィ ル タ ーが詰ま っ てい ます 差動セ ン サーが破損 し てい ます 基準 ラ イ ン が リ ー ク し てい ます 差動セ ン サーに接続 さ れてい る ホース の 1 つが リ ー ク し てい ます 差動セ ン サーが破損 し てい ます ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を交換 し て く だ さ い 差動セ ン サーに接続 さ れてい る ホース を 確認す る か、 交換 し て く だ さ い CPU ボー ド （ス ニ フ ァ ープ ロ ーブ） を交 換し て く だ さ い マモナ ク テ ス ト リ ー ク ガ カ ラ デス コ ウ ク ールチ ェ ッ ク が空です カ ン シ テ ク ダサ イ ！ 日付の設定が誤っ てい ます （本体） ク ールチ ェ ッ ク を交換 し て く だ さ い 本体に正 し い日付を プログラ ム して く ださい セ ンサー カ ン ド ガ ヒ ク ス ギマ ス 光セルが水で汚染 さ れてい ます 水の量に よ っ ては、 HLD5000 を 1 分～ 2 時間動作 さ せて く だ さ い ラ イ ド バ リ アガ ヨ ゴ レ テ イ マ ス ち り が校正 リ ー ク 開口部に蓄積し て いる た め、 ラ イ ト バリ ア が遮断さ れて いま す。 内部部校 リ ー ク での校正を メ イ ン メ ニ ュ ーか ら 手動で開始で き ます。 HLD5000 電源を オ フ に し て く だ さ い。。 圧 縮空気でテ ス ト リ ー ク 開口部を吹 き 飛ば し て く だ さ い。 HLD5000 を再起動 し て く だ さ い。 Calibration proof not possible Wrong gas type in internal test leak ユーザー設定ガ ス にプ ロ グ ラ ム さ れた ス マー ト プ ロ ーブ CO2 ま たは SF6 プ ロ ーブが接続 さ れてい ます 外部校正 リ ー ク で校正を確認 し て く だ さ い （校正プルーフ が実施で き ません 内部校正 リ ー ク のガ ス種が誤っ てい ま す。） Calibration not possible Wrong gas type in internal test leak （校正が実施で き ません 内部校正リ ーク の ガ ス 種が 間違っ て い ま す。） Warning 02: light barrier dirty 外部校正 リ ー ク で校正を確認 し て く だ さ ユーザー設定ガ ス CO2 or SF6 プ ロ ーブにプ ロ グ ラ ム さ れた ス い マー ト プ ロ ーブが接続 さ れてい ます ラ イ ト バ リ アが汚れてい ます 校正 リ ー ク の校正ポー ト を洗浄 し て く だ さい それで も 問題が解決 し ない場合、 外部 リ ー ク で確認 し 校正 し た後に ラ イ ト バ リ ア を交換 し て く だ さ い ラ イ ト バ リ アが汚れてい ます 校正 リ ー ク の校正ポー ト を洗浄 し て く だ さい それで も 問題が解決 し ない場合、 HLD5000 を シ ャ ッ ト ダ ウ ン し 再起動 し て く だ さ い 外部 リ ー ク で校正 し た後に ラ イ ト バ リ ア を交換 し て く だ さ い 警告 02: ラ イ ト バ リ アが汚れてい ます Calibration time out limit exceeded kina40jp 05.fm （校正の タ イ ム ア ウ ト 制限を過ぎ ま し た。） ( ０９０５ ) リ フ ァ レ ン ス ラ イ ン モレ ア リ 取扱説明書 表示 さ れた メ ッ セージ 5-2 メ ッ セージ 6 メ ン テナン ス 6.1 INFICON に よ る ア フ タ ーサービ ス 取扱説明書 HLD5000 を INFICON へ返送す る 場合は、 健康に有害な物質があ る か ど う か、 汚染 さ れていないか ど う か を明記 し た 「汚染申告書」 を添付 し て く だ さ い。 汚染 さ れて い る 場合には、 危険性の性質を明示 し て く だ さ い。 こ のために、 要求に応 じ て当社 が送付 し た書式を使用 し て、 ま たは本書か ら コ ピー し た も のを使用 し て く だ さ い。 こ の書式は 「汚染状況申告書」 を と 呼ばれてい ます。 こ の書式は HLD5000 に貼 り 付け る か、 リ ー ク デ ィ テ ク タ に同梱 し て く だ さ い。 こ の 「汚染状況申告書」 は法律に合致す る ために必要 と さ れてお り 、 弊社の社員を保 護す る ために も 必要な も のです。 正確に記入 し て く だ さ い。 「汚染状況申告書」 が添付 さ れていない場合、 INFICON は リ ー ク デテ ィ ク タ を発送 元に返送 し ます。 6.2 メ ン テナン ス作業 HLD5000 は定期に実施す る メ ン テナ ン ス 項目が あ り ま せん。 必要に応 じ て以下の 作業を実施 し て く だ さ い。 6.2.1 フ ィ ル タ の交換 フ ィ ル タ は、 吸入 さ れた空気を ろ過す る 役割を果た し てい ます。 エア フ ロ ーを妨害 し ないため、 そ し て HLD5000 を汚染か ら 保護す る ために、 すべての フ ィ ル タ は定 期的に交換 し て く だ さ い。 HLD5000 には、 3 個の フ ィ ル タ が備え ら れてい ます。 2 個は ス ニ フ ァ ーチ ッ プに備 え ら れ、 ス ニ フ ァ ー ラ イ ン を通 る 空気を ろ過 し 、 1 個のエア フ ィ ル タ はハ ウ ジ ン グ の底部に備え ら れてい ます。 kina40jp 06.fm ( ０９０５ ) 6.2.1.1 ス ニ フ ァ ー ラ イ ンのフ ィ ル タ の交換 1 週間に 1 度はプ ロ ーブチ ッ プの フ ィ ル タ ホルダーを交換 し 、 1 ヶ 月に 1 度は ス ニ フ ァ ーチ ッ プ底部のシ リ コ ン フ ィ ル タ カー ト リ ッ ジ を交換す る こ と を推奨 し ます。 「フ ィ ル タ 交換要求」 機能が有効にな っ てい る と 、 40 時間の運転時間ご と に、 「フ ィ ル タ を交換 し て く だ さ い」 と い う メ ッ セージが表示 さ れます。 フ ィ ル タ ホルダーを 交換 し 、 メ ッ セージ を確認す る と 、 こ の機能の内部カ ウ ン タ ーが リ セ ッ ト さ れ、 そ の後運転時間が 40 時間経過す る と 、 再び同 じ メ ッ セージ が表示 さ れ ま す。 ス ニ フ ァ ー ラ イ ンの フ ィ ル タ が汚染 さ れていた り 、 詰ま っ ていた り す る と 、 汚れたチ ッ プの フ ィ ル タ ホルダーの場合 と 同 じ エ ラ ー メ ッ セージが表示 さ れ ます。 汚れてい る 場合は、 設定 さ れてい る 時間にな る 前に、 「測定 ラ イ ン の流量が低すぎ ま す」 ま た は 「基準 ラ イ ン での流量が低すぎ ま す」 と い う エ ラ ー メ ッ セージが表示 さ れ ま す。 こ れ ら の メ ッ セージが表示 さ れた ら 、 最初にチ ッ プの フ ィ ル タ ホルダーを交換 し て く だ さ い。 こ れで も 問題が解決 さ れない場合は、 フ ィ ル タ カー ト リ ッ ジ も 交換 し て く だ さ い。 メ ン テナン ス 6-1 注 意 フ ィ ル タ を交換す る 際に、粒子が吸気開口部に入 ら ない よ う に注意 し て く だ さ い。 プ ロ ーブチ ッ プの細密フ ィ ル タ は、 フ ィ ル タ ホルダーに し っ か り と 組み込まれてい ます。 以下の手順に従い、 フ ィ ル タ ホルダーを交換 し て く だ さ い ： 取扱説明書 ス ニ フ ァ ー ラ イ ンの フ ィ ル タ を交換す る 前に、 HLD5000 の ス イ ッ チを オ フ に し て く だ さ い。 1 プ ロ ーブチ ッ プか ら フ ィ ル タ ホルダーを回 し て外 し て く だ さ い。 2 新 し い フ ィ ル タ ホルダーを回 し て取 り 付け ます。 交 換 用 の フ ィ ル タ ホ ル ダ ー は、 20 個 セ ッ ト で 入 手 で き ま す （ カ タ ロ グ No. 511-027）。 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ底部の細密フ ィ ル タ は、 シ リ コ ン カー ト リ ッ ジに し っ か り と 組み 込まれてい ます。 以下の手順に従い、 フ ィ ル タ カー ト リ ッ ジ を交換 し て く だ さ い ： 1 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ底部のネジ を緩め、 プ ロ ーブのハン ド ルか ら ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を外 し て く だ さ い。 2 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ底部か ら 、 フ ィ ル タ カー ト リ ッ ジ を外 し ます。 3 新 し いシ リ コ ン フ ィ ル タ カー ト リ ッ ジ を、 測定 ラ イ ン と 基準 ラ イ ンの両端に取 り 付け ます。 4 プ ロ ーブハン ド ルに ス ニ フ ァ ーチ ッ プ を再び取 り 付け、 ス ニ フ ァ ーチ ッ プ底部の ネジ を締めて く だ さ い。 交換用の フ ィ ル タ カ ート リ ッ ジ は、 20 個セ ッ ト で 入手で き ま す （ カ タ ロ グ No.511-018）。 6.2.1.2 ハ ウ ジ ン グ底部のエア フ ィ ル タ の交換 ハ ウ ジ ン グ底部のエア フ ィ ル タ は、 濃い灰色にな っ た ら 、 あ る いは明 ら かに汚れて い る 場合には交換 し て く だ さ い。 ハ ウ ジ ン グ底部のエア フ ィ ル タ を交換す る 前には、 HLD5000 の電源を切っ て く だ さ い。 ( ０９０５ ) 注 意 1 HLD5000 の電源ス イ ッ チを オ フ に し 、 電源プ ラ グ を引 き 抜 き ます。 2 フ ィ ル タ 中央部のネジ を外 し ます。 3 フ ィ ル タ を外 し 、 汚れの程度に よ り 、 交換す る か ク リ ーニ ン グ （圧縮空気やブ ラ シ な ど で） し て く だ さ い。 交換用のエア フ ィ ル タ は、 カ タ ロ グ No.200 000 086 で入手で き ます。 6-2 メ ン テナン ス kina40jp 06.fm 4 再びフ ィ ル タ を取 り 付け ます。 5 ネジ を締めて く だ さ い。 6.2.2 校正 リ ー ク の開口部の ク リ ーニ ン グ 取扱説明書 校正 リ ー ク の開口部の光バ リ ア を汚れの侵入か ら 保護す る ために、 き れいな圧縮空 気に よ り 開口部を定期的にブ ロ ー し て く だ さ い。 6.2.3 ク リ ーニ ン グ HLD5000 のハ ウ ジ ン グはプ ラ ス チ ッ ク 製です。 プ ラ ス チ ッ ク 面を損傷 し ない洗浄剤 ( 住居用中性洗剤等) でハ ウ ジ ン グの表面を清掃 し て く だ さ い。 プ ラ ス チ ッ ク 面を損 傷す る 溶剤は使用 し ないで く だ さ い。 6.2.4 ヒ ューズの交換 警 告 ヒ ュ ーズ を交換す る 場合は、 まず電源 コ ー ド を抜いて く だ さ い。 ヒ ュ ーズ ホルダー （図 2-2/8） は本体 HLD5000 背面にあ る 電源 コ ー ド ソ ケ ッ ト の 下にあ り ます。 ヒ ュ ーズ を交換す る 手順を以下に示 し ます。 ･ 中央にあ る ピ ン を押 し 下げて、 ヒ ュ ーズ ホルダーを引 き 出 し ます。 ･ ヒ ュ ーズ を取 り 外 し 、 確認 し ます。 ･ 必要に応 じ て新 し い ヒ ュ ーズ を挿入 し て く だ さ い。 いかな る 場合 も 同等 ク ラ ス の 2 つの ヒ ュ ーズ を使用 し て く だ さ い。 メ イ ン ヒ ュ ーズの規格は ス ロ ーブ ロ ー T 1 A （直径 5 × 20mm） です。 ･ 再度 ヒ ュ ーズ ホルダーを挿入 し 、 安全ピ ンがかみ合 う ま で押 し 込みます。 kina40jp 06.fm ( ０９０５ ) ヒ ュ ーズ を交換後、 HLD5000 に電源 コ ー ド を再度接続 し 、 リ ー ク デ ィ テ ク タ の ス イ ッ チを オ ンに し て く だ さ い。 メ ン テナン ス 6-3 6.2.5 校正 リ ー ク の交換 (SF6/CO2 バージ ョ ン を除 く ) ･ HLD5000 の ス イ ッ チをオ フ に し て、 電源プ ラ グ を引き 抜き ます。 ･ 底面が見え る よ う に本体を横に倒 し ます。 ･ 黄色のプ ラ ス チ ッ ク ね じ を逆方向に回転 し て外 し ます。 ･ 校正 リ ー ク を慎重に取 り 外 し ます。 ケーブルに損傷を与え ないで く だ さ い。 ･ 校正 リ ー ク のプ リ ン ト 基板か ら プ ラ グ （青） を引 き 抜 き ます。 ･ 新 し い校正 リ ー ク のプ ラ グ部を ソ ケ ッ ト に挿入 し ます。 ･ 新し い校正リ ーク を 挿入し 、 プラ グ付き のケーブルを 穴から 通し 、 接続し ま す。 ･ ネジで固定 し ます。 こ の と き 、 ゴ ム製シールが校正 リ ー ク の底面に正 し く 当た り 、 校正 リ ー ク の出口開口部が校正 リ ー ク の受け側開口部のほぼ中央に位置す る こ と を確認 し ま す。 ･ HLD5000 の電源ス イ ッ チを オ フ に し 、 5 分後に新 し い校正を実施 し ます。 取扱説明書 「間 も な く テ ス ト リ ー ク が空です。 交換 し て く だ さ い」 の メ ッ セージが表示 さ れて か ら 少な く と も 2 ～ 3 か月以内に校正 リ ー ク を交換 し て く だ さ い。 以下の手順で校 正 リ ー ク を交換 し て く だ さ い。 kina40jp 06.fm ( ０９０５ ) 使用済みの校正 リ ー ク の缶内には 5bar 以上の冷媒が残留 し てい る 可能性があ り ま す。 従っ て、 COOL-Check は法規に準 じ て適切に処置す る か、 ま たは INFICON や サプ ラ イ ヤに返送 し て く だ さ い。 6-4 メ ン テナン ス 取扱説明書 Declaration of Contamination The service, repair, and/or disposal of vacuum equipment and components will only be carried out if a correctly completed declaration has been submitted. Non-completion will result in delay. This declaration may only be completed (in block letters) and signed by authorized and qualified staff. Description of product Reason for return Type Article Number Serial Number Operating fluid(s) used (Must be drained before shipping.) Process related contamination of product: toxic no 1) caustic no 1) yes biological hazard explosive no no yes 2) yes 2) radioactive no other harmful substances no 1) The product is free of any substances which are damaging to health yes 1) or not containing any amount of hazardous residues that exceed the permissible exposure limits yes yes 2) yes 2) Products thus contaminated will not be accepted without written evidence of decontamination! Harmful substances, gases and/or by-products Please list all substances, gases, and by-products which the product may have come into contact with: Trade/p roduct name Precautions associated with substance Chemical name (or symbol) Action if human contact Legally binding declaration: I/we hereby declare that the information on this form is complete and accurate and that I/we will assume any further costs that may arise. The contaminated product will be dispatched in accordance with the applicable regulations. O rganization/company Address Post code, place Phone Fax ( ０９０５ ) Email Name Date and legally binding signature This form can be downloaded from our website. Company stamp Copies: Original for addressee - 1 copy for accompanying documents - 1 copy for file of sender INFICON GmbH kina40jp 06.fm Bonner Str. 498,50968 Cologne, Germany Tel: +49 221 3474 2222 Fax: +49 221 3474 2221 www.inficon.com [email protected] zisa01e1-a 図 6-1 汚染状況申告書 メ ン テナン ス 6-5 6-6 メ ン テナン ス kina40jp 06.fm 図 6-2 適合宣言書 ( ０９０５ ) 取扱説明書 索引 か C 取扱説明書 COOL-Check 4-11 4-3, 4-7 ガス 2-1, 4-3, 4-10 ガス種 1-9 感度 H HLD5000 の設定 4-1 け 言語 L 3-3, 3-5, 4-10 LED, 黄色 3-2 LED, 緑色 3-1 4-4 LED こ 4-5, 4-6, 4-9, 4-10 校正の確認 4-10 校正の要求 4-5 校正リーク 4-12, 6-4 校正リーク、外部 4-6 校正係数 4-3, 4-10 校正リーク、内部 4-11 校正 P PIN、変更 4-5 R RS232 1-10, 4-6 し あ アラーム 重量 1-3 アラーム , 耳で聞こえる 1-2 3-2 す 1-2, 4-1, 4-5, 4-9 スニファーチップ 0-6, 1-11, 4-6, 6-2 寸法 1-2 スタンバイ い 1-10, 4-6 インターフェース説明書 1-3, 1-10 インターフェース ( ０９０ せ う ウォームアップ時間 3-1 制御部 3-3 そ え 4-7 延長 1-12, 3-2 HLD5000 JPIOM.fm エラー お 1-2 音量 4-4, 4-9 測定されたリークレート 測定範囲 た 単位 応答時間 3-2 1-2 3-1, 4-4, 4-6 て データ、その他 1-2 索引 A-1 1-2 データ、物理的 1-2 データ通信機器 1-10 電源スイッチ 3-3 電源電圧 1-2 電力供給装置 1-9 よ と り データ、電気的 4-5 溶剤 6-3 要求 ら 1-9 トリガー 3-3, 4-1, 4-2, 4-8 トリガーレベルの設定 1-2 取り付け リークテスト 4-4 取扱説明書 ラウドスピーカー 3-2 リークレートトリガー値 4-2 れ は 搬送容器 ひ 冷媒 レベル (ALT) 1-9 4-2 1-2 6-3 表示、下限値 4-2 表示、上限値 4-2 表示部 3-3 ヒューズの交換 ふ フィルタ 1-3, 6-1 フィルタカートリッジ フィルタホルダー 1-4, 6-1 6-2 4-5 プローブ 3-1, 3-5 ほ 0-7, 3-2 ボタン 4-3, 4-9 ボーレート 4-6 防水チップ ( ０９０ フィルタ交換 め 1-8 4-1 メンテナンス 6-1 メニュー構造 A-2 索引 HLD5000 JPIOM.fm メニュー 索引 A-3 HLD5000 JPIOM.fm ( ０９０ 取扱説明書 INFICON GmbH, Bonner Strasse 498, D-50968 Cologne, Germany Phone: +49 (0)221 347-40 Fax: +49 (0)221 347-41429 E-mail: [email protected] UNITED STATES TAIWAN JAPAN KOREA SINGAPORE GERMANY FRANCE UNITED KINGDOM Vi s i t o ur w eb s i t e f o r c on ta c t i nf o rma t i on an d o t he r s al es of f i c e s w or l dwi de . w w w. i n fi c o n . com Dokument: kina40jp1-g ( ０ ９ ０ ５ ) HONG KONG