中古装置リスト一覧

中古装置リスト
中古装置リスト一覧
リスト一覧
Pre-owned Equipment List
リストに掲載
リストに掲載されていない
掲載されていない装置
されていない装置も
装置も多数ご
多数ご用意しております
用意しております
下記までお
下記までお気軽
までお気軽にご
気軽にご連絡
にご連絡ください
連絡ください
株式会社 メディア研究所
メディア研究所
MEDIKEN Inc.
〒105105-0003　0003　東京都港区西新橋2
東京都港区西新橋2-1919-4
Tel ： 0303-54705470-9363　9363　Fax ： 0303-54705470-9377
E-mail ： mkmk-online@
online@mediken.
mediken.jp
URL ： http：
http：//mediken
//mediken.
mediken.jp
株式会社メディア研究所
メディア研究所　研究所　中古装置再生関連事業
●　中古装置売買の
中古装置売買の取扱い
取扱い
メディア研究所
メディア研究所では
研究所では、
では、各種真空装置を
各種真空装置を中心に
中心に、理化学機器、
理化学機器、計測機器などの
計測機器などの
遊休装置の
遊休装置の販売、
販売、買取を
買取を行っております。
っております。査定から
査定から解体
から解体・
解体・搬出は
搬出は自社にて
自社にて行
にて行い
お客様のニーズに
客様のニーズに合
のニーズに合わせ改造
わせ改造、
改造、立上げオーバーホールにも
立上げオーバーホールにも対応可能
げオーバーホールにも対応可能です
対応可能です。
です。
また、
また、メンテナンス事業
メンテナンス事業の
事業の一環と
一環と致しまして
各種真空ポンプ
各種真空ポンプ（
ポンプ（ドライ・クライオ・ロータリーなど）
ドライ・クライオ・ロータリーなど）の
オーバーホール、
オーバーホール、真空部品の
真空部品の新規製作や
新規製作や精密洗浄も
精密洗浄も
１０年以上
１０年以上の
年以上の実績にて
実績にて培
にて培ったノウハウを基
ったノウハウを基に
短納期、
短納期、低価格にて
低価格にて対応
にて対応させて
対応させて頂
させて頂きます。
きます。
中古装置最新情報及び
中古装置最新情報及び推奨装置
Pre-owned Equipment List
装置名称
i-line Stepper 2505i9c
装置名称
i-line Stepper　Stepper　1755i
1755i7A
装置名称
Coater/Developer MarkⅤz
メーカー
NIKON （1996
（1996）
1996）
メーカー
NIKON　（
NIKON　（1996
（1996）
1996）
メーカー
TEL （1996）
1996）
概要
6inch
6inch reticle、
reticle、8inch wafer
概要
5inch reticle、
reticle、3inch wafer
概要
1coater
1coater 2developer
1/6
中古装置最新情報及び
中古装置最新情報及び推奨装置
Pre-owned Equipment List
装置名称
Thermal processing Alpha 8ＳＺ
装置名称
Mask Aligner　Aligner　MPA600
MPA600　600　FA
装置名称
Plasma CVD　CVD　P-5000
メーカー
ＴＥＬ （1998
（1998）
1998）
メーカー
CANON　（
CANON　（1997
（1997）
1997）
メーカー
AMAT （1994）
1994）
概要
8inch
概要
6inch
概要
6inch
他ｲﾝﾁ
他ｲﾝﾁ基板
ｲﾝﾁ基板への
基板への改造
への改造を
改造を承ります。
ります。
Chamber×1
※Etch available for sale
2/6
中古装置最新情報及び
中古装置最新情報及び推奨装置
Pre-owned Equipment List
装置名称
Etching CDE200
装置名称
Surface Profiler P-22
装置名称
Sheet Resistance Mapping　Mapping　RS75
RS75TC
75TC
メーカー
Shibaura Eletech （2002）
2002）
メーカー
KLA-Tencor （1999）
1999）
メーカー
KLAKLA-Tencor (2001）
2001）
概要
8inch
概要
6inch
6inch
概要
SMIF
All inch
Manual system available
改造により
改造により300
により300mm
300mm対応可能
mm対応可能
イオン注入
イオン注入、
注入、メタル、
メタル、拡散、
拡散、CMP、
CMP、
※P-10 available for sale
※Refurbish 8inch→12inch
ポリシリ、
ポリシリ、エピ、
エピ、RTP、
RTP、バルクシリコン
などの幅広
などの幅広い
領域で使用可能。
使用可能。
幅広い領域で
3/6
中古装置最新情報及び
中古装置最新情報及び推奨装置
Pre-owned Equipment List
装置名称
メーカー
概要
Contact Aligner　Aligner　PLA501
PLA501
CANON　（
CANON　（1989
（1989）
1989）
5inch
5inch　inch　装置名称
Clean Track　Track　ACT8
ACT8
装置名称
Contamination monitoring TREX622
メーカー
TEL （2002）
2002）
メーカー
Technos (2001)
概要
8inch
概要
8inch
SMIF
他基板ｻｲｽﾞ
他基板ｻｲｽﾞ（～
ｻｲｽﾞ（～4
（～4inch）
inch）への改造
への改造も
改造も
'08
'08年
08年5月まで稼働物件
まで稼働物件(
稼働物件(powered off)
off)
行います
行います。
います。
本装置は
本装置は随時視察可能です
随時視察可能です。
です。
'08
'08年
08年5月まで稼働物件
まで稼働物件(
稼働物件(powered off)
off)
本装置は
本装置は随時視察可能です
随時視察可能です。
です。
※Refurbish 5inch→4inch
4/6
中古装置最新情報及び
中古装置最新情報及び推奨装置
Pre-owned Equipment List
装置名称
Clean Track LITIUS iT
装置名称
Ion Etching　Etching　ICE200
ICE200
装置名称
Reactive Ion Etching RIE10NL
メーカー
TEL　（
TEL　（2002
（2002）
2002）
メーカー
Shibaura Eletech （2002）
2002）
メーカー
Samco （1993）
1993）
概要
8inch
8inch　inch　概要
8inch
概要
SMIF
SMIF
4inch
4inch
L/L system
5gas lines
'08
'08年
08年5月まで稼働物件
まで稼働物件(
稼働物件(powered off)
off)
'08
'08年
08年5月まで稼働物件
まで稼働物件(
稼働物件(powered off)
off)
本装置は
本装置は随時視察可能です
随時視察可能です。
です。
本装置は
本装置は随時視察可能です
随時視察可能です。
です。
5/6
中古装置最新情報及び
中古装置最新情報及び推奨装置
Pre-owned Equipment List
装置名称
Patterned Wafer Inspection　Inspection　AITⅡ
装置名称
Surfscan6420
装置名称
Mask Aligner　Aligner　M-2L
メーカー
KLAKLA-Tencor (2001）
2001）
メーカー
KLAKLA-Tencor (2001）
2001）
メーカー
Mikasa （2002）
2002）
概要
6inch
概要
6inch
概要
対物レンズ
対物レンズ10
レンズ10ｘ
10ｘ
接眼レンズ
接眼レンズ10
レンズ10ｘ
10ｘ
作動距離19
作動距離19,
19,5mm～
mm～24,
24,5mm
欠陥データから
欠陥データから歩留
データから歩留り
歩留り改善に
改善に必要な
必要な
パターン無
パターン無ウェハ表面
ウェハ表面の
表面の異物の
異物の位置、
位置、
情報を
情報を高精度かつ
高精度かつ短時間
かつ短時間に
短時間に得る事が
size、
size、数量を
数量を高感度かつ
高感度かつ高
かつ高ｽﾙｰﾌﾟｯﾄ
可能。
可能。
で検査が
検査が可能
6/6
マスクサイズ最大
マスクサイズ最大150
最大150mm
150mm
No.
1
2
3
4
5
6
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
32
33
34
35
36
37
38
39
40
41
42
43
44
45
株式会社メディア
株式会社メディア研究所
メディア研究所　研究所　中古装置一覧表
機種
Measuring device
Measuring device
Measuring device
Measuring device
Measuring device
Measuring device
Measuring device
品名
全自動膜厚測定器
フーリエ式赤外分光光度計・赤外顕微鏡
原子吸光分光光度計
液体クロマトグラフ
ガスクロマトグラフ
走査型プローブ顕微鏡システム
膜厚計
Microscope
走査型電子顕微鏡
Microscope
走査型電子顕微鏡
Microscope
走査型電子顕微鏡
Microscope
走査型電子顕微鏡
Microscope
IC検査顕微鏡
Microscope
レーザー顕微鏡（OBIC用）
Microscope
顕微鏡
Microscope
顕微鏡
Vacuum componentクライオポンプ
Vacuum componentターボ分子ポンプ
Vacuum componentターボ分子ポンプ・コントローラー
Vacuum componentロータリーポンプ
Vacuum componentロータリーポンプ
Vacuum componentクライオコンプレッサー
Vacuum componentクライオポンプ
Vacuum componentクライオポンプ
Vacuum componentロータリー、メカブの排気セット
Vacuum componentドライポンプ
Vacuum componentドライポンプ
Vacuum componentクライオポンプ、コンプレッサー
Vacuum device 縦型拡散炉
Vacuum device スパッタ装置
Vacuum device スパッタ装置
Vacuum device スパッタ装置
Vacuum device スパッタ装置
Vacuum device スパッタ装置
Vacuum device スパッタ装置
Vacuum device スパッタ装置
Vacuum device スパッタ装置
Vacuum device スパッタ装置
Vacuum device スパッタ装置
Vacuum device
装置
Vacuum device
装置
Vacuum device
装置
Vacuum device
装置
Vacuum device
装置
Vacuum device
装置
真空蒸着
真空蒸着
真空蒸着
真空蒸着
真空蒸着
真空蒸着
製造メーカー
製造メーカー
KLA-tencor
Nicolet
Shimaz
HP
Shimaz
Seiko
Thermal Wave
Jeol
Jeol
Jeol
Jeol
Nideck
Jeol
Olympus
Olympus
Anelva
Leybold
Seiko
Edwards
Leybold
Daikin
Daikin
CTI
Leybold
Kashiyama
Ebara
Anelva
Koyo
Anelva
Anelva
First
Showa
Ulvac
Ulvac
Ulvac
Ulvac
Ulvac
Ulvac
Showa
Showa
Ulvac
Shincron
Shincron
Shinku
型式・
型式・型番・
型番・規格
UV1250
Continum及びNexus470
AA6700
HPLC1050シリーズ
GC-9A
SPA3800N　SPA-500他
Opti-probe 2600
JSM840F
JSM820
JSMT330A
JSM6400F
IM-12
JDLM-6602E
BH2-UMA
BX-60
CAP 8　MARK-Ⅱ
1000C
STP300H
E2M30、E2M175
D65B
U108CW
V208SC512FN
オンボード8inch
S250C WSU1001
SD40V、SD90V
AA10N
CAP-121 CRC874
VF-5100
SPF-730
SPC530
SFD500
SPC-512T
SDP-730
SH-550
SHD-12
SIH-105
SDP-1020
SV-6040
SEC-10C
SMC-16SA
EBX-10D
ACE-850
BMC-1300
AE-1200DCH
1/2
年式 台数
97
00
95
95
90
02
89
89
89
92
95
96
91
91
91
91
90
97
93
97
94
90
93
94
97
88
98
03
97
01
94
88
92
00
92
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
6
2
1
3
2
5
1
1
1
1
2
2
1
1
1
2
2
1
1
1
1
1
1
1
1
1
ヤ
追記事項
2008年12月2日
6インチ対応。マルチレイ ー対応。
赤外顕微鏡 及び フーリエ変換式赤外分光光度計
グラフ イト用、オートサンプラー付属
4液ｸﾞﾗｼﾞｪﾝﾄﾎﾟﾝﾌﾟ、ｵｰﾄｻﾝﾌﾟﾗｰ（21検体）、UV-VIS検出器他付属
詳細はお問い合わせ下さい
AFM、STM、DFM測定
酸化膜の計測用
フィールドエミッションSEM、O/H実施後に納入
O/H実施に納入
詳細はお問い合わせ下さい
詳細はお問い合わせ下さい
カセットローダー、マクロ検査ユニット、エアー式防振台付属
3次元画像ソフト、デジタルOBIC装置、プリンタ、試料台付属
接眼レンズ 10×/20　対物レンズ ×5、10、20、50、100
接眼レンズ 10×/22　対物レンズ ×2.5、5、10、20、50
JISフランジ
吸口径250ｍｍ
SEMに使用していたTMP、電源ケーブル・コントロールケーブル無し
O/H実施後に納入（納期2週間）
新品
Heホース付、アワーメーター27000時間～60000時間
VLP-US40KF、275ミニコンベクトロン付き
ICF253
オイル交換必要
詳細はお問い合わせ下さい
O/H済み
積算時間約60000時間、動作確認済み
8インチ対応、最高温度1050℃
8インチカソード×3
5x15インチﾀｰｹﾞｯﾄｘ２基　主排気CP仕様
3 ﾝ
ｰﾄﾞｘ 基　RFスパッタ、カルーセルタイプ、5インチ×12インチカソード1基
インライン式、基板加熱150度
スパッタアップ、カソード6インチ
インライン式スパッタ
DC・RF電源、4チ ン ー（仕 み、
出し、スパッタ、基板
）
1020 基板対応
8インチ　3カソード（DCｘ２、RFｘ ）　3インチ基板用 ッチ式、EB付き、チ ン ー径500mm、クライオ仕様
クライオ仕様、
加熱2源、
式膜厚計
EB付（ ース4 ）、チ ン ー径500mm
EB付（6 式）光 膜厚、
式膜厚計付属
EB付、チ ン ー径1300mm
加熱２基。
ァ
可能
ｲ ﾁｶｿ ３
込 取り
１
バ
ャ バ
抵抗
水晶
ハ ヶ ャ バ
点 学 水晶
ャ バ
角
抵抗
搭載
ャ バ
着脱
Mediken Inc.
ランク
☆☆☆
☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆
☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆
☆☆
☆☆☆
☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆☆
☆☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆☆
☆☆☆☆
☆☆☆☆
☆☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆☆☆
☆☆☆☆
☆☆☆
No.
45
46
47
48
49
50
51
52
53
54
55
56
57
58
59
60
61
62
63
64
65
66
67
68
69
70
71
72
73
74
75
76
77
78
79
80
株式会社メディア
株式会社メディア研究所
メディア研究所　研究所　中古装置一覧表
機種
Vacuum
Vacuum
Vacuum
Vacuum
Vacuum
Vacuum
Vacuum
Vacuum
Vacuum
Cleanin
Cleanin
Cleanin
Cleanin
Cleanin
Others
Others
Others
Others
Others
Others
Others
Others
Others
Others
Others
Others
Others
Others
Others
Others
Others
Others
Others
Others
Others
Others
g
g
g
g
g
品名
真空蒸着
バ 蒸着
ＣＶＤ
device
装置
device ッチ式
装置
device LP-CVD
device プラズマ
device PE-CVD
device アッシング装置
device PCVD
device ドライエッチ ｰ
device ドライエッチ ｰ
device
device クリーンドラフト（
用）
device 自動リフトオフ装置
device スクリーン
装置
device 6 式
装置
高温 温器
クリーンオーブン
アトラス・フ ードオメータ
試 装置
コーター
ドラフトチ ン ー
ステッパー
ステッパー
DC電源
ガラススクライ ー
コンタクトアライ ー
ラップ
CONDITION
☆☆☆☆☆
☆☆☆☆
☆☆☆
☆☆
☆
ャ
ャ
超音波洗浄機
洗浄
版超音波洗浄
槽 洗浄
恒
ェ
染色 験
ャ バ
バ
ナ
両面
成形機
コーター
卓上SEM
オーブン
真空オーブン
真空オーブン
振動試験装置
ポリッシュ
ラップ
ダイサー
製造メーカー
製造メーカー
Shinkron
Anelva
Ulvac
Ulvac
AMAT
Shibaura
AMAT
TEL
TEL
Kokusai
Maruwa
M stek
Sharp
Arakawa
ETAC
amato
Toyo
Toyo
TEL
Dalton
Nikon
Nikon
AE
Kosaka
Canon
Fu ikoshi
SHI
TEL
Hitachi
amato
Tabai
Tokyo Rika
IMV Corporation
Okamoto
Okamoto
Disco
Y
j
Y
型式・
型式・型番・
型番・規格
BMC1900
EVD-1701
V6-50LLC
CPD-1114
P-5000
ICE200
P-5000
TE-8500
-8
DC2110W
VL6000
UC-4500
HS-310
DES82H
Ci3000F
ACT-8
2005i9
2005i10C
MDX（10K）
PLA- ２
USP-5B
SD-35E
Mark-V
TM-1000
DK400T
LHV-112
VOS-300SD
VS-300-2
SPP-500
SPL-500
DAD-3S/8
α
５０
年式 台数
03
88
94
87
92
03
94
96
97
00
93
98
00
04
97
99
98
98
99
95
95
90
98
99
96
06
00
93
98
92
00
00
93
3
1
1
1
1
1
1
2
1
1
1
1
1
1
3
2
1
1
1
24
1
1
8
1
1
2
1
1
1
2
1
1
1
1
1
1
途
2008年12月2日
追記事項
プラスチックレンズ用
プラ タリー、 拡散ポンプ、10kw・4 E型電子
400℃～850℃、ロードロック式
デポアップ 式の3インチ、4インチ対応型
4、6インチ対応
8インチ　SMIF仕様
8インチ仕様
5～8インチ対応
8インチ対応
用 型
（ 動） SC ・HF ・SC ・ス ンドライ
4インチ
式
詳細はお問い合わせ下さい
、液き 、リンス、液き 、仕
リンス、熱
の6 式
サイクル試
580W×480D×1100mmH、使用温度
温 50～200℃
詳細はお問い合わせ下さい
詳細はお問い合わせ下さい
8インチ、4コーター、O/H済み
使用
4、6インチ対応　6インチレチクル、8インチ
ミニパ ル付属、200V仕様
500 対応
3インチ（4インチコン ージョン ット
）
6B用に
DVD用。
出しロボット、温 付き
1コーター、 デベ
詳細はお問い合わせ下さい
450mm
径 300mm
300mm
体及び
5インチ用
5インチ用
最 8インチ
対応
ネ
方
油
連
銃
卓上 小 洗浄機
槽構成 手
槽 槽 槽 ピ
ヤ
枚葉
洗浄 り
り 上げ
風乾燥 槽 洗浄機
験可能
内寸
範囲 室 ＋
耐溶剤
角
ウェハ
ネ
改造
取り
１
内寸
角
内 φ
内寸
角
本
制御部
大
バ
キ 有り
調
ウェハ
稼動中の装置
停止しているが、ユーティリティーが接続されている装置
メーカーもしくは、それに準じた立ち下げを行って、梱包されている装置
立ち下げ状況がわからなく、梱包されている装置
欠品もしくは、メーカーサポートが終了している装置
2/2
Mediken Inc.
ランク
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆
☆☆☆