阪和電子工業株式会社

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阪和電子工業株式会社
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阪和電子工業株式会社 概要
創業
設立
本社所在地
：１９６７年１０月
：１９７７年１２月
：和歌山市大垣内６８９−３
公司網頁
社員人数
：http://www.hanwa-ei.co.jp/
: 60人（本社）
30人(熊本工場)
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阪和電子工業（株）業務内容
（本社）
Print基板的製造：
ＯＥＭ方式
印刷機用制御基板
各種実装基板
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2006年被経済産業
省評為全日本最具
活力的３００家中小
製造業之一
産品的設計・製造・販売
①解析用測量装置
②ＥＳＤ模擬試験測試系統
③ＣＤＭ測試器/Latch up測試器
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什麼是ＥＳＤ?
„
„
ElectroStatic Discharge : 静電放電
半導体如果受到静電放電会被破壊，会失
去原本所設計的功能。
破壊場所
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静電的性質
例如1000V静電的話，大約１mm的距離，即可能産生電弧
放電。
在冬季乾燥的情況下，人体大概会産生数千V∼ 1万V的
静電。 （例：如打開車門時、脱毛衣時）
最先進的半導体的設計製造技術：0.1um(微米)以下。因此
在半導体設計上如不考慮ＥＳＤ対策，只需数Ｖ電圧就会
将半導体破壊。
„
„
„
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半導体高集成化的副作用
LSI（大規模積体電路）的集
積程度越高，半導体対静電
的抵抗力越弱。
破壊電圧
低
高
„
LSI的集成度
低 高
LSI的微細化与破壊電圧的関係
„
為了使半導体不被静電破壊，所以必須在電路裡面加上保護
回路，但却会造成処理速度変慢・電阻的増大・反集積化等副
作用
結果招致半導体在静電放電問題上出現進退両難的情況
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対半導体進行静電放電試験的必要性
„
„
„
半導体製造商儘可能的想去研発大規模
的集積電路
半導体製造商儘可能的想去研発対高静
電放電有抵抗能力的集積電路
因此需要正確知道集積電路在遭受到多
大静電放電時会被破壊
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ＥＳＤ評価方法
・半導体製造商依国際規格，進行静電放電的
破壊試験。
・一般有以下3種不同的ESD破壊測試模式
HBM (Human Body Model)
MM (Machine Model)
CDM (Charged Device Model)
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ＨＢＭ模式
HBM (Human Body Model)
„ 人体接触元件時的放電模式。
人体電容量:100 pF、人体与元件間的電阻:1.5kΩ
„
Zap!!
1.5 kΩ
100 pF
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ＭＭ模式
„
„
MM (Machine Model)
帯電的機械手接触其他元件時的破壊模式。
帯電的機械手電容量:200 pF 電阻: 0Ω
Metal Tool
200 pF
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0Ω
Zap!!
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ＣＤＭ模式
„
„
CDM (Charged Device Model)
元件自身帯電対地放電時的破壊模式。
(測試時不使用Socket)
Sliding down
and Zap!!
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Latch-up規格
Latch-up
CMOS構造的半導体元件，在受到雑訊等影
響時，電源和接地間発生短路，導致大電
流破壊元件的現象。
在半導体的規格認定実験中，和ESD試験一起
加以実施。
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世界上具有代表性的ESD試験規格及標号
ESDA規格(静電放電協会）
JEDEC規格
HBM： ESD-STM5.1
MM： ESD-STM5.2
CDM： ESD-STM5.3.1
(電子産品標准化推進团体）
HBM：JESD22-A114-F
MM ：JESD22-A115-A
CDM：JESD22-C101-E
Latch-up：JESD78A
JEITA規格（電子情报技術産業協会)
HBM：ED-4701_304
MM : ED-4701_304
CDM：ED-4701_305
Latch-up：ED-4701_306
MIL(美国規格）
HBM：MIL-STD-883(3015)
AEC規格
（美国車載電子部品評議会)
HBM： AEC_Q101-001A
MM : AEC_Q101-002A
阪和ESD試験装置満足所有規格的波形
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阪和産品介紹（１）
ESD試験器（Ｓ5000系列）
·Max256Pin
·ESD&Latch-up試験
CDM試験器（C5000）
不使用Socket，為CDM実験専用机
(符合以下規格：JEDEC・ESDA・JEITA・
AEC)
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阪和産品介紹（２）
多Pin ESD試験器（N5000）
·Max1024Pin
·可高速同時処理多個元件
·ESD&Latch-up試験
·latch-up波形観測功能
Wafer ESD試験器(W5000/W5100D）
·可測試wafer和package
·不需製作socket
·可対各種形状元件package進行
全自動測試
·具有画像辨識功能的 Wafer ESD tester
5um accuracy
（W5100D）
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阪和産品介紹（３）
TLP試験器 （ T5000）
非破壊・解析装置
·可観測pulse通電中IC的状態
·在IC保護回路的分析上是不可欠缺的測試
高速傳輸線pluse TLP試験器 （T5000ＶＦ）
（最小pluse 寛度＝1ns、最快pluse上昇時間＝200ps）
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阪和産品介紹（４）
波形観測 Ｗａｆｅｒ ESD試験器
（W5000M-WFC）
特徴：
有ＥＳＤ功能，可判定半導体的ｐａｓｓ和ｆａｉｌ。
也有ＴＬＰ功能，可測得静電保護回路的重要
参数，如Ｉｔ２、Ｉｔ１、Ｒon等々
（使用ＨＢＭ ｐｌｕｓｅ）
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阪和電子工業 産品一覧
ＥＳＤ／ＣＤＭ試験器
HED - N5000 系列 1024Pin ESD & Latch-up
HED - S5000 系列 256Pin ESD & Latch-up
HED - W5000 系列 Wafer level ESD
HED - C5000 系列 CDM専用
ＥＳＤ保護回路特性解析装置
ＨED−T5000系列 TLP試験器
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銷售実績及活動内容
銷售実績（日本国内）
★顧客遍及全日本半導体製造商。
●
累計出貨台数：約400台
(2010年７月現在）
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★ 国内據点
●
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1983年∼
2004年∼
1986年∼
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熊本工場
本 社
東京営業所
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銷售実績（海外）
★産品輸出世界各国
韓国
捷 克
英 国
徳 国
美 国
●
中国
比利時
台湾
馬来西亜
新加坡
累計海外銷售台数：約55台
(2010年７月現在）
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銷售実績（台湾）
Wafer ESD (手動)
台積電/旺宏/晶元/華上/新世記etc
Wafer ESD(自動)
奇景/世界先進/聯電/晶元etc
Package ESD 台積電/旺宏/華邦/力晶/敦茂 etc
TLP Tester
台積電/聯電/宜特
CDM tester
力晶/敦茂 /宜特
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台湾販売実績表
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GENESIS
ARIMA
EPISTAR
ＩＳＴ
Himax
EPISTAR
ＵＥＣ
SemiLeds
EPISTAR
TSMC
TSMC
Vanguard
Genesis
Himax
TSMC
UMC
UMC
TSMC
TSMC
TSMC
TSMC
ＩＳＴ
TSMC
Macronix
TSMC
新世記光電
華上光電
晶元光電
宜特科技
奇景光電
晶元光電
国聯光電
旭明光電
晶元光電
台積電
台積電
世界先進
新世記光電
奇景光電
台積電
聯華電子
聯華電子
台積電
台積電
台積電
台積電
宜特科技
台積電
旺宏科技
台積電
Wafer ESD Tester
Wafer ESD Tester
Wafer ESD Tester
TLP Tester
Wafer ESD Tester
Wafer ESD Tester
Wafer ESD Tester
Wafer ESD Tester
Wafer ESD Tester
Wafer ESD Tester
TLP VF tester
Wafer ESD Tester
Wafer ESD Tester
Wafer ESD Tester
ESD Tester
Wafer ESD Tester
TLP tester
ESD Tester
CDM Tester
ESD Tester
Wafer ESD Tester
CDM Tester
TLP tester
Wafer ESD Tester
Wafer ESD Tester
W5000M-SP0
W5000M-SP0-F1
W5000M-Z0
T5000
W5100D
W5000M-SP0
W5000M-SP0
W5000M-SP0-F1
W5000M-SP0-F1
W5000M-SP0-F1
T5000-VF
W5100D
W5000M-SP0
W5100D (SCM)
N5768D3
W5100D
T5000
N5256D3
C5002
N5256D5
W5000M-SP0
C5000
T5000-HC
W5000M-SP0
W5100D
1
3
1
1
1
1
1
1
3
1
1
1
1
1
1
1
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1
1
1
1
1
1
1
2010年7月現在
◆型番説明：
W5100D： 全自動Wafer tester
W5000M: 手動Wafer tester
T５０００: TLP tester
T５０００VF: VF-TLP tester
C5002: CDM tester
N5000: High pin ESD tester
512・768・1024pin
S5128A-D1:
128p ESD tester
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日本国内展示会・規格化活動
日本半導体展（幕張）
RCJ研討会(東京）
LSIＴ研討会(大阪）
・参加JEITA委員会
・在RCJ･LSIT等研討会上発表論文
・RCJ･LSIT等研討会上展示商品
・在日本半導体展覧会上展示商品
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海外展示会・規格化活動
„
„
„
„
与国際性ＥＳＤ研究機関 IMEC進行共同研究及論文発表
美国ＥＳＤＡ委員会成員及参加展示商品
参加台湾ＥＳＤＡ協会的展示商品
参加中国半導体製造専業展，並展示ＥＳＤ測試機台
与比利時IMEC進行共同研究
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参加美国ESDA展示商品
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Automatic wafer ESD tester
for Package Devices
Model W5100D
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W5100D basic structure
Ball Screw
Left Zap unit
2010/7/14
Right Zap unit
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Move area & accuracy
Move area :100mm square
„ Move accuracy : +/- 5um
„
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Features (low cost)
(without package for ESD)
Capable to ESD test without IC package
2010/7/14
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Features (low cost)
(without socket board)
Reduce the socket board cost & time
2010/7/14
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GIG for package DUT)
2010/7/14
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Leakage measurement
„
„
Wafer map program supported
I/V evaluation included
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The low cost type wafer ESD tester
„
„
„
„
Manual position type wafer ESD tester
(Model: HED-W5000M-SP0)
Automatic I/V evaluation included
HBM (MAX 8KV)
MM (MAX 4KV)
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謝 謝 各 位
阪和電子工業株式会社
和歌山市 大垣内689-3
TEL (073) 477 - 4435
FAX (073) 477 - 3445
URL : http://www.hanwa-ei.co.jp
E-mail : [email protected]
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