メカニカルブースターポンプ【PMB シリーズ Ver.D】

低真空
ポンプ
メカニカルブースターポンプ【PMB シリーズ Ver.D】
メカニカルブースターポンプはドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、
粗引ポンプの排気速度が低下する 10k ∼ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。
PMB シリーズ Ver.D はマルチ電圧モータも選択できる汎用型のメカニカルブースターポンプです。
オプションで空冷での運転が可能な他、表面処理や大気圧駆動型も選べます。
PMB1200D
特
用
長
マルチ電圧モータ選択可能（ 200V 級かマルチ電圧のどちらか
を選べます）
汎用モータとの互換性があるので、防爆モータ（オプション）の
搭載も可能です。
耐腐食性に優れた表面処理（オプション：T タイプ）
主要部品に表面硬度が高く耐食性に優れたアルマイト処理を
施します。ポンプ内部の傷や腐食を抑えます。
排気時間短縮に有効な大気圧駆動型（オプション：インバータ）
粗引ポンプとの同時起動が可能なので、標準型に比べ排気時
間が短縮できます。
蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
分析機器、リークテスト装置
ガス置換、充填、真空断熱
熱処理炉、溶解炉
その他各種真空装置
低真空ポンプ
空冷運転可能（オプション：空冷用インバータ）
空冷用インバータの搭載により、全圧力領域にて空冷運転が
可能です。
途
メカニカルブースターポンプ【PMB シリーズ Ver.D】
外 形 寸 法 図
PMB100D
PMB300D
単位：mm
インバータ
（オプション）
576
167
163
冷却水出口 Rc3/8
321
吸気口フランジ
VG80相当
685
100
195
260
180
＊143
151
152
冷却水入口 Rc3/8
173（400V インバータ）
135（200V インバータ）
排気口フランジ
VF50相当
185
200
PMB600D
115
130
4-φ12
180
180（400V インバータ）
140（200V インバータ）
141
＊143
吸気口フランジ
VG50相当
267
132
φ150
30
φ170
45
インバータ
（オプション）
単位：mm
（400V インバータ）
138
（200V インバータ）
128
183
230
138（400V インバータ）
128（200V インバータ）
164
排気口フランジ
VF80相当
120
135
120
135
PMB1200D
単位：mm
単位：mm
202
冷却水入口
Rc3/8
＊143
269
173
173
169
179
冷却水出口
Rc3/8
吸気口フランジ
VG80相当
362
184
179
＊165
784
322
320
290
250
270
110
130
4-φ14
吸気口フランジ
VG100相当
970
274
＊143
212
130
150
排気口フランジ
VF80相当
417
204
214
＊212
369
340
310
冷却水入口
Rc3/8
202
φ219
70
172
φ175
60
インバータ
（オプション）
冷却水出口
Rc3/8
＊部：200V インバータ、
400V インバータ同寸法
＊143
154
（400V インバータ）
138
（200V インバータ）
インバータ
（オプション）
360
380
130
150
140
160
140
160
4-φ15
140
160
排気口フランジ
VF80相当
PMB2400D （ 水 平 排 気 仕 様 ）
PMB2400D
単位：mm
単位：mm
＊176
285
インバータ
（オプション）
288
208
90
＊部：200V インバータ、
400V インバータ同寸法
531
＊281
＊部：200V インバータ、
400V インバータ同寸法
531
＊191
インバータ
（オプション）
＊176
328
615
冷却水出口
Rc1/2
吸気口フランジ
VG200相当
1260
吸気口-吐出口 420
367
215
排気口フランジ
VF200相当
235
195
510
(540)
(615)
208
＊109
＊268
460
吸気口-吐出口 420
(480)
φ260
4-φ18.5
880
吸気口フランジ
VG200相当
1260
529
367
615
215
880
4-φ18.5
オイルドレインポート
G3/8
冷却水入口
Rc1/2
288
328
冷却水出口
Rc1/2
排気口フランジ
VF200相当
＊199
＊268
560
288
φ260
90
冷却水入口 Rc1/2
190
190
460
＊511
排 気 速 度 曲 線
PMB600+VD901
PMB300+VD601
PMB100+VD401
PMB2400+PKS-070
PMB1200+VS2401
Pumping Speed (JIS B 8316/1985)
Backing Vacuum pump: Standard Oil: ULVOIL R-4
Gauge: Pirani Capacitance Manometer
3000
600
PMB600(60Hz)+VD901(60Hz)
500
PMB600(50Hz)+VD901(50Hz)
400
PMB300(60Hz)+VD601(60Hz)
300
PMB300(50Hz)+VD601(50Hz)
200
2500
Pumping Speed [m3/h]
Pumping Speed [m3/h]
700
PMB100(60Hz)+VD401(60Hz)
PMB100(50Hz)+VD401(50Hz)
1
10
102
103
104
PMB600+VD901
PMB300+VD601
PMB2400(50Hz)+PKS070(50Hz)
1500
PMB1200(60Hz)+VS2401(60Hz)
1000
0
10-1
105[Pa]
大気圧駆動＝インバータ（水冷）
PMB2400(60Hz)+PKS070(60Hz)
2000
PMB1200(50Hz)+VS2401(50Hz)
500
100
0
10-1
Pumping Speed (JIS B 8316/1985)
Backing Vacuum pump: Standard Oil: ULVOIL R-4
Gauge: Pirani Capacitance Manometer
1
10
102
104
105[Pa]
大気圧駆動＝インバータ（空冷）
PMB600+VD901
PMB300+VD601
PMB100+VD401
Pumping Speed (JIS B 8316/1985)
Backing Vacuum pump: Standard Oil: ULVOIL R-4
Gauge: Pirani Capacitance Manometer
700
Pumping Speed (JIS B 8316/1985)
Backing Vacuum pump: Standard Oil: ULVOIL R-7
Gauge: Pirani Capacitance Manometer
700
PMB600(60Hz)+VD901(60Hz)
600
PMB600(60Hz)+VD901(60Hz)
600
PMB600(60Hz)+VD901(50Hz)
PMB600(60Hz)+VD901(50Hz)
500
400
Pumping Speed [m3/h]
Pumping Speed [m3/h]
103
PMB300(60Hz)+VD601(60Hz)
300
200
PMB300(60Hz)+VD601(50Hz)
500
400
PMB300(60Hz)+VD601(60Hz)
300
PMB300(60Hz)+VD601(50Hz)
200
PMB100(60Hz)+VD401(60Hz)
100
100
PMB100(60Hz)+VD401(50Hz)
0
10-1
1
10
102
103
104
大気圧駆動＝インバータ（水冷）
PMB2400+VS650
PMB1200+VS2401
2500
2000
PMB1200(60Hz)+VS2401(60Hz)
1000
1
10
102
103
104
105[Pa]
Pumping Speed (JIS B 8316/1985)
Backing Vacuum pump: Standard Oil: ULVOIL R-7
Gauge: Pirani Capacitance Manometer
PMB2400(60Hz)+VS650(60Hz)
PMB2400(60Hz)+VS650(50Hz)
2500
2000
PMB1200(60Hz)+VS2401(60Hz)
1500
1000
PMB1200(60Hz)+VS2401(50Hz)
PMB1200(60Hz)+VS2401(50Hz)
500
102
3000
PMB2400(60Hz)+VS650(50Hz)
1500
10
3500
Pumping Speed [m3/h]
Pumping Speed [m3/h]
PMB2400+VS650
PMB1200+VS2401
PMB2400(60Hz)+VS650(60Hz)
3000
1
大気圧駆動＝インバータ（空冷）
Pumping Speed (JIS B 8316/1985)
Backing Vacuum pump: Standard Oil: ULVOIL R-4
Gauge: Pirani Capacitance Manometer
3500
0
10-1
0
10-1
105[Pa]
500
103
104
105[Pa]
0
10-1
1
10
102
103
104
105[Pa]
メカニカルブースターポンプ【PMB シリーズ Ver.D】
仕
型 式 ＊ 1
最大排気速度
m3/h
(L/min)
最大吸入圧力 Pa
最大許容圧力差 Pa
モータ 到達圧力 ＊2 Pa
駆動可能圧力 Pa
出力（極数）kW
PMB100D
50Hz
m3/h
L/min
60Hz m3/h
L/min
50Hz
60Hz
50Hz
60Hz
200V 級モータ V
＊3 マルチ電圧モータ V
様
PMB300D
PMB600D
PMB1200D
PMB2400D
95
280
1580
4670
115
330
1920
5500
1.2 × 10 3
9.3 × 10 3
6.2 × 10 3
9.3 × 10 2
4.0 × 10 3
8.0 × 10 3
5.6 × 10 3
3.3 × 10 3
4.0 × 10 -1
5
∼ 1.0 × 10（大気圧駆動型）
0.4（2）
0.75（2）
200
200 / 220
220 ∼ 240 / 380 ∼ 415
208 ∼ 240 / 380 ∼ 460
ULVOIL R-4
0.35
0.7
500
8330
600
10000
1.3 × 10 3
1.1 × 10 3
7.3 × 10 3
6.0 × 10 3
1000
16667
1200
20000
2500/2000
41667/33330
3100/2400
51667/40000
2.0 × 103 /8.0 × 10 2
1.5 × 103 /6.7 × 10 2
3.5 × 103 /5.6 × 10 3
3.0 × 103 /4.7 × 10 3
2.2（2）
3.7（2）
空冷
̶
̶
̶
̶
冷却水
使用油 ＊4
所要油量 L
冷却方式 ＊5
一時側圧力 MPa
出入口差圧 MPa
冷却水量 L/min
冷却水温度 ＊6 ˚C
吸気口径 JIS-B-2290
排気口径 JIS-B-2290
外形寸法 W × D × Hmm
質量 ＊7 kg
標準補助ポンプ ＊8
国際規格 ＊9
オプション
大気圧駆動 ＊10
インバータ仕様／電圧対応
50Hz
60Hz
50Hz
60Hz
7.5（2）
̶
̶
200 ∼ 240/380 ∼ 415
200 ∼ 240/380 ∼ 460
1.5
空冷／水冷
0.3
0.05
2
5 ∼ 30
VG80 相当
VF80 相当
321 × 685 × 260
51
VD601
VG50 相当
VF50 相当
267 × 576 × 180
26
VD401
CE、cTUVus
6.7 × 10 -1
1.9
4.0
3
VG100 相当
362 × 784 × 320
82
VD901
VG200 相当
VF200 相当
520 × 1260 × 460
260
VS650/PKS-070
417 × 970 × 340
115
VS2401
表面処理、アダプタフランジ、防爆モータ、大気圧駆動（インバータ）＊10、潤滑油＊4、潤滑室別排気ポート、水平排気（PMB2400D のみ）
I 2, A2 / 200V ∼ 240V（50Hz / 60Hz）
I 4, A4 / 380V ∼ 480V（50Hz / 60Hz）
注意：本カタログは、SI 単位系を採用しています。非 SI 単位系との換算は次のようになります。
到達圧力：4.0 × 10-1Pa ＝ 3.0 × 10-3 Torr、圧力：0.05MPa ＝ 0.5kgf / cm2
＊1
＊2
＊3
＊4
＊5
＊6
＊7
＊8
＊9
＊10
標準は表面処理なし。オプションで表面処理（アルマイト処理）付きを選定できます。
ピラニ真空計での測定（補助ポンプ、使用油は標準）。マクラウド真空計では 4.0 × 10-2Pa になります。
200V 級モータとマルチ電圧モータが選択できます。防爆モータ対応の場合は、マルチ電圧対応はできません。
空冷仕様の使用油は、R-7 になります。オプションで鉱物油：R-7、合成油：R-7000、フッ素油：J25F が選定できます。
インバータ仕様にて、空冷で全圧力領域を運転することが可能です。空冷で使用する場合は、ご注文時ご指定ください。
水冷仕様のインバータで空冷運転はできません。
PMB600D､1200D、2400D は、300Pa ∼ 4000Pa の圧力範囲で 1hr 以上圧力保持を行うとポンプ破損の原因となります。その場合は、水冷を選択してください。
冷却水温度が低い場合は、結露しない環境でご使用ください。
標準と表面処理付（オプション：T タイプ）の質量は同じです。
標準補助ポンプと組合せた場合の値です。補助ポンプの性能により変化します。補助ポンプがＧＲシリーズの場合、到達圧力は、0.67Pa になります。
cTUVus 認定は、水冷での運転（PMB100D は除く）と、オプション（大気圧駆動）のインバータを別置にすることが条件となります。
補助ポンプを直接搭載する場合は、振動にてインバータ破損の原因となります。インバータ別置をご選定ください。
型
式
説
明
例）PMB600D 表面処理付／全閉外扇モータ／200V級／JISフランジ／標準油（R4）／インバータ（I2）付
PMB600
本体オプション
●表面処理
なし：なし（標準）
T ：表面処理
●排気方向
なし：垂直（標準）
H ：水平
（PMB2400D のみ）
D
-
T
●
●
MA
2
①
②
J1
③
R4
④
I2
XX
⑤
⑥
外部オプション
⑤インバータ（大気圧駆動型） ⑥潤滑室別排気
③吸排気口フランジ
④使用油
MA ：全閉外扇（標準） 2：200V 級
J1：JIS（標準）
R4：鉱物油（R-4：標準） XX ：なし（標準）
XX：なし（標準）
MD ：安増防爆（屋内） 4：マルチ電圧
A1：吸気 ISO-F（アダプタ）
R7：鉱物油（R-7）
B1：潤滑室別排気
①モータ種類
②モータ電圧
MF ：耐圧防爆（屋内） 9：その他（電圧指定） A2：吸排気 ISO-F（アダプタ） S7：合成油（R-7000）
A3：吸気 ISO-K（アダプタ）
（PMB2400D のみ）
F1 ：フッ素油（J25F）
株式会社アルバック 規格品事業部
国内販売： アルバック販売株式会社
■東日本営業統括部
TEL 03-5218-6011
（代）
■西日本営業統括部
TEL 06-6397-2281
（代）
I 2 ：200V 級（水冷）
I 4 ：400V 級（水冷）
A2：200V 級（空冷）
A4：400V 級（空冷）
w w w. u l va c. c o. j p
お問い合わせ
海外販売： 株式会社アルバック
■規格品事業部
TEL +81-467-89-2261
当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。
1328N-2/2015020000TL