高精度デジタル測長機

精密センサ
高精度デジタル測長機
Catalog No.13006
0.01N/0.15N/1Nの｢低・定｣測定力
ずっと変わらぬ優しさを、
『低測定力』
・
『定測定力』
で選ぶなら
特長
●特許登録済（日本）
、特許出願中（日本）
測定力の影響を受けやすいワークの厚さ・高さ測定に最適
●測定力0.01Nにより、変形しやすいワークや高精度部品の測定に最適です。
●0.01Nでは測定結果が安定しにくいワークに対しては0.15N、1Nタイプ（いずれも工場オプション）をお勧めします。
●測定子はモータで駆動し、
ワークに接触時に停止します。その後は一定の測定力で最大値・最小値・振れ値の測定も可能です。
高精度測定
さらに50ｍｍの広い測定範囲を持っています。
●最小表示量0.01µｍの高分解能、
スピンドルに低膨張材、測定テーブルにセラミックスを使用しているので、温度
による変形が少なくなります。
また、錆の心配もなく保守管理が容易です。
スーパーライトマチック
VL-50-AH
セパレートタイプ VL-50S-B
測長部と表示部がセパレートになっており、お客
様の測定装置等へ組込むことができます。また、
専用スタンドも用意しています。
ライトマチック
VL-50-B
最上位機種 VL-50AH
スーパーライトマチックVL-50AH はレーザホロスケー
ルの採用により、0.15µｍ（0∼35ｍｍ）、0.25µｍ（35∼
50ｍｍ）の高精度を実現しています。
ライトマチックヘッド
VL-50S-B
※スタンド（No.957460）は別売です。
ライトマチック測定原理
パラレルリンク構造とウェイトが低測定
力・定測定力仕様を実現させています。
ライトマチックの測定力にはバネを使用してお
らず、天秤ばかりのような構造をしています。
こ
れを
『パラレルリンク』
と呼んでいます。
図1のような偏加重をかけた状態でワークに向か
ってアプローチし、ワークに接触するとリンク構
造が平衡状態になります（図2）。同時に内部のモ
ータが停止して、その後は一定の測定力で測定
します。
【図1 フリーまたはモータによる上下動作状態】
【図2 測定状態】
パラレル・リンク
パラレル・リンク
カウンタ・ウェイト
カウンタ・ウェイト
ワークに接触して『パラレルリンク』
が平衡状態になると、スピンドルを
下降させていたモータが停止し、そ
の後は一定の測定力で測定します。
1
●測定例
ゴム・プラスチック
ガラス
測定ワークが柔らかく、測定子が沈み込む恐
れがある場合は、超硬球面測定子などへの交
換も有効な手段です。
フィルム・シート
測定ワークに傷ができやすい素材では、測定
力が小さいタイプをお勧めします。
▲ ▲ ▲
青板ガラス
ゴム
レンズ
キーシート
精密部品
フレキシブル基板
コンタクトレンズ
薄物板金
ライトマチックは高精度な変位計として使用
することができます。
フィルム
▲ ▲ ▲
▲ ▲ ▲
プラスチック
測定ワークが反ったりして正確な測定ができ
ない場合は、測定力が大きいタイプやウェイ
トの追加も有効な手段です。
各種シート
メディア板金
測定力が小さいため、ワークの変形を極力押
させることができます。
シャフト
▲ ▲ ▲
メディアテープ
▲ ▲ ▲ ▲
シャーシ
▲ ▲
ベアリング
測定ワークに傷ができやすい素材では、測定
力が小さいタイプをお勧めします。
シム材
ハードディスク
板バネ
各種ディスク
飲料缶材料
医療・薬品
半導体
電子部品
測定ワークが反ったりして正確な測定ができ
ない場合は、測定力が大きいタイプやウェイ
トの追加も有効な手段です。
▲ ▲ ▲
チップ
▲ ▲ ▲
注射針
錠剤
ウェハ
貼付剤・膏薬
リードフレーム
2
測定ワークに傷ができやすい素材では、測定
力が小さいタイプをお勧めします。
プリント基板
▲ ▲ ▲
測定ワークが柔らかく、測定子が沈み込む恐
れがある場合は、超硬球面測定子などへの交
換も有効な手段です。
コネクタ
バッテリ部品
機能
●操作部／表示部
⑪
⑩
⑨⑧⑱ ⑰
スイッチ
各部の名称
①上昇
機 能
押している間だけ、
スピンドルを上昇させます。
押している間だけ、
スピンドルを下降させます。
②下降
測定ワークに接触させる時に使用します。
（測定時に使用します。）
③上昇早送り 押している間だけ、
スピンドルを早送りで上昇させます。
④下降早送り 押している間だけ、
スピンドルを早送りで下降させます。
⑤ ZERO
任意の点でゼロ設定します。エラー解除もこのスイッチで行います。
⑥ PRESET
事前に設定した数値を呼び出します。
⑦ MODE
MAX/MIN 測定などの各種測定モードの切換や設定を行います。
⑧ LIMIT
公差判定用の数値入力を行います。
任意の位置に測定子を移動させるポジションメモリの設定を行います。
⑨ TEACH
⑩ PM1∼PM3 測定子を事前に設定した位置へ移動します。
⑬
⑭
⑮
⑯
⑥
⑫
③
①
②
④
⑦
インジケータ
各部の名称
⑪ GO/NG
⑫符号
⑬ MAX
⑭ MIN
⑮ WORK
⑯ T.H.
⑰ C.T.
⑱ UNIT
⑤
機 能
合否判定の結果を表示します。
マイナス値の表示用です。
（最大桁を利用した場合に表示）
最大値測定モード時に点灯します。 振れ測定時には両方の
最小値測定モード時に点灯します。 インジケータが点灯します。
ワーク検出時に点灯します。
測定完了後に測定値をホールドさせた時に点灯します。
ユーザ補正ON 時に点灯します。
（ポジションメモリ作動時には点滅）
表示単位1/25.4mm 時に点灯します。
（外部HOLD 時には点滅）
●背面部（コネクタ接続部）
VL-50-B 背面
VL-50AH/50S-B 背面
①
②
⑧
③
各部の名称
①測定データ出力コネクタ
（OUT側）
RS-LINKコネクタ
（IN側/OUT側）
②RS-232Cコネクタ
③外部コントロールコネクタ
④GND端子
⑤フットスイッチ入力コネクタ
⑥電源入力部
⑦電源スイッチ
⑧ACアダプタコード用クランプ
⑨CONTROLコネクタ
⑩INPUTコネクタ
④
①
⑤⑥ ⑦
②
⑩
③
⑨
⑧
⑤⑥⑦
④
機 能
デジマチックミニプロセッサなどに測定データを出力します。
複数のユニット間を接続して、1本のRS-232Cポートから測定データを出力できます。
パソコン等への通信時に使用します。
外部機器から測定子の動作や表示のリセット等をコントロールします。
̶
オプションのフットスイッチを接続して、
測定動作を簡易的に操作できます。
ACアダプタからの電源を入力します。
電源投入用のスイッチです。
ACアダプタコードを抜けにくくするためのクランプです。
ゲージヘッドからのケーブルを接続します。
ゲージヘッドからのケーブルを接続します。
3
仕様
コードNo.
318-217
VL-50AH
符号
318-221
VL-50-B
318-222
318-223
VL-50-15-B VL-50-100-B
0 ∼ 50mm
0.01/0.1/1.0 µm
文字高さ14mm/8 桁（符号を除く）
測定範囲
最小表示量（切換可能）
表示部
検出方式
レーザホロスケール
318-227
318-228
VL-50S-15-B VL-50S-100-B
反射形リニアエンコーダ
51.5mm（標準測定子使用時）
ストローク
指示精度（20℃）※2
精度保証温度※3
繰返し精度※2
2
測定力※（バランス方式）
送り速度
318-226
VL-50S-B
測定時
0.15µm（0 ∼ 35mm）
0.25µm（35 ∼ 50mm）
（0.5＋Ｌ/100）µm L ＝任意測定長（mm）
20 ± 0.5℃
20 ± 1 ℃
σ＝ 0.02 µm
σ＝ 0.05 µm
0.01N
0.01N
約1mm/s、2mm/s、3mm/s（パラメータによる切換）
0.15N
1N
0.01N
0.15N
約5mm/s
約8mm/s
標準測定子
SR5 超硬球面測定子（取付けねじ部：
M=2.5（p=0.45）×5）標準測定子No.120058
超硬球ø3mm（取付けねじ部：Ｍ2.5（p=0.45）× 5）
標準測定子No.901312
測定テーブル
ø26（セラミック製、溝付、平面度0.07µm/ø18）
早送り
入力
ø100 (セラミック製、溝付、取外し可能)
○フットスイッチ入力（オプションのフットスイッチ使用時）○外部モータコントロール
○デジマチック出力/RS-232C 出力（パラメータによる切換式）
出力
定格
1N
約2mm/s、4mm/s（パラメータによる切換）
電源
消費電力
EC指令
質量
標準付属品
AC85 ∼ 264V（AC アダプタによる）
最大12W（12Ｖ,1A）
Standard：EN61326-1:1997 ＋ AI：1998、Immunity test requirement：AhnexA、Emission limit：ClassB
21kg
19kg
6kg
・ACアダプタ：No.357651・電源コード・アース線：No.934626・六角棒スパナ
（2ヶ：測定子固定用、固定金具取外し用）
フットスイッチ：No.937179T [標準価格：4,000 円］
専用スタンド：No.957460［標準価格：216,000 円］
出力コネクタ
（カバー付き）
：02ADB440（外部コントロール用）
［標準価格：1,800 円］
：No.936937［標準価格：2,700 円］
RS-LINK/デジマチック接続ケーブル（1 ｍ）
：No.965014［標準価格：3,780 円］
RS-LINK/デジマチック接続ケーブル（2 ｍ）
推奨替測定子＝下記のダイヤルゲージ用替測定子が取付け可能（☆各替測定子使用時の測定力）
アクセサリ
（オプション）
替測定子
シェル測定子
超硬球面測定子 ø7.5
超硬球面測定子 ø10.5
超硬ニードル測定子 ø0.45
パーツNo.
101118［標準価格：480 円］
120059［標準価格：11,300 円］
120060［標準価格：13,500 円］
120066［標準価格：6,260 円］
☆測定力
約0.02N
約0.03N
約0.06N
約0.01N
注）上記以外の測定面がフラット形状の測定子の取付けはテーブル面との平行調整が必要です。特注での対応になります。
標準価格
VL用ウェイトパーツ：No.02AZE375［標準価格：20,000円］注）VL-50AH、VL-50-100-B、VL-50S-100-Bには使用できません。
2,000,000 円
550,000 円 570,000 円
590,000 円
520,000 円 540,000 円
560,000 円
※1：0.15N，1Nタイプは工場オプションです。
※2：標準測定子によるノーマル測定時（スムージング＝弱 設定時）
※3：温度変化がゆるやかであること。温風および冷風が直接当たらないこと。
4
●外観寸法図
（単位：mm）
VL-50AH
VL-50-B
103.2
測定テーブル ø100
測定子
ø26
測定テーブル用
クランプネジ
操作スイッチ部
42
286
202
56
測定表示部
128.2
ø60
380.2
397.8
103.2
202
300
専用スタンド（特別付属品）
80.2
ø50
172
ライトマチック
ヘッド
（11°
）
50.2
ブラケット
365
VL-50S-B
150
ベース
送りねじ
170
80
85
157
270
186.4
支柱
六角穴付き止めねじ
測長部
12.5
82.95
ø32
15
ケーブル長2m
表示部
80
80.2
56
250
14.8
172
80
56
29
48
クランプ
ねじ
(11
°
)
186.4
4-M4×0.7深さ10
300
50.2
替測定子（特別付属品）
10
材質：焼入れ鋼
SR
7
材質：超硬
平面度：3μm
パーツNo. 標準価格 測定力
パーツNo. 標準価格 測定力
101118 480円 約0.02N
120066 6,260円 約0.01N
1.7
材質：超硬
øD
ød
3
10
ø0.45
ø5
SR2.5
パーツNo. 標準価格 測定力
D
d SR
120059 11,300円 約0.03N ø7.5 ø6.5 7
120060 13,600円 約0.06N ø10.5 ø9.5 10
注）: 上記以外の測定面がフラット形状の測定子の取付けは、
テーブル面との平行調整が必要です。特注での対応になります。
●ライトマチック用ウェイトパーツ：オプション
（No.02AZE375） 標準価格：20,000円
測定力とウェイト組合せ
ライトマチックの測定力は小さい（0.01Nタイプ ウェイトパーツ装着時の測定モデル ウェイトパーツ外観
ことが特長になっています。
や0.15Nタイプ）
測定力 (N) 継足しロッド Ａ Ｂ Ｃ
0.01 0.15
しかし、
ワークの特性によっては充分な測定力を
0.06 0.21
1
伝えられずに、測定子が浮いているような状態に
0.16 0.31
1
1
なることがあります。そのような時にワークを潰
0.26 0.41
1
1
さないで、適正な測定力を探すためのウェイトを
0.36 0.51
1
1 1
ウェイトA（約40gf） 0.46 0.61
準備しています。
1
1
ウェイトB（約20gf）
※VL-50AH、
VL-50-100-B、VL-50S-100-Bには使用できません。
ウェイトC（約10gf）
5
継足しロッド（約5gf）
0.56
0.66
0.76
0.86
0.96
0.71
0.81
0.91
̶
̶
1
1
1
1
1
1
1
1
2
2
1
1
1
1
1
●入出力コネクタ仕様
（1）適合プラグ：
No.02ADB440（カバー付き）特別付属品
（2）
ピン配列
ピンNo.
信号名
1
2
3
4
5
6
7
10
21
22
25
26
COM
COM
L1
L2
L3
L4
L5
NOM
ULIMIT
WORK
SET1
SET2
28
MODE
30
入出力
−
−
OUT
OUT
OUT
OUT
OUT
OUT
OUT
OUT
IN
IN
UP
31
1
リセプタクル
10236-52A2
（3Ｍ）相当
36
19
適合プラグ（市販品）
10136-3000VE （3Ｍ：プラグ）
10336-52AO-008（3M：カバー）
（ヒロセ：プラグ）
DX40M-36P
DX30M-36-CV （ヒロセ：カバー）
（3）入出力回路
内容（用途）
①出力回路： Ｌ の時、
トランジスタが ON します。
（オープンコレクタ出力）
入・出力回路の共通端子（内部GNDに接続）
公差判定出力端子
・判定該当端子のみ Ｌ を出力
・エラー時
L1,L5= Ｌ 出力
L2,L3,L4= H 出力
計数可能時に Ｌ を出力
スピンドル上死点時に Ｌ を出力
ワーク検出時に Ｌ を出力
カウンタ
5KΩ
TD62583 相当
0.01μF
IN
モータスピード切替：スピンドル上昇速度をSETと組合わせて入力
速度
SET2 SET1 速度を変更する場合には、一旦
約8mm/s（約5mm/s） H
H スピンドルを停止させ50ms 以
約4mm/s（約3mm/s） H
L
上の間隔を空けてください。
約2mm/s（約2mm/s） L
H
約1mm/s（約1mm/s） L
※（ ）内はVL-50AH 仕様。
L
FSW
IN
34
HOLD
IN
35
P.SET
IN
N.C.
̶
74HC14相当
ピーク測定切替、モータスピード切替を行う際に使用
IN
32
外部機器 参考回路
＋5V
ピーク測定切替：SETと組合わせて入力
ピークモード SET2 SET1
通常
H H
MAX
H L
MIN
L
H
TIR
L
L
IN
DN
18
出力耐圧：MAX24V
出力電流：MAX20mA
出力飽和電圧：MAX0.7V
モータスピード切替：スピンドル下降速度をSETと組合わせて入力
速度
SET2 SET1 速度を変更する場合には、一旦
約8mm/s（約5mm/s） H
H スピンドルを停止させ50ms 以
約4mm/s（約3mm/s） H
L
上の間隔を空けてください。
約2mm/s（約2mm/s） L
H
約1mm/s（約1mm/s） L
※（ ）内はVL-50AH 仕様。
L
モータコントロール：フットスイッチ入力と同機能
・入力中は表示が固定される
・エラー時は、本信号の立ち上がりでエラークリアされる
・プリセット実行
・ピーククリア：ピークモードでHOLD 信号入力中にＰ.SET 信
号を入力するとピーククリアとなる
未接続端子（なにも接続しないでください）
（8,9,11 ∼ 20,23,24,27,29,33,36ピン）
②入力回路： Ｌ の時、入力が有効となります。
カウンタ
外部機器 参考回路
オープンコレクタ出力
またはリレー出力等の
無電圧出力を
使用してください。
+5V
5KΩ
5KΩ
0.01μF
入力電流：Imax1mA
入力電圧：H＝4∼24V
L＝MAＸ1V
（4）
タイミングチャート
①電源ON 特性
②外部プリセット
（PA、PB）入力
③公差判定結果出力時間
上限値
MIN.2sec
MIN.16ms
下限値
MIN.16ms
PA、PB
電源
MAX.16（100）ms
MIN.30ms
※キー入力、RS-232C、デジマチック処理中を除きます。
HOLD
L1
MAX.30ms
MAX.16（100）ms
L3
NOM
L5
※（ ）はスムージング時
MIN.2（4）sec
④ MODE/UP/DN
タイミング
I/O出力
⑤ HOLD・PSETタイミング
MIN.15ms
※（ ）はEB-D
⑥ RS-232Cコマンド入力と応答出力
MIN.15ms
HOLD
コマンド
SET1,2
LF
LF
注1
データラッチMAX.10μ（
s ±100ms）
MODE･UP･DN
P.SET
MIN6ms
DATA
MIN12ms
MAX.30msデータOUT
注2
応答出力
LF
MIN12ms
MAX12ms
MIN. 0ms
MIN.15ms
※ピーククリア入力（HOLD入力後、
プリセット入力）
（ ）内はスムージング時
注1：
注2：パラメータ28、HOLD選択1
■ RS-232Cデータ出力時間
全データ出力コマンド（GA00CRLF）による
最大出力時間は下記で算出できます。
MAX.20ms 注
MIN.10ms
注：キー操作中、RS-232C出力は保留されます。
最大出力時間［ms］=カウンタ接続数×20＋接続チャンネル×17（8.5）＋6（3）
（計算例）VL1台＝MAX43（31.5）ms
6
※伝送速度9600bps：
（ ）内は19200bpsの場合［単位ms］
注:パソコン処理時間は含みません。
●RS-232C 仕様
（1）
コマンド一覧
コマンド書式
対応する出力
動作内容
CN ＊＊CRLF
CX ＊＊CRLF
CM＊＊CRLF
CW＊＊CRLF
CR ＊＊CRLF
CL ＊＊CRLF
CP ＊＊,＋01234567CRLF
「表示値」
をRS-232C 出力
「＊＊」はゲージのチャンネル番号01 ∼ 99（00 の時は全チャンネル）を示します。
G＃＊＊,
＋01234.567CRLF RS-LINK 接続しない場合のチャンネル番号は 01 になります。
「＃」はデータの種類（N：現在値 Ｘ：最大値 Ｍ：最小値 Ｗ：TIR（振れ））を示します。
「現在値」に表示切替
CH＊＊CRLF
「最大値」に表示切替
CH＊＊CRLF
「最小値」
に表示切替
CH＊＊CRLF
「TIR（振れ）
」に表示切替
CH＊＊CRLF
ゼロセット
CH＊＊CRLF
ピーク値のクリア
CH＊＊CRLF
プリセット値入力
CH＊＊CRLF
CD ＊＊,＋01234567CRLF
CH＊＊CRLF
CE ＊＊,＋01234567CRLF
CF ＊＊,＋01234567CRLF
CG ＊＊,＋01234567CRLF
CS ＊＊CRLF
CH＊＊CRLF
CH＊＊CRLF
CH＊＊CRLF
CH＊＊CRLF
VS ＊＊,+＄CRLF
CH＊＊CRLF
VT ＊＊,+＄CRLF
CH＊＊,＃CRLF
GA＊＊CRLF
（2）
ピン配列
1
6
5
公差値S1 入力
公差認定は3 段公差の時CD,CG の順で、5 段公差の時はCD,CE,CF,CG の順序で行います。設定の順序が異なる
時にはエラーを発生します。
この場合にはCD コマンドからやり直してください。
公差値S2 入力
公差値S3 入力
公差値S4 入力
エラーのキャンセル
スピンドル制御 符号＋：スピンドル上昇,−：スピンドル下降
：速度指定 0：STOP 1：2mm/s 2：4mm/s 3：8mm/s
スピンドル状態の確認（0：STOP 1：1mm/s 2：2mm/s 3：3mm/s 4：5mm/s）※ VL-50AH 仕様
＃：
［0：ノーマル1：上死点リミット2：WORK ON（測定中）］
チャンネル番号 00 は使用できません。
・レセプタクル仕様：D-sub9ピン（オス）、インチネジ仕様
・適合プラグ仕様：D-sub9ピン（メス）、
インチネジ仕様
・市販ケーブル例：DOS/V 用：KRS-403XF1K
（1.5 ｍ）
：
（株）
サンワサプライ
用
：
（1.5 ｍ）
：
（株）
サンワサプライ
PC-98
KRS-423XF1K
9
ピンNo.
信号名
入出力
2
3
4
5
6
7
8
1、9
RXD
TXD
DTR
GND
DSR
RTS
CTS
N.C.
IN
OUT
OUT
−
IN
OUT
IN
−
内容（用途）
受信データ
送信データ
データ端末レディ
グランド
データセットレディ
送信要求
送信可
接続不可
（3）通信仕様（EIA RS-232C 準拠）
ホームポジション DTE（ターミナル定義）、
クロスケーブルを使用のこと
通信方式
データ転送速度
ビット構成
通信条件設定
半二重、無手順
4800、9600、19200bps
スタートビット：1
データビット：
（7,8）ASCII、大文字
パリティビット：なし、偶数、奇数
ストップビット：2
パラメータで設定
デジマチック出力仕様
※デジマチック出力の有効桁数は6桁です。
パソコンへデータ送信
インプットツール IT-012U
No.264-012
ライトマチックからの
デジマチック出力をUSBキーボード信号
に変換してパソコンへ転送します。
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069 1109（1）
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FP121