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角形電磁真空弁
真空ラインの確実作動と耐久性を約束する、信頼のメカニズム。 角形電磁真空弁 使いやすさと信頼性を追求した合理的な機構が、高機能と確実作動を実現させました。 電磁弁030, 050, 100, 200の各シリーズに対応する、完成度の高い2・3ポート直動形電磁真空弁シリーズです。 ● V030シリーズは、多連のバキュームパッドに1対1で対応できる、省ス ペース・低電流タイプです。結線方法が選択できます。AC・DC共サー ジ対策を標準装備。 ● V100, V200シリーズは、配管ポートと流れの方向に制約されないNC (常時閉)・NO(常時開)共用の2・3ポート弁としての用途のほか、セレ クタ弁(2圧切換弁)や、デバイダ弁(分配弁)としても、その真価を発揮 します。 ● 3ポート弁のV050, SV100, SV200シリーズは正圧との併用においても高 い信頼性を発揮しますから、真空破壊用や強制離脱用バルブとしても最 適です。 ● ACソレノイドにはフライホイルダイオードを標準装備(V030を除く。 DC24V用はオプション)ソレノイドの焼損やうなりを解消します。 グラフの見方 排気時間:大気圧状態のチャンバ内が真空状態になるまでの所要時間。 給気時間:−100kPaのチャンバ内が大気圧状態になるまでの所要時間。 測定条件 デジタル メモリ スコ−プ 圧力センサ ① V030E1 V050E1 V100E1 V200E1 1次側タンク (100R) 注 真空ラインに使用できる電磁弁は、G010シリーズ、112・182シリーズ、Fシ リーズのバリエーション中にもあります。詳細につきましては各シリーズをご 覧ください。 030シリーズ ② チャンバ 0.2R 0.5R 1.0R ① ②はクイック継手 V030E1:TS4-M5 V050E1:TS6-M5 V100E1:TS6-01 V200E1:TS6-02 050シリーズ 電磁真空弁 電磁真空弁 V030E1(標準タイプ) 標準タイプV050E1/低電流タイプV050LE1 ●65mA、1.6A(DC24V)の低電流ソレノイドを搭載。 ●幅15A、単体質量57gの小形・軽量です。 ● 真空・正圧の併用が可能。 ● ポペットタイプのシールを採用。 ドレンなどによる固着が少なく、 切換作動が確実です。 〈主な仕様〉 2 2 (P) →2 (A) :0.6mm〔0.02〕 ,2 (A) →3 (R) :0.8mm〔0.03〕 有効断面積 〔Cv値〕 ‥‥ 1 配管接続口径‥‥‥‥ 1 (P) ・2 (A) :M5×0.8, R:φ1.8 使用圧力範囲‥ ‥‥‥ −100〜0kPa 〈主な仕様〉 有効断面積〔Cv値〕………… 1.5mm2〔0.08〕 配管接続口径… …………… M5×0.8(Rc1/8) 使用圧力範囲… …………… −100〜0kPa 0〜0.7MPa KCH4231Z 排気時間 給気時間 kPa−101.3 3 0.5R −50.7 −50.7 −25.3 4 S 1.0R −25.3 0.2R 0 1 2 時間 真空度 2 時間 −76.0 1.0R 0.5R 1.0R 1 −76.0 kPa−101.3 0.2R 真空度 0.5R −25.3 0 真空度 真空度 −76.0 給気時間 kPa−101.3 kPa−101.3 0.2R −50.7 排気時間 3 4 S 1050 2014_10 0 −76.0 −50.7 1.0R 0.5R −25.3 1 2 時間 3 4 S 0.2R 0 1 時間 2 S 弁機能と配管ポート位置 V030, V050 V100, V200 正圧を使用しない場合 非通電時 通電時 1(P)(真空ポンプなど) 3(R)(プラグ ) 常時閉 (NC) 2(A) 1(P)(真空ポンプなど) 3(R)(大気) 常時開 (NO) 2(A) (V050のみ) 1(P)(真空ポンプなど) 3(R)(大気 ) 3ポート 真空と正圧を併用する場合(V050のみ) 1(P)(正圧) 3(R)(真空ポンプなど) 常時開 2(A) (NO) 1(P)(正圧) 3(R)(真空ポンプなど) 3ポート 常時閉 2(A) (NC) 1(P)(真空ポンプなど) 3(R)(プラグ ) 常時開 (NO) 2(A) 1(P)(プラグ ) 常時閉 (NC) 2(A) 1(P)(真空ポンプなど) 常時開 (NO) 2(A) 1(P) (大気) 3(R)(真空ポンプなど) 3ポート 常時開 (NO) 2(A) (V050のみ) 通電時 常時閉 (NC) 2(A) 2ポート 1(P)(真空ポンプなど) 3(R)(プラグ ) 2ポート 常時閉 (NC) 2(A) 非通電時 3(R) (大気) 3(R)(真空ポンプなど) 1(P)(真空ポンプなど) セレクタ弁 2(A) デバイダ弁 3(R)(真空ポンプなど) 1(P) 3(R) (真空ポンプなど)2(A) SV100, SV200 1(P)(正圧) 3(R)(真空ポンプなど) 常時開 (NO) 2(A) 1(P)(真空ポンプなど) 3(R)(正圧) 3ポート 常時閉 (NC) 2(A) 100シリーズKCG4241Z 電磁真空弁200シリーズ 電磁真空弁 標準タイプV100E1/真空・正圧併用タイプSV100E1 標準タイプV200E1/真空・正圧併用タイプSV200E1 ●供給圧力を弁シート部で平衡させる圧力バランスポペット方式を採用。 操作力が小さいため、高頻度作動に適し、小形で大流量が得られます。 ●100シリーズと同様、供給圧力を弁シート部でバランスさせてい る圧力バランスポペット方式を採用。操作力が小さいため、高頻 度作動に適し、小形で大流量が得られます。 〈主な仕様〉 有効断面積〔Cv値〕………… 5.0mm2〔0.28〕 配管接続口径… …………… Rc1/8 使用圧力範囲… …………… −100〜0kPa(V100E1) −100〜0kPa 0〜0.9MPa(SV100E1) KCG4243Z 〈主な仕様〉 有効断面積〔Cv値〕………… 8.5mm2〔0.47〕 配管接続口径… …………… Rc1/4 使用圧力範囲… …………… −100〜0kPa(V200E1) −100〜0kPa 0〜0.9MPa(SV200E1) KCG242Z KCG4244Z 排気時間 kPa−101.3 給気時間 −25.3 −50.7 −50.7 1.0R −25.3 0 1 2 時間 3 4 S 真空度 −50.7 −76.0 −76.0 kPa−101.3 0.5R 1.0R 真空度 真空度 真空度 1.0R 給気時間 kPa−101.3 0.2R kPa −101.3 0.2R 0.5R −76.0 排気時間 0 0.5R 0.2R 1 時間 −25.3 2 S −76.0 −50.7 −25.3 0 1 2 時間 3 4 S 0.2R 0 1.0R 0.5R 1 時間 2 S 1051 2014_10 調KCC4246Z 角形電磁真空弁 V100 シリーズ 仕様 基本形式 項目 V100E1 MV100E1-11 使用流体 SV100E1 真空 真空・空気 作動方式 直動形 ポジション数 2 ポジション ポート数 2・3 ポート 弁機能 常時閉(NC)および常時開(NO) 3 ポート 常時開(NO) 常時閉(NC)注 2 流量 音速コンダクタンスC dm3/(s・bar)注 1 特性 有効断面積〔Cv 値〕 mm2 5〔0.28〕 配管接続口径 Rc1/8 応答時間注 3 ON 時 /OFF 時 不要 kPa 保証耐圧力 − 100 〜 0 − 100 〜 0 0 〜 0.9MPa MPa — 1.32 DC24V 20/20 以下 AC100V,AC200V 最高作動頻度 常時開(NO) 1.0 給油 使用圧力範囲 MSV100E1-11 20/20 以下 Hz 5 最高温度範囲(雰囲気および使用流体) ℃ 0 〜 50 横方向 耐衝撃 m/s2 軸方向 1373.0 392.3 取付方向 自由 質量 190 g 注 1:音速コンダクタンスの値は計算値であり、実測値ではありません。 2:正圧側が常時閉。 3:V100E1は真空度− 100kPa時の値。SV100E1は空気圧力0.5MPa時の値。 電気仕様 定格電圧 項目 方式 DC24V AC100V AC200V DC方式 フライホイル方式 使用電圧範囲 V 21.6〜26.4 (24±10%) 電流値注1 周波数 Hz 定格電圧 注2 励磁 mA(r.m.s.) 印加時 — 50 60 50 60 270(6.5W) 〔282(6.8W) 〕 100 〔107〕 95 〔101〕 41 〔45〕 39 〔42〕 ( ) 許容回路漏れ電流値 mA 絶縁抵抗 MΩ 結線方式と 標準 リード線長さ オプション 90〜110 (100±10%) 20 180〜220 (200±10%) 10 5 100以上 グロメット式:300mm DIN式コネクタ付 黄色・黒色 赤色 〔赤色(+)・青色(−) 〕注1 赤色(+)・黒色(−)注3 LEDインジケータ(オプション)の色 赤色 黄色 標準 — フライホイルダイオード オプション フライホイルダイオード — リード線の色 サージ対策 注1:〔 〕はLEDインジケータ付ソレノイドの場合です。 注2:AC用はフライホイルダイオードを内蔵しているため、起動電流値と励磁電流値はほとんど同じです。 注3:サージ対策済ソレノイドおよびLEDインジケータ付サージ対策済ソレノイドの場合です。 1060 2014_10 白色・黒色 緑色 作動原理と表示記号 V100E1 SV100E1 弁機能と配管ポート位置 V100 正圧を使用しない場合 非通電時 1 (P) 3 (R) 1(1(P) P)(真空ポンプなど) (真空ポンプなど) 3(3(R) R)(プラグ) (プラグ) 常時開 2(A) (NO) 2(A) 1(1(P) P)(プラグ) (プラグ) 3(3(R) R)(真空ポンプなど) (真空ポンプなど) 常時閉 2(A) (NC) 2(A) 1(1(P) P)(真空ポンプなど) (真空ポンプなど) 3(3(R) R)(大気) (大気) 常時開 2(A) 2(A) (NO) 1(1(P) P)(大気) (大気) 3(3(R) R)(真空ポンプなど) (真空ポンプなど) セレクタ弁 2(2(A) A) 1(1(P) P)(真空ポンプなど) (真空ポンプなど) 3(3(R) R)(真空ポンプなど) (真空ポンプなど) 2ポート 2 (A) (A) (A) 1 (P) 2 1 (P) 2 1 (P) 3 (R) 3 3 (R) (R) 2 (A) 3ポート SV100E1(常時閉) V100E1 手動ボタン 手動ボタン 非通電時 プランジャ プランジャ モ−ルドソレノイド モ−ルドソレノイド デバイダ弁 Vシ−ル インサ−ト パッキン パッキン 主軸 本体 主軸 本体 1 (P) 2(A) 1(1(P) P) 3(3(R) R) 真空と正圧を併用する場合 2(A) 3(R) Oリング スプリング 常時開 2(2(A) A) (NO) 1(1(P) P)(真空ポンプなど) (真空ポンプなど) 3(3(R) R)(正圧) (正圧) 主要部材質 1 (P) (正圧) 1 (P) (正圧) 2 (A) 2 (A) 3 (R) エンドカバ− 1(1(P) P)(正圧) (正圧) 3(3(R) R)(真空ポンプなど) (真空ポンプなど) KCF4341 Z KCF4341 Z 1 (P) エンドカバ− 常時閉 2(2(A) A) (NC) 3ポート Vシ−ル インサ−ト (真空ポンプなど) (真空ポンプなど)2(2(A) A) SV100 コラム コラム Oリング スプリング 非通電時 ソレノイドカバ−ソレノイドカバ− 通電時 常時閉 A) (NC) 2(2(A) (R) (真空) 3 (R) (真空) 3 注:S V100E1-11(常時開)を使用する 場合は1(P)ポートに真空ポンプ、 3(R)ポートに正圧を配管してくだ さい。 名称 材質 本体 主軸 パッキン バルブ インサート アルミ合金および黄銅 スプリング ステンレス 取付ベース 軟鋼(亜鉛めっき) プランジャ 電磁ステンレス コラム 電磁軟鉄 (亜鉛めっき) 本体 アルミ合金(アルマイト) アルミ合金(アルマイト) 合成ゴム マニ ブロックプレート 軟鋼(亜鉛めっき) ホールド パッキン 合成ゴム P.434 SV1 取付ブラケット 軟鋼(亜鉛めっき) 備考:ノン・イオン仕様の場合は、銅系イオンを 発生する材質は使用していません。 マニホールド配管接続口径 ポート 配管接続位置 1(P) マニホールド 2(A) バルブ 3(R) マニホールド 1(P) マニホールド 2(A) バルブ 3(R) バルブ 1(P) マニホールド マニホールド形式 HM □ T HM □ U HM □ L 2(A) バルブ 3(R) バルブ KDC4342Z KDC4342Z 配管接続口径 Rc1/8 KCD4310Z KCD4310Z Rc1/8 HM □ L Rc1/8 HM □ U マニホールド質量 g マニホールド形式 連数毎の質量計算式 (n =連数) ブロックプレート HM □ T (73 × n)+ 73 21 HM □ U (26 × n)+ 130 11 HM □ L (26 × n)+ 130 11 HM □ T 1061 2014_10 オプションシステム 単 体 DIN式コネクタ LEDインジケータ 内蔵 2ポート 弁機能 ソレノイド -39 常時開(NO) -LF -2 -11 ●-LFとの組合せ はできません。 フライホイル ダイオード内蔵 マフラ (+) ソレノイド (−) -SR -75 ●DC24Vのみ。 取付ベース -21 ●直接配管用。 P.435 オプシ P.435 オプシ 電磁真空弁注文記号 真空用 P.435 オプションシステム(左) 基本形式 弁機能 オプション 2ポート 常時開 2ポート (NO) 直接配管 マニホールド専用注1 3ポート 常時開・閉共用 2ポート 常時閉 2ポート 常時開 3ポート 常時開 2ポート 常時開 注1:単体では使用できません。 注2:プラグ添付。 注3:U形、L形マニホールドの場合のみ— 選択できます。 取付ベース DIN式 コネクタ 電圧 マフラ LED フライホイル インジケータ ダイオード -75 NCU- V100E1 -21 -2注2 -2注2 NCU- MV100E1 -39 -LF -SR DC24V AC100V AC200V -LF -SR DC24V AC100V AC200V -11 -11 -2 -75注3 -39 -11 ●DC24Vのみ。 AC100V,AC200V には、 標準装備。 ●かならず選択してください。 ●ノン・イオン仕様を注文する場合は 基本形式の前にNCU-を記入してく ださい。 ●DIN式コネクタにはありません。 真空・正圧併用 基本形式 弁機能 電圧 常時開 (NO) 直接配管 3ポート注1 常時閉 3ポート 常時開 NCU- SV100E1 マニホールド専用注2 3ポート 常時開 NCU- MSV100E1 注1:正圧側が常時閉。 注2:単体では使用できません。 1062 取付ベース -21 -11 -11 DIN式 コネクタ 2014_10 フライホイル ダイオード -39 -LF -SR DC24V AC100V AC200V -39 -LF -SR DC24V AC100V AC200V ●かならず選択してください。 ●ノン・イオン仕様を注文する場合は 基本形式の前にNCU-を記入してく ださい。 LED インジケータ ●DC24Vのみ。 AC100V,AC200V には、 標準装備。 ●DIN式コネクタにはありません。 オプションシステム マニホールド LEDインジケータ 内蔵 DIN式コネクタ 2ポート 弁機能 ソレノイド -39 常時開(NO) -LF -2 -11 ●-LFとの組合せ はできません。 フライホイル ダイオード内蔵 マフラ (+) ソレノイド (−) -SR -75 ●DC24Vのみ。 ●HM□U,HM□L マニホールドのみ。 ブロックプレート -BP マニホールド注文記号 P.436 オプショ P.436 オプショ 真空用 マニホールド形式 ステー ション P.436オプションシステム(左) バルブ形式 オプション 連数 LED フライホイル インジケータ ダイオード 常時開 2ポート (NO) DIN式コネクタ マフラ 基本形式 電圧 stn.□ NCU- -2 2 10 stn.□ L stn.□ ・・・ U NCU- ●2(A) ポート側を手前にして左 からのバルブ取付位置。 マニホールド形式 ステー ション T stn.□ stn.□ 注:正圧側が常時閉。 ●2 (A) ポート側を手前にして左— からのバルブ取付位置。 -SR DC24V AC100V AC200V -LF -SR DC24V AC100V AC200V -11 -75 -2 MV100E1 -2 -11 -39 -75 -11 オプション 常時開 (NO) 基本形式 ・・・ ・・・ 10 V100E1 -11 -LF ●DC24Vのみ。 AC100V,AC200V には、 標準装備。 ●かならず選択してください。 連数 2 -39 ●バルブ形式は、ステーション毎に指定してください。 ●ステーションにバルブを取り付けずに、ブロックプレ ートで閉止するときは、BPと記入してください。 ●ノン・イオン仕様を注文する場合は基本形式の前に NCU-を記入してください。 バルブ形式 真空・正圧併用 HM V100E1 MV100E1 -2 ・ ・・ HM ・ ・・ T stn.□ ●DIN式コネクタにはありません。 フライホイル DIN式コネクタ LEDインジケータ ダイオード 注 NCU- SV100E1 MSV100E1 -11 -39 -LF ●かならず選択してください。 ●バルブ形式は、ステーション毎に指定してください。 ●ステーションにバルブを取り付けずに、ブロックプ レートで閉止するときは、BPと記入してください。 ●ノン・イオン仕様を注文する場合は基本形式の前 にNCU-を記入してください。 2014_10 -SR 電圧 DC24V AC100V AC200V ●DC24Vのみ。 AC100V,AC200V には、 標準装備。 ●DIN式コネクタにはありません。 1063 寸法図(mm) V100E1 SV100E1 37.5 約300 □27 22 43 3(R) 18 4.5 2-φ3.2 取付穴 2-φ4.4座ぐりφ深さ3 取付穴 21 18 3-Rc1/8 1(P) 11 14.5 17 20.5 10 2(A) 9 9 81.5 30.5 10.5 2-M4×0.7 深さ9 取付ねじ穴 18 4.5 HM□T L P 6 28 27 27 約300 14.5 1 40 40.5 1(P) 連数別寸法 KCA4371 2-φ4.5 取付穴 Rc1/8 MV100E1-11 MSV100E1-11 ブロックプレ−ト (-BP) 4-Rc1/8 (プラグ2個付) 10 13 23 51 V100E1 SV100E1 16.5 2(A) 16 41.5 2(A) 32.5 80.5 14.5 28 24.5 28 8.5 28 3(R) 6 形式 L P HM2T 84 72 3T 112 100 4T 140 128 5T 168 156 6T 196 184 7T 224 212 8T 252 240 9T 280 268 10T 308 296 オプション ● DIN 式コネクタ付ソレノイド:-39 φ18 ●マフラ:-75 16 LEDインジケ−タ KCA4372Z 94 26 4.5 取付穴 (2か所) φ6∼φ8 キャブタイヤ外径 Pg9 69.5 16 二面幅 40 (10) 2(A) ● LED インジケータ付ソレノイド:-LF 2(A) 2(A) 38 40 48 1064 2014_10 11.4 21 2 87.5 6(バルブ全長) ●取付ベース:-21 R1/8 (12) 10 二面幅 寸法図(mm) HM□U L 10 10 P 34 28 28 20.5 約300 16 1(P) 70 2(A) 52 2(A) 17 56 8.6 27 8.6 17 25.5 64.5 20.5 27 34 20 Rc1/8 4-φ5.5 取付 穴 11.5 2-Rc1/8 (プラグ1個付) MV100E1-11 V100E1 連数別寸法 30.5 3.2 55.5 27.5 ブロックプレ−ト (-BP) 形式 L P HM2U 96 76 3U 124 104 4U 152 132 5U 180 160 6U 208 188 7U 236 216 8U 264 244 9U 292 272 10U 320 300 HM□L L 10 10 P 34 28 28 27 20.5 約300 1(P) 17 40 3.2 Rc1/8 V100E1 2-Rc1/8 (プラグ1個付) 11.5 連数別寸法 20 50 27 20 20 MV100E1-11 ブロックプレ−ト (-BP) 16 8.6 2(A) 2(A) 8.6 25.5 56 KCA4381Z 55 64.5 20.5 27 17 34 4-φ5.5 取付穴 形式 L P HM2L 96 76 3L 124 104 4L 152 132 5L 180 160 6L 208 188 7L 236 216 8L 264 244 9L 292 272 10L 320 300 1065 2014_10 V050,V100,V200 シリーズの取扱い要領と注意事項 ソレノイド マニホールド 内部回路 配管 ● DC24V ● AC100V,AC200V(サージ対策済) 標準ソレノイド 標準ソレノイド MARK-A 黒色または 1 AC100V:黄色 バリスタ AC200V:白色 または 2 赤色 LED インジケータ付ソレノイド 注文記号:-LF,-L LEDインジケータ 調447-1黒色 LEDインジケータ赤色 AC100V:黄色 赤色または 1(+) 黒色または 2(ー) 1 、2 はDIN式コネクタ付(注文記号:-39)の場合 LED インジケータ付サージ対策済ソレノイド 注文記号:-LF -SR (V050 標準タイプ,V100,SV100 シリーズ) 黒色 (ー) LEDインジケータ (発光ダイオード) LEDインジケータ赤色 (V050 低電流タイプ,V200,SV200 シリーズ) LEDインジケータ 黒色 (ー) ブロックプレート (発光ダイオード) 調447-4 使用しないステーションを閉止する ときは、ブロックプレート(注文記 号:-BP)を使用してください。 (発光ダイオード) 注 1.1(P)ポート配管は、マニホー 調447-6 ルドの配管接続口径に見合— ツェナー ダイオード LEDインジケータ AC100V:黄色 AC200V:緑色 調447-2 注 1.リード線間は、メガテストを行 なわないでください。 2.DC24V ソレノイドの場合、極性 をまちがえてもショートの心配 はありませんが、サージ対策済 ソレノイドではバルブは作動し ません。また LED インジケータ 付ではインジケータは点灯しま せん。 3.回路内に漏れ電流があると、電 磁弁が復帰しないなどの誤作動 をすることがあります。必ず許 容回路漏れ電流値以下でお使い ください。回路条件などにより、 漏れ電流値が許容回路漏れ電流 値を超える場合は最寄りの弊社 営業所へご相談ください。 4.AC 用ソレノイドはソレノイドに ダイオードを使 用しているた— め、数個の電磁弁を並列に接続 する場合は同色のリード線どう しを結線してください。ただし DC24V 標準ソレノイドは極性が ありませんのでどちらのリード 線を接続しても構いません。 調447-3 LED インジケータ付サージ対策済ソレノイド 注文記号:-L -SR 赤色 (+) MARK-H LED インジケータ付ソレノイド 注文記号:-LF,-L サージ対策済ソレノイド 注文記号:-SR AC200V:白色 赤色 (+) フライホイル ダイオード 取付 1 (P)ポート、3 (R)ポートはマニホール— ドの両端面にあります。取付場所によ り配管方向が選べます。 出荷時には、片側のポートはプラグが 仮止めされています。一度取り外し、 シールテープなどのシール剤を使用 して締め付けてください。 1 、2 はDIN式コネクタ付(注文番号:-39)の場合 LEDインジケータ (発光ダイオード) 赤色 (+) 青色 (ー) ショート防止用ダイオード ソレノイド 赤色 調447-7 一般注意事項 ったサイズを使用してくださ い。 2.3(R)ポートに配管したりマ フラを取り付けるときは、排 気抵抗が極力小さくなるよう にしてください。 3.連数の多いマニホールドで、 多数のバルブが同時作動す るときや、高頻度で使用する 場合は、両端面の 1 (P) ,3 (R) ポートを使用してください。 1.取付姿勢は自由ですが、取付ベース (注文記号:-21)を使用して取り付 けるときは横方向に強い衝撃がかか らないようにしてください。 2.水滴、油滴などがかかる場所や粉塵 が多い場所で使用するときは、カバ ーなどで保護してください。また、 大気開放ポートにはマフラなどを付 けてゴミの侵入を防いでください。 3.バルブに配管する前に、必ず配管内 のフラッシング(圧縮空気の吹き流 し)を十分に行なってください。配 管作業中に発生した切屑やシールテ ープ、錆などがバルブに混入すると、 空気漏れなどの作動不良の原因とな ります。 4.制御盤内に取り付けたり、通電時間 が長い場合には、通風など、放熱を 考慮してください。 MARK-X 配管 V050,SV100,SV200シリーズでは、 流れ の方向に制約があります。1051ページ、 — 弁機能と配管ポート位置を参照の上配— 管してください。 空気源 1.使用流体は空気を使用し、それ以外 の流体の場合は最寄りの弊社営業所 へご相談ください。 2.バルブに使用される空気は、劣化し たコンプレッサ油などを含まない清 浄な空気を使用してください。バル ブの近くにエアフィルタ(ろ過度 40 μm 以下)を取り付けてドレンやゴ— ミを取り除 いてください。また、エ— アフィルタのドレン抜きは定期的に— 行なってください。 潤滑 無給油で使用できますが、ドライエア (水分・油分を含まないエア)を使用す— る場合には、タービン油1種(ISO VG32) 相当品による潤滑を推奨します。 スピンドル油、マシン油の使用は避け— てください。 LEDインジケータ赤色 雰囲気 流体および雰囲気中に下記のような物 質が含まれているときは、使用できま せん。 有機溶剤・リン酸エステル系作動油・亜 硫酸ガス・塩素ガス・酸類。 調447-5 1074 2014_10