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座標測定機 Catalog No.16005(8) 三次元測定機用プローブ 一覧 三次元測定機用プローブ 一覧 3～37ページ スキャニングプローブ ■高精度・低測定力 スキャニングプローブ MPP-310Q スキャニングプローブ （ロングスタイラス対応） ■小型・高精度 スキャニングプローブ SP25M SP80 ページNo. ● 5,6 ページNo. ● ▲ 3,4 ▲ ▲ ページNo. ● ■高精度 7,8 ■高精度 スキャニングプローブ SP600Q ▲ ページNo. ● 9,10 非接触プローブ ■非接触ラインレーザプローブ SurfaceMeasure/ TDS-H ● ページNo. ■クイックビジョンプローブ ■ 三次元測定機用 心出し顕微鏡 QVP ● ページNo. ● 13,14 ページNo. ▲ ▲ ▲ 11,12 CF20 15,16 特殊用途用プローブ ■粗さ測定用 ■マイクロタッチ プローブ プローブ SURFTEST PROBE ● ページNo. MPP-10 19 ● ページNo. ▲ 17,18 測定プローブ UMAP-CMM ▲ ページNo. ▲ ● ■ ねじ有効深さ 20 タッチトリガープローブ ■ 高精度タッチトリガー プローブ ■ 小型・高精度 タッチトリガープローブ TP7M ■ マニュアルプローブヘッド付 タッチトリガープローブ タッチトリガープローブ 27,28 MH20 ● ページNo. ▲ ▲ 1 ページNo. 23,24 ■ マニュアルプローブヘッド付 MH20i ● ページNo. 29,30 TP20 ● ページNo. ▲ 21,22 ● ▲ ページNo. プローブ TP200 ▲ ● ■ 小型タッチトリガー 25,26 多種多様な測定ワークを 高精度、高効率測定するミツトヨプローブ プローブヘッド ■マニュアル ■ モータライズ・ ● 33,34 ページ No. ● 35,36 タッチトリガープローブ装着例 ▲ タッチトリガープローブ装着例 ▲ ▲ タッチトリガープローブ装着例 PH1 ▲ ページ No. 31,32 ▲ ▲ ページNo. プローブヘッド MIH PH10M/PH10MQ ● ■マニュアル プローブヘッド プローブヘッド 5軸制御システム 5軸制御 ■高速 5軸制御 タッチトリガーシステム ■ スキャニングヘッド PH20 REVO-2 37 ● ページNo. ▲ ページNo. ▲ ● 37 プローブチェンジャー ■オートプローブ チェンジャー ページNo. ▲ ● ACR3 38 スタイラスの豆知識 三次元測定機用スタイラスの品名判別方法 各種スタイラス 取付工具類、ハードプローブ マスターボール クランピングツール 39ページ 41ページ 42ページ 60ページ 61ページ 62ページ 2 高精度・低測定力スキャニングプローブ MPP-310Q 高精度スキャニングプローブ MPP-310Qは、スキャニング測定【測定物に接触した状態で移動しながら、大 量の座標値を収集する測定方法。】をV2≦0.3μm（LEGEX搭載時の参考値）で 行える他、超高精度ポイント測定（σ≦0.1μm：LEGEX搭載時）や、求心ポイン ト測定（下図：オプション機能）によるデータ収集も可能なCNC三次元測定機 用の多機能プローブです。 方向性のないスキャニングを実現 MPP-310Qの内部にはX、Y、Z各軸方向に最小表示量0.01μmの超高精度スケ ールが組込まれており、 スタイラスの変位量を読みとります。 各軸のスライド部分にはエアベアリングを採用し、方向性の極めて小さなプ ロービングを実現しています。 低測定力 タッチトリガープローブは、実際にスタイラスが測定物に接触した瞬間のトリ ガーを発生させる力は小さくても、その後の押し込み時に数十～数百グラム の力がかかります。また、他社のスキャニングプローブには、ロングスタイラ スへの対応などのために、モータドライブによって強制的にプロービング位 置を指定する構造となっているものがあり、 どうしても実際の測定力が大きく なってしまいます。MPP-310Qは測定力を最小0.03Nまで落とすことができ、樹 脂などの弾性体でも傷つけることなく測定することができます。 高速スキャニング スキャニング測定には、未知形状を自動追尾しながらスキャニングする方 法（未知形状スキャニング） と軌跡を事前に与えてスキャニングさせる方法 （既知形状スキャニング）とがあります。既知形状スキャニングでは、最大 120mm/sでの高速スキャニングが可能です。従来、線や円などの幾何形状要 素測定は、ポイント測定で評価することが普通でしたが、超精密加工におけ る平面度や真円度評価については、 より多くの測定点で評価することが、測 定結果の信頼性を向上させることになります。 しかし、 これをタッチトリガープローブで 1 点 1 点測定するとな ると、非常に時間がかかります。MPP-310Qであれば、例 えばø100mmの内径を1000点測定する場合でも数秒で 測定が完了します。必要とする測定精度に応じて、スキ 求心ポイント測定 ャニング速度を変え、より効率的に測定をすすめること （オプション） ができます。 オプション ロータリーテーブルMRT320を使った同期スキャニングやオートスタイラスチ ェンジシステムなどのオプションも用意しています。 MPP-310Q 仕様 MPP-310Q 測定範囲 分解能 スキャニング誤差MPETHP（JISB 7440-4: 2003） シングルスタイラス形状誤差PFTU.MPE（JIS B 7440-5: 2013） スプリングレート 最大スタイラス長さ 最大スタイラス質量 スタイラス取付 最大スキャニング速度 エア流量 オートスタイラスチェンジシステム （オプション） 0.4μm（LEGEX500/700/900: ø4×18mmスタイラス使用時） 0.2N/mm 垂直・水平とも200mm※1 75g※1 M4ネジ 120mm/s［既知形状スキャニング時］ 30NL/min プローブヘッド 対応機種 不要 スタイラスモジュール搭載数 （キャリブレーション用）専用】 標準4本【ポート1は標準スタイラス 最大10ポートまで拡張可能。ただし、同軸上に配置されている必要があります。 ※ 1 スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 ※ 2 一部機種において取付けに制限を受ける、もしくは取付け不可の場合があります。 3 ±1mm 0.01μm （LEGEX500/700/900: ø4×18mmスタイラス使用時） 1.1μm（60sec） CNC 三次元測定機※2 高精度・低測定力スキャニングプローブ MPP-310Q 寸法図 96mm 96mm ø14mm 50mm 50mm 32mm 175.5mm 147.5mm 42mm 50mm 82mm LEGEX/MPP-310Q によるリングゲージのスキャニング測定例 ø46mm ø88mm ø46mm ø92mm MPP-310 MPP-310Q セット構成例 ユニット 照番 MPP-310Q（S） プローブセット 02AQG350 MPP-310Q システムセット セットNo. 06AEE096 クランプユニット MPP-310Q プローブ本体 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 名称 パーツ No. — 数量 1 1 1 1 1 1 5 2 1 1 1 1 2 1 1 1 1 1 02AQD090 A731-006 A731-007 02AQG220 06ABK816 06ABT110 06ABN848 06ABN849 06ABN850 06AAD460 06ABH817 181279 99MCA181J 06ABP411 06AEC620 06ACV587 02AQG231 ダンピングオイル 六角レンチ 予備2/GXL-20 六角レンチ 予備3/GXL-30 格納箱 MS4-4R13.5-S MS4-4R33C-S MS4-EXT30C MS4-EXT50C MS4-EXT100C MS4-スタイラスナックル MS4-スタイラスセンタ スタイラスツール MPP-310Q 取扱説明書（和文） EXT CONTOUR cable A EXT CONTOUR short cable 3極オスメスACケーブル MPP-310 クランプユニット（デスクトップ仕様） 質量（kg） 1.78 0.017 0.0015 0.0043 1.5 0.0023 0.0048 0.0051 0.0067 3.3 0.011 0.0145 0.04 0.0035 0.15 0.3 0.3 0.11 1.8 備考 スタイラスマウントアセンブリ1個を含む シリコンオイル（2000CS） MPP-310Q 格納用木箱 M4-M4 セラミック製 エクステンション L=30mm M4-M4 セラミック製 エクステンション L=50mm M4-M4 セラミック製 エクステンション L=100mm M4 スタイラス脱着用 日本国内向け ＊ 単品での販売ができないパーツもあります。 ＊ 搭載する本体によってパーツNo.が異なる場合もあります。 1 2 8 5 30 9 10 3 7 50 17 100 14 11 15 50 6 12 18 4 16 13 Sø4ルビー球 18 Sø4ルビー球 オプション オートスタイラスチェンジャー 寸法図 単位 : mm 測定範囲 ユニット 33 115 600 80 60 80 60 80 60 明 細 20 オートスタイラス チェンジシステム セット No.06ABU500 80 28 照番 1 2 3 4 5 6 名称 オートスタイラスチェンジラック スタイラスマウントアセンブリ 補助板 MS4-4R13.5-S MS4-スタイラスセンタ 再キャリブレーション用基準球 パーツ No. 数量 06ABG597 02AQD042 06ABG598 06ABK816 06ABH817 06ABH818 1 3 1 3 3 1 質量 （kg） 備考 交換用ポート4個付属 5 三次元測定機のベーストにラックを取付ける為の補助板 0.04 8 13.1 0.024 0.012 再キャリブレーション用基準棒 0.04 単位 : mm 6 200 新ラック 1 5 2 5 M4 20 ø50 28 ø50 110 測定範囲 90 3 108 720 4 ロングスタイラス対応の高精度スキャニングプローブ SP80 ロングスタイラス対応の高精度スキャニングプローブ SP80は、高精度と最大500mm（水平・垂直方向とも）のロングスタイラス搭載 を可能にしたスキャニングプローブです。 スキャニング測定（測定物に接触し た状態で移動しながら、大量の座標値を収集する測定方法）の他、高精度ポ イント測定や、求心ポイント測定（下図：オプション機能）によるデータ収集も 可能なCNC三次元測定機用の多機能プローブです。 高速スキャニング スキャニング測定には、未知形状を自動追尾しながらスキャニングする方法 （未知形状スキャニング） と軌跡を事前に与えてスキャニングさせる方法（既 知形状スキャニング） とがあります。既知形状スキャニングでは、最大 120mm/ sでの高速スキャニングが可能です。従来、線や円などの幾何形状要素測定 は、ポイント測定で評価することが普通でしたが、超精密加工における平面 度や真円度評価については、 より多くの測定点で評価することが、測定結果 の信頼性を向上させることになります。 しかし、 これをタッチトリガープローブ で1点1点測定するとなると、非常に時間がかかります。SP80であれば、例えば ø100mmの内径を1000点測定する場合でも数秒で測定が完了します。必要と する測定精度に応じて、 スキャニング速度を変え、 より効 率的に測定をすすめることができます。 オプション 求心ポイント測定 （オプション） ロータリーテーブルMRT320を使った同期スキャニング やオートスタイラスチェンジシステムなどのオプション も用意しています。 SP80 仕様 SP80 測定範囲 ±2.5mm 最大許容スキャニングプロービング誤差 MPETHP≦2.0μm（CRYSTA-Apex S700/900: ø8×60mmスタイラス使用時） スプリングレート 1.8N/mm 最大スタイラス長さ 500mm※1 最大スタイラス質量 500g※1 スタイラス取付 M5ネジ 最大スキャニング速度 120mm/s［既知形状スキャニング時］ プローブヘッド 不要 対応機種 CNC 三次元測定機※2 ※ 1 スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 ※ 2 一部機種において取付けに制限を受ける、もしくは取付け不可の場合があります。 5 ロングスタイラス対応の高精度スキャニングプローブ SP80 6mm 寸法図 KM80 150mm 106mm SH80 本体 11mm 21mm 41mm SH80 5 x M5 22mm セット構成例 SP80本体 品名 パーツ No. SP80プローブキット#1 06ABT513 質量（kg） 2.6 備考 SP80本体、SH80、KM80、ø8×60mmスタイラス 各1 KM80 SP80本体 パーツ No. 質量（kg） 数量 SP80 adapter 品名 06ABT587 0.3 1 SP80 Probe cable 06ABT588 0.1 1 SP80 EXT cable 06ABT590 0.2 1 IU 80 06ABT525 0.51 1 SP80電源BOX 06ABT591 1 1 OPT200S-MPP2 06ABN865 0.2 1 OPT200 attachment 06AAS741 0.4 1 Control ROM (MAIN) 06ZAA058 0.01 1 Control ROM (OPT) 06ZAA059 0.01 1 質量（Mass）kg SP80 本体 SH80 3.73 ＊ 単品での販売ができないパーツもあります。 ＊ 搭載する本体によってパーツNo.が異なる場合もあります。 オプション オートスタイラスチェンジャー MRS SP80スタイラスチェンジセット1（600mmRail仕様）/06ABT766 パーツ No. 数量 MRS kit#2 品名 06ABT529 1 3.5 SH80 06ABT523 1 0.24 SCP80 06ABT524 2 2.1 補助板 06ABG598 1 8 ACR3取付ネジ 06ABP467 1 0.05 質量kg 質量（kg） 13.89 SP80スタイラスチェンジセット2（1000mmRail仕様）/06ABT767 パーツ No. 数量 MRS kit#3 品名 06ABT530 1 3.7 SH80 06ABT523 3 0.48 SCP80 06ABT524 4 4.2 補助板 06ABG598 1 8 ACR3取付ネジ 06ABP467 1 0.05 SCP80 SCP80 34mm 230mm 質量kg 質量（kg） 16.43 128mm 6 小型・高精度スキャニングプローブ SP25M 小型・高精度スキャニングプローブ SP25Mは外径ø25mmの小型高精度スキャニングプローブです。スキャニング測定 （測定物に接触した状態で移動しながら、大量の座標値を収集する測定方法）の 他、高精度ポイント測定や、求心ポイント測定（下図：オプション機能）によるデー タ収集も可能なCNC三次元測定機用の多機能プローブです。 高速スキャニング スキャニング測定には、未知形状を自動追尾しながらスキャニングする方法（未 知形状スキャニング） と軌跡を事前に与えてスキャニングさせる方法（既知形状 スキャニング） とがあります。既知形状スキャニングでは、最大120mm/sでの高速 スキャニングが可能です。従来、線や円などの幾何形状要素測定は、ポイント測 定で評価することが普通でしたが、超精密加工における平面度や真円度評価に ついては、 より多くの測定点で評価することが、測定結果の信頼性を向上させるこ とになります。 しかし、 これをタッチトリガープローブで1点1点測定するとなると、 非常に時間がかかります。SP25Mであれば、例えばø100mmの内径を1000点測定 する場合でも数秒で測定が完了します。必要とする測定精度に応じて、スキャニ ング速度を変え、 より効率的に測定をすすめることができます。 姿勢の自動変更による段取り・測定の効率化 SP25MはPH10M/PH10MQなどの姿勢を自動変更できるプローブヘッドに装着する ことができますので、下向き固定タイプのスキャニングプローブと比較すると、圧 倒的に測定準備時間および測定時間が短縮できます。 また、 プローブチェンジシ ステムによる他プローブとのコラボレーションにより、様々な形状部品測定の全 自動化も可能となります。 オプション オートスタイラスチェンジシステムを用意しています。 求心ポイント測定 （オプション） SP25M 仕様 SP25M 測定範囲 ±0.5mm 最大許容スキャニングプロービング誤差 MPETHP≦2.3μm（CRYSTA-Apex S700/900: ø4×50mmスタイラス使用時） 0.4N/mm ±2.0mm （XY）±1.7mm （Z） 200mm（SM25-3、SH25-3使用時）※ M3ネジ 120mm/s［既知形状スキャニング時］ 必須 PH10M/PH10MQ CNC三次元測定機 スプリングレート オーバートラベル量 最大スタイラス長さ スタイラス取付 最大スキャニング速度 プローブヘッド 対応機種 ※スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 7 小型・高精度スキャニングプローブ SP25M 取付可能スタイラス 20∼50mm SH25-1 取付可能スタイラス 20∼75mm (スタイラス全長50∼105mm) 310.85mm 2mm SH25-2 SH25-3 SH25-2に 固定されて います。 SH25-4 ø4mm 取付可能スタイラス 20∼100mm (スタイラス全長120∼200mm) TP20※1 module SM25-4※2 63.05mm ø13.25mm SM25-3 48.05mm SM25-2 33.85mm ø25mm SP25M probe body 195.4mm 111.65mm SM25-1 26.25mm 74.05mm TM25-20 16.95mm 62.5mm 45.55mm 寸法図 SH25-3に 固定されて います。 ø5.5mm 取付可能スタイラス 20∼200mm (スタイラス全長120∼310mm) SH25-4に 固定されて います。 ※1：TP20moduleはオプションです。 ※2：SM25-4は特注対応となります。 構 成 品名 パーツ No. 備考 SP25Mフルコンビネーションキット※ 06ABS969 SP25M・SM25-1/2/3・SH25-1/2/3・TM25-20のセット SP25Mプローブキット#1 06ABS970 SP25M・SM25-1・SH25-1のセット SP25Mプローブキット#2 06ABS971 SP25M・SM25-2・SH25-2のセット SP25Mプローブキット#3 06ABS972 SP25M・SM25-3・SH25-3のセット SM25Mモジュールキット#1 06ABS452 SM25-1・SH25-1のセット SM25Mモジュールキット#2 06ABS453 SM25-2・SH25-2のセット SM25Mモジュールキット#3 06ABS454 SM25-3・SH25-3のセット SH25-1スタイラスホルダー 06ABS455 SH25-2スタイラスホルダー 06ABS456 SH25-3スタイラスホルダー 06ABS457 TM25-20 TP20アダプタキット 06ABS475 TM25-20 TP20アダプタ 06ABS473 TP20スタンダードフォースモジュールとTM25-20のセット ＊ 単品での販売ができないパーツもあります。 （TM25-20、TP20module） は、 ＊ TTPモジュール MCOSMOS V2.4以降のサポートです。 ＊ TP20moduleはオプションです。 オプション オートスキャニングモジュールチェンジャー／オートスタイラスチェンジャー m .5m FCR25 28mm 39 21.6mm 35mm m 113.8m m .5m 74 PA25-20 PA25-5H 219.5mm 166mm 166mm 113.8mm FCR25-L6 (6 PORT) ＊SP25Mは内部に高出力LED光源を使用しています。取扱説明書に 準じ、取扱いにはご注意ください。 FCR25-L3 ＊MRSラックに搭載することもできます。 8 高精度スキャニングプローブ SP600Q 小形・高精度スキャニングプローブ SP600Qは、CRYSTA-Apex S500シリーズに搭載可能な高精度スキャニングプロ ーブです。 スキャニング測定（測定物に接触した状態で移動しながら、大量の座標値を 収集する測定方法）のほか、高精度ポイント測定などが可能です。 CRYSTA-ApexS500シリーズのＺスピンドルに直付けすることにより、測定空間 をより有効に利用することができます。 高速スキャニング スキャニング測定には、未知形状を自動追尾しながらスキャニングする方法 （未知形状スキャニング） と軌跡を事前に与えてスキャニングさせる方法（既 知形状スキャニング） とがあります。既知形状スキャニングでは、最大 120mm/ sでの高速スキャニングが可能です。従来、線や円などの幾何形状要素測定 は、ポイント測定で評価することが普通でしたが、超精密加工における平面度 や真円度評価については、 より多くの測定点で評価することが、測定結果の信 頼性を向上させることになります。 しかし、 これをタッチトリガープローブで 1 点1点測定するとなると、非常に時間がかかります。SP600Qであれば、例えば ø100mmの内径を1000点測定する場合でも数秒で測定が完了します。必要と する測定精度に応じて、 スキャニング速度を変え、 より効率的に測定をすすめ ることができます。 オプション オートスタイラスチェンジシステムを用意しています。 SP600Q 仕様 SP600Q 測定範囲 ±1mm （X,Y,Z） 最小基準変位量 スタイラス取付 0.15mm 1.176N/mm（120gf/mm）（X,Y,Z軸共） 0.17～1.18N（18～120gf）プローブ変位量により変化 最大20g※1 最大200mm※1 M4ネジ 取付け方法 三次元測定機先端に直接固定する※2 スプリングレート 測定力 最大スタイラス重量 最大スタイラス長さ ※1：スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 ※2：SP600Qプローブの取付けに関しては、弊社サービス部門の技術者により行われます。お客様ご自身による脱着作業は保証対象外となりますのでご注意ください。 9 高精度スキャニングプローブ SP600Q 寸法図 構 成 品名 数量 備考 A）木箱入りで納入される構成品一式 SP600Qプローブ 1 倣いプローブ本体 スタイラスモジュール 1 SP600Q本体に装着されています。 測定子 1 ø8mm先端ボール付きL50mmセラミック測定子（パーツ番号：06ABN843） M4スタイラスツール 1 測定子着脱用工具 測定子 1 ø4mm先端ボール球付きL50mmセラミック測定子（パーツ番号：06ABQ149） ナックルジョイント 1 MS4スタイラスナックル（パーツ番号：06AAD460） スタイラスセンタ 1 MS4スタイラスセンタ（パーツ番号：06ABN857） エクステンション 1 MS4-EX50C（パーツ番号：06ABN849.） 保証書 1 取扱説明書 1 B）付属する構成品一式 オプション スタイラスチェンジャSCR600 235 mm 31.50 mm 225 mm ø55 mm 10 非接触ラインレーザプローブ SurfaceMeasure/TDS-H 超高速データ収集 SurfaceMeasureは、ライン状のレーザを測定物に照射しながら移動し、測定物 表面の座標値を収集するプローブです。75,000点/秒※の超高速データ収集す ることができます。 ※SurfaceMeasure使用時 非接触のメリット 非接触なので、接触式では変形してしまうような樹脂や肉薄部品などの弾性 体でも測定がすることができます。 パウダーレス測定 環境や測定物材質にあわせた適切なレーザ強度やカメラ感度の設定を自動 的に行うことで、パウダ・スプレーレス測定を実現しました。 より簡単、快適なレーザスキャニング環境をご提供いたします。 評価事例 収集した点群データは、各種編集・面生成・CADデータとの比較照合・CADデ ータ化など、豊富なオプションソフトウェアによって様々な用途に活用してい ただくことができます。 カラーサンプル板の測定 光沢物の測定 SurfaceMeasure/TDS-H 仕様 SurfaceMeasure 606 SurfaceMeasure 610 EN/IEC レーザクラス SurfaceMeasure 1010 SurfaceMeasure 606T TDS-H 286mm Class2 [ EN/IEC 60825-1(2007) ] JIS Class2 [ JIS C 6802 : 2011 ] スタンドオフ 240mm 282mm 289mm 測定深さ 60mm 100mm 65mm 60mm 測定幅 60mm 3×65mm 可変：20～162mm 3×25,500点/秒 最大30,780点/秒 60mm 最大100mm 75,000点/秒 1010 289 282 115 282 TDS-H 深物・板金測定 高感度・汎用測定 140 60 93 240 606T 大物測定 286 610 深物測定 115 606 汎用測定 171 データ取得速度 65 100 100 60 60 60 11 100 60 非接触ラインレーザプローブ SurfaceMeasure/TDS-H MSURF-S/MSURF-I スキャニング (MSURF-S) スキャニングパスの指定は、スキャニング開始点、スキャン 長さ、スキャン幅の３点を定義するだけです。 これら３点の 指定はカメラプレビューを確認しながらCMM をマニュアル で操作することで容易に行えます。 ●MSURF-PLANNER （オプション） MSURF-PLANNERは、3D CADデータからラインレーザプローブ用の測定マクロ （面形状、要素形状）を自動生成するソフトウェアです。 測定パスは最適化（移動経路、プローブヘッド回転回数など）された内容の ため、お客様の生産性の向上に貢献いたします。 MSURF-PLANNERによる測定マクロの自動生成 MCOSMOS（接触式データ処理）から非接触用スキャニングソフトウェアを起動できますので 接触式測定/非接触測定の融合した自動測定が可能になります。 ＊MCOSMOSで作成した座標系を利用する場合には点群処理ソフトでの位置合わせは必要ありません。 ＊ACRを利用しない場合、プローブは手 動で交換します。 インスペクション (MSURF-I) ● 面形状の比較 点群またはメッシュデータとCADデータを比較し、面形状の誤差をカラーマップで表示します。 誤差のカラーマップ 肉厚のカラーマップ ● 断面形状の比較 点群またはメッシュとCADデータを指定した位置で切断し、 断面形状を比較・計算することができます。 段差/隙間の評価 ● フィーチャ単位での比較 点群またはメッシュデータから、様々なフィーチャを検出し、 設計データと比較することが可能です。 各種要素計算 断面評価（寸法計算） 12 クイックビジョンプローブ QVP 三次元測定機に画像測定機能を追加 QVPは、接触式プローブでは測定不可能な微小形状や、わずかな測定力でも 変形してしまうような弾性体を画像処理によって測定可能にするプローブで す。三次元測定機に心出し顕微鏡をつけて顕微鏡的測定を行う手法は、三次 元測定機が世の中に登場した当初から利用されていましたが、位置を検出す る作業は人間の目に頼ることとなるため、測定誤差を含みやすいという欠点 もあります。 また、CNC三次元測定機であっても、心出し顕微鏡装着時には手 動測定をせざるを得ませんでした。QVPは、CNC三次元測定機における画像 測定の全自動化を可能にするため、 ミツトヨが画像測定機で長年培ってきた 技術をベースに開発された三次元測定機用の画像プローブです。 エッジの自動検出 QVPで取り込まれた画像は、専用ソフトウェアVISIONPAKによって様々な自動 エッジ検出を行い、 さらに汎用測定プログラムGeopakによって、各種演算処理 （寸法計算・幾何偏差計算等）を行います。 白色 LED 照明を標準装備 QVPは、レンズ系を通る垂直落射照明と、明るさと長寿命に定評のある白色 LEDリング照明を標準装備していますので、従来のような外部補助照明は必 要ありません。光量は0～100%まで1%単位で自由に設定できます。 オートプローブチェンジャーへの搭載 QVPはオートプローブチェンジャーへの搭載も可能ですので、接触式プローブ との組合せによる接触・非接触混在の全自動測定が可能になります。 QVP 仕様 QVP 本体 CCD サイズ 1/3インチ 0.375× 鏡筒倍率 照明 白色LED光源（内臓）：消費電力5W以下 落射 白色LED光源：消費電力10W以下 リング オートジョイントタイプ：315g シャンクタイプ：390g 質量 光学倍率 観察範囲（mm） 作動距離（mm） 対物レンズ 倍率 開口数 N.A. 焦点深度（μm） 質量 QVP I/F BOX 電源電圧 周波数 電源容量 質量 13 0.375× 9.6×12.8 59 ML1× 1.125× 3.2×4.3 72.3 ML3× 1.815× 1.9×2.6 59.5 ML5× 3.75× 1×1.3 44 ML10× オプション 標準 オプション オプション 0.03 306 70g 0.07 56 47g 0.11 23 59g 0.18 8 75g AC100～240V 50/60Hz 45W 3800g クイックビジョンプローブ QVP QVP 寸法図 オプション 対物レンズ ML 1 ×（375-036-2） 対物レンズ ML 5 ×（375-034-1） 対物レンズ ML10 ×（375-039） ø 70 ø 70 66 26 50 ø 25 40 66 40 32 26 ø13.99 校正ゲージ（02AQC310） W.D.= 72.3 37.7 113 182.7 211.7 ・QVPと接触式プローブと座標を共 有させるためのゲージです。 QVA-A ( オートジョイントタイプ） 校正用チャート （02AKN020） ・QVP単体の校正を行うための QVP-S ( シャンクタイプ） ゲージです。 単位 : mm 演算処理部 • 専用データ処理ソフトウェア VISIONPAK VISIONPAK は、Windows 系の三次元測定機用汎用測定プログラム上で動作 し、エッジ検出時に画像ウィンドウが自動的に表示されます。エッジ検 出後は、通常の汎用測定プログラムで各種演算を行います。 • 多彩な画像処理機能 強力な画像処理機能（ツール）によって、様々な形状のエッジ等を高速 で検出することができます。高さ方向の測定もオートフォーカスで実行 でき、また、取り込んだ画像は、画像データ（Bitmap 形式）データとし て保存することも可能です。 • 異常点除去機能 微小形状の測定においては、測定物のバリやほこりの除去が難しく、測 定誤差を生じる要因にもなりますが、VISIONPAK では、それらを「異常点」 として認識し、回避することもできます。 VISIONPAK画像処理ツールの一例 シンプルツール 矢印上のエッジ 1 点を検出するツール です。 ボックスツール ボックス内のエッジを多点で線測定す るツールです。バリやほこりを回避し てデータを取ることもできます。 サークルツール 円状のエッジを多点で円測定するツー ルです。ボックスツールと同様、バリ やほこりを回避してデータを取ること もできます。 マニュアルツール マウスで指示（クリック）した任意の 位置を検出するツールです。 エリアセントロイドツール 任意の形状における重心点を検出する ツールです。 エッジ自律倣いツール 開始点とピッチを指定するだけで、未 知形状を自律倣いしながらエッジ検出 を行うツールです。 14 三次元測定機用心出し顕微鏡 CF20 三次元測定機を大形顕微鏡として使用 CF20は、タッチトリガープローブでは測定が困難な、小穴や弾性体の測定を 可能にする心出し顕微鏡です。CF20を搭載することによって、三次元測定機 を大形顕微鏡として使用することができます。 様々な評価を可能にするオプション 観察・測定する対象の大きさや形状に応じて、各種倍率のレンズや、形状比較 をするための各種レチクルが用意されています。 CMM計測用TVシステム（オプション） CF20に取付けるCCDカメラ（オプション）です。専用ソフトウェアをインストー ルしたPCのモニタの映像を映せます。 顕微鏡を覗く作業が長時間になる作業は作業者の目に大きな負担となりま すので、 その負担を軽減することができます。 Eyepiece （オプション） CMM 計測用TVシステム CF-20単眼セット寸法図 ø14mm 接眼レンズ 50mm 211 mm 30˚ 117mm CF20本体 単眼装置 51mm 照明装置 CF20単眼セット（375-201） CF20双眼セット（375-202） CF20角度セット（375-203） （ø14mm） シャンク シャンク （ø14mm） 双眼装置 単眼装置 本 体 部 22.5mm 対物レンズ （オプション） CF20二重像セット（375-204） （ø14mm） シャンク （ø14mm） シャンク 二重像接眼装置 角度接眼装置 本 体 部 品名 仕様 10×接眼レンズA 視野数22 十字線付同心円レチクル CF20双眼セット （375-202） CF20角度セット （375-203） 10×接眼レンズA 視野数22 眼幅調節51～76mm 十字線付同心円レチクル（右） 10×角度接眼装置 視野数21 最小読取値：5'（バーニヤ） 測定範囲360° 角度目盛1° 10×二重像接眼装置 視野数22 CF20二重像セット 測定物が顕微鏡の光軸から離れたとき、像が つに分離するのを利用して、 ( 2 （375-204） 対物レンズ 10×型板接眼装置 視野数22 十字線付同心円レチクル・点線クロススケール ISOメートルねじ/ユニファイねじ ML 3×対物レンズ ＊ CF20型板セットのみ対物レンズが付属されています。 15 本 体 部 付属品 照明装置（375-071） － － － － 穴のピッチや直径、線のピッチや線幅を能率良く測定できます。） CF20型板セット （375-205） （ø14mm） シャンク 型板接眼装置 本 体 部 本 体 部 CF20本体 CF20単眼セット （375-201） CF20型板セット（375-205） ◯ 1.照明装置（375-071） 2.スペアランプ（162151） 3.レンズキャップ 4.工具類 5.電源ケーブル 6.取扱説明書 7.格納箱 ランプハウス 電源BOX 三次元測定機用心出し顕微鏡 CF20 対物レンズ （オプション） （同焦距離） （同焦距離） コード No. 開口数 品名 375-031 375-032 375-033 375-037-1 375-034-1 375-039 N.A. 0.03 0.06 0.07 0.09 0.13 0.21 0.04 0.1 0.1 対物レンズCF 1X 対物レンズ CF 2X 対物レンズ CF 3X 対物レンズ ML 3X 対物レンズ ML 5X 対物レンズ ML 10X CF ズーム 1X - 5X 375-038 1X 3X 5X ø25 ø30 （同焦距離） 77 （作動距離） 110 （同焦距離） 44 60 （作動距離） 110 作動距離 （同焦距離） 分解能 W.D.（mm） 73.7 92 77.8 77 61 51 R（μm） 9.2 4.6 3.9 3.9 2.5 1.5 6.9 2.75 2.75 50 50 （作動距離） 110 11.5 （同焦距離） ø37.2 ø25 ø28 ø25 ø30 66 8 37.5 5 CF zoom 1X - 5X ø21.2 ø28 ø25 61 （作動距離） 110 77.8 （作動距離） 110 5 ML 10X 50.5 ø25 32.2 110 単位 : mm ML 3X ø30 92 （作動距離） ø34 （同焦距離） ø17 ø30 ø25 18 12 ML 5X 10.5 ø22 73.7 （作動距離） 110 5 CF 3X ø21.5 36.3 ø30 ø25 CF 2X ø26 ø30 CF 1X 対物レンズ単体の焦点深度 ±D.F. （μm） 質量 （g） 306 76 56 34 16.3 6.2 171 27 27 45 35 35 55 60 95 200 ＊仕様欄の分解能及び対物レンズ単体の焦点深度は、基準波長（λ=0.55μm） をもとに算出した値になります。 ＊実視野（mm）＝接眼レンズの視野数÷対物レンズの倍率で求められます。 単位 : mm 0.2 1 ツインファイバ照明装置（176-344） 10 1 リングファイバ照明装置（176-366） 0.2 ø18 （十字線付同心円） 60º （十字線） （90°/60°鎖線） 10 （方眼） No. 375-021 No. 375-022 No. 375-023 No. 375-024 10倍接眼レンズ A 10倍接眼レンズ B 10倍接眼レンズ C 10倍接眼レンズ D CMM計測用カラーTVシステム【コードNo.320-054】 ①カメラシステム（CC-1000V） ドングル 取扱説明書 CF20 ソフト （CD） USBケーブル (長さ5m） カメラ ②Ｃマウントアダプタ （Ｃ） PC モニタ CF20用CMM計測用TVシステム 照番 品名 数量 1 カメラシステム 1 2 Cマウントアダプタ（C） 1 16 粗さ測定用プローブ SURFTEST PROBE CNC 三次元測定機に粗さ測定機能を追加 SURFTEST PROBEは、CNC三次元測定機上で粗さ計測が可能な、粗さ測定用プ ローブです。 プローブはスキッド式の粗さ検出器を採用し、 プローブ内部の駆動機構によ り粗さ測定を行うことが可能です。粗さ測定および粗さ解析には、専用ソフト ウェアSURFPAK-SPを使用します。 寸法計測から粗さ計測まで一括実行 三次元測定機上でワークの段取りを替えることなく、接触式粗さ計測が可能 です。PH10M/PH10MQに装着し、 プローブ姿勢を変更することで様々な傾斜面 の粗さ測定も可能です。 また、他のCMMプローブとの共存も可能で、オートプ ローブチェンジャACR3等を使うことにより、寸法計測から粗さ計測まで全自 動で計測が可能です。 オプション ハンディータイプ粗さ測定機、SJシリーズで培ったノウハウを活かし、対象物 に合せた多様な検出器を用意しています。 更に、 クリーニングユニット （オプション）を使用し、 クーラントなどの水分が付 着した粗さ検出器を清掃することで、粗さ測定の信頼性を向上させることが 可能です。 SURFPAK-SP SURFPAK-SPは、表面粗さ解析を行う三次元測定機用粗さ プローブ「SURFTEST PROBE」専用のソフトウエアです。ISO、 JIS、ANSI、VDAなどの規格に準拠した表面粗さの解析が可 能です。MCOSMOSと連携することで、寸法測定と表面粗さ 測定を全自動で行うことができます。 SURFTEST PROBE 仕様 SURFTEST PROBE 測定範囲 駆動範囲 測定速度 触針先端半径 測定力 17 AUTO, 40, 100, 360µm 16mm 0.25, 0.5, 0.75mm/s 2µm 0.75mN 粗さ測定用プローブ SURFTEST PROBE 寸法図 (1.1) (1.45) (26.4) 165 (193) 28 11.5 26.5 ø25 59.7 22 41 単位 : mm 31 121.5 構 成 品名 パーツ No. 数量 02AQJ081 1 SURFTEST PROBE セット SURFTEST PROBE本体 格納箱 SURFTEST PROBEインターフェイスユニット 02AUS030 1 USB CBL 02AUS427 1 ハードウェアガイド 99MBB479J 1 オプション 小穴用検出器（4mN, 90º R5µm） 極小穴用検出器（0.75mN, 60º R2µm） パーツ番号 品名 0.6 1.4 ø6.6 ø9 61 71.5 (10.5) ø6.6 16.4 ø9 質量：8.3g 10 ø9 70.6 60.1 1.2 4.5 1.5 4.8 深溝用検出器（178-274/178-284） (10.5) 1.8 60º ø6.6 .4 ø2 (10.5) 12.6 0.4 歯面用検出器（4mN, 90º R5µm） 特別付属品 (10.5) 2 3.5 深溝用検出器（0.75mN, 60º R2µm） 歯面用検出器（0.75mN, 60º R2µm） 71.2 60.7 ø3.8 R40 0.8 1.6 質量：8.2g 16.2 小穴用検出器（178-272/178-282） 極小穴用検出器（178-273/178-283） 極小穴用検出器（4mN, 90º R5µm） 深溝用検出器（4mN, 90º R5µm） 3.5 9 4 ø2. 70.8 60.3 ø9 小穴用検出器（0.75mN, 60º R2µm） 質量：7.6g ø6.6 粗さ検出器（4mN, 90º R10µm） 12.8 ø9 質量：8.2g 1.8 粗さ検出器（4mN, 90º R5µm） 0.4 粗さ検出器（0.75mN, 60º R2µm） (10.5) 粗さ検出器（178-270/178-280/178-281） 品名 R40 0.9 178-270 178-280 178-281 178-272 178-282 178-273 178-283 178-274 178-284 178-275 178-285 1.5 4.8 2.4 3.5 オプション パーツ番号 16.4 71.5 61 ø13.6 R40 質量：7.8g ø6 R40 ②粗さ標準片 178-270（0.75mN, 60º R2µm） 178-280（4mN, 90º R5µm） 178-601（mm） 178-602（inch/mm） R40 ①粗さ検出器 ø6.6 必須オプション 歯面用検出器（178-275/178-285） 02AQJ101 クリーニングユニット 02AQJ207 校正用台 02AQJ210 サポートマグネット（ACR3） 18 マイクロタッチプローブ UMAP-CMM 微小かつ深さのある溝・穴の測定を可能にするタッチプローブ 従来のタッチトリガープローブでは測定不可能な微小かつ深さのある穴や 溝，角Rなどの測定を可能にします。 スタイラスの先端径はø100μmとø300μmの超小径で、エクステンション長さ はそれぞれ10mm，16mmと非常に高いアスペクト比を実現しました。CRYSTAApex Sシリーズに装着可能です。 姿勢の自動変更による段取り・測定の効率化 UMAP-CMMはPH10M/PH10MQなどの姿勢を自動変更できるプローブヘッド に装着することができますので、様々な測定方向にある測定部位の微細形状 測定が可能です。 ＊ただし、カメラ装着タイプは姿勢変更不可 スタイラスユニット 仕様 UMAP110 スタイラスユニット UMAP130 スタイラスユニット ±X, ±Y, －Z 測定方向 ø100µm 先端チップ呼び径 ø300µm スタイラス呼び長さ 10mm 16mm スタイラス呼び径 ø80µm ø200µm 22g 質量（保護カバー含む） 39g 測定速度範囲 1～50µm/s 標準測定速度 10µm/s ＊但し、測定速度は三次元測定機のシステムにより異なる可能性があります。 寸法図 15.8 50.5 66.5 16 10 34.5 44.5 18 UMAP110スタイラスユニット 19 UMAP130スタイラスユニット ねじ有効深さ測定プローブ MPP-10 世界唯一のねじ有効深さプローブ ねじ穴は、深さが足らなければ締付けができませんし、深すぎても無駄に加 工時間が長くなったり、強度面に影響したりするため、適正な有効深さを確保 することが非常に大切です。 このねじ穴有効深さの測定は、ねじゲージと呼ば れる専用ゲージを測定者が手でねじ込んで、その深さを確認するという方法 が一般的です。 しかし、 自動車エンジン部品ともなると、ねじ穴数が 100箇所以 上になるものもあり、ねじゲージを使った評価は非常に時間がかかるととも に、測定者への負担を強いることになります。MPP-10は、CNC三次元測定機に よるねじ有効深さの自動測定を可能にした世界唯一のプローブです。 姿勢の自動変更による段取り・測定の効率化 MPP-10はPH10M/PH10MQなどの姿勢を自動変更できるプローブヘッドに装 着することができますので、様々な方向にねじ穴加工がされた測定物でも、全 自動測定が可能です。 また、 プローブチェンジシステムによる他プローブとの コラボレーションにより、様々な形状部品測定の全自動化も可能となります。 MPP-10 仕様 MPP-10 M4～M20 測定可能ネジ 最大測定深さ 最大測定速度 プローブ外径 M4 ～ M8 ネジ 30mm M4 ～ M20 ネジ 60mm M4 ～ M10 ネジ 10mm/sec M12 ～ M20 ネジ 30mm/sec ø25mm 20 高精度タッチトリガープローブ TP7M 高精度タッチトリガープローブ 繰り返し精度（2σ≦0.25μm）を可能にした高精度タッチトリガープローブで す。 姿勢の自動変更による段取り・測定の効率化 TP7MはPH10M/PH10MQなどの姿勢を自動変更できるプローブヘッドに装着 することができますので、下向き固定タイプのプローブシステムと比較する と、圧倒的に測定準備時間および測定時間が短縮できます。 また、 プローブチ ェンジシステムによる他プローブとのコラボレーションにより、様々な形状部 品測定の全自動化も可能となります。 ロングスタイラス対応 TP7Mには、最大150mmのスタイラス※が装着できます。PH10M/PH10MQの最 長プローブエクステンション200mmと組み合わせれば、最大350mmの位置に 到達させることができます。 ＊搭載する三次元測定機本体やスタイラス材質／径などの条件によって変わります。 TP7M 仕様 TP7M 測定方向 標準スタイラス 繰り返し精度（2σ） 方向性（XY：2D） トリガー発生力 オーバートラベル量 オーバートラベル力 最大スタイラス長さ スタイラス取付方法 単体質量 耐久性 プローブヘッド 対応機種 ※スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 21 XY Z XY Z XY Z ±X、±Y、＋Z ø4×18mm 0.25μm以下（標準スタイラス使用時） ±0.25μm以下 0.02N（50mmスタイラス） 0.15N（50mmスタイラス） ±16° ±5mm 0.49N（50mmスタイラス） 2.94N（50mmスタイラス） 150mm※ M4ネジ 85g 1000万回 必須 PH10M/PH10MQ CNC三次元測定機 高精度タッチトリガープローブ TP7M 寸法図 18mm 3mm 50mm ø25mm Sø4mm 高精度 セット 【コード 】 セット 【コード 】 TP7M No.06ABL429 TP7M No.06ABL429 照番 1 2 3 名称 高精度 本体 TP7M本体 TP7M ジョイントキーS10 M4スタイラスツール パーツ No. 06ABL7430 06ABL430 174748 181279 質量（g） 数量 85 24 3.5 1 1 2 ＊ 単品での販売ができないパーツもあります。 スタイラスセット 【コードNo.06ABT114】 照番 名称 18 MS4-1R4.5-S MS4-2R8-S MS4-4R13.5-S MS4-4R33-S MS4-8R50C-S MS4-8R100C-S MS3-30C MS4-EXT50C MS4-EXT30C MS4-M3EXT20 MS4-M3EXT75C MS4-スタイラスセンサ MS3-スタイラスセンサ MS2-スタイラスセンサ MS4-スタイラスツール MS2-スタイラスツール MS4-M3 メス—アダプタ MS3-M2 メス—アダプタ 19 格納箱 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 パーツNo. 06ABT109 06ABK815 06ABK816 06ABT110 06ABT111 06ABT112 916492 06ABN849 06ABN848 06ABN851 06ABN853 06ABN857 06ABN839 06ABN812 181279 153140 06ABN855 06ABN837 06ABT115 仕様 数量 ø1×20mm（M4） ø2×20mm（M4） ø4×20mm（M4） ø4×50mm（M4） Sø8×50mm（M4） Sø8×100mm（M4） Sø30セラミック球（M3） L50 エクステンション（M4-M4） L30 エクステンション（M4-M4） L20 エクステンション（M4-M4） L75 エクステンション（M4-M3） M4 スタイラスセンタ M3 スタイラスセンタ M2 スタイラスセンタ M4 スタイラスツール M2, M3 スタイラスツール M4-M3 アダプタ（L9） M3-M2 アダプタ（L5） 2 2 2 1 1 1 1 2 1 1 1 1 1 1 2 2 2 5 1 備考 高精度仕様 高精度仕様 高精度仕様 高精度仕様 高精度仕様 高精度仕様 ＊ 単品での販売ができないパーツもあります。 ・その他必要なスタイラスは、巻末のスタイラスリストより選択ください。 ・プローブエクステンションは、 PH10M/PH10MQ（31～32ページ）を参照ください。 22 小型・高精度タッチトリガープローブ TP200 小型高精度タッチトリガープローブ 外径ø13.5mmと非常にコンパクトで、入り組んだ部位へのプロービングに便 利なタッチトリガープローブです。また、 プローブエクステンションを併用す ることで、深い位置へのプロービングも可能となります。 姿勢の自動変更による段取り・測定の効率化 TP200はPH10M/PH10MQなどの姿勢を自動変更できるプローブヘッドに装着 することができますので、下向き固定タイプのプローブシステムと比較する と、圧倒的に測定準備時間および測定時間が短縮できます。 スタイラス自動交換 姿勢変更だけでは測定ができないような場合（例えば、異径スタイラスや特 殊形状スタイラスに交換しなければ測定ができないような場合） でも、 スタイ ラスチェンジシステムによるスタイラス自動交換で途中中断することなく全 自動測定が可能です。さらに、 プローブチェンジシステムによる他プローブと のコラボレーションにより、様々な形状部品測定の全自動化も可能となりま す。 TP200 仕様 TP200 測定方向 繰り返し精度（2σ） 方向性（XY：2D） 方向性（XYZ：3D） トリガー発生力 オーバートラベル量 XY Z XY Z XY オーバートラベル力 最大スタイラス長さ 最大スタイラス重量 スタイラス取付方法 単体質量 耐久性 プローブヘッド 対応機種 注意事項 SCR200 （オプション） スタイラスモジュール交換精度 スタイラスモジュール搭載数 ※ スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 23 Z ±X、±Y、＋Z 0.3μm以下（10mmスタイラス時）、0.4μm以下（50mmスタイラス時） ±0.4μm以下（10mmスタイラス時）、 ±0.8μm以下（50mmスタイラス時） ±0.65μm以下（10mmスタイラス時）、 ±1μm以下（50mmスタイラス時） 0.02N（STANDARD/LOW FORCE）50mmスタイラス使用時 0.07N（STANDARD/LOW FORCE）50mmスタイラス使用時 XY±14° ＋4.5mm （0.07N時）、＋3mm （0.15N時） 0.35N（STANDARD FORCE） 0.1N（LOW FORCE） 1.5N（STANDARD FORCE） 1N（LOW FORCE） 70mm（STANDARD FORCE）※ 30mm（LOW FORCE）※ 8g（STANDARD FORCE）、3g（LOW FORCE）※ M2ネジ 22g 1000万回 必須 PH10M/PH10MQ/MIH/PH1 CNC三次元測定機 ø1mm未満のスタイラスは、LOW FORCEモジュールで使用。強磁界での使用はできません。 繰返し位置決め精度1.0μm以下（自動交換時）…50mmスタイラス使用 ＊手動交換時は2.0μm以下。…50mmスタイラス使用時 最大6本 小型・高精度タッチトリガープローブ TP200 寸法図 M8 ø13.5mm 30mm プローブ本体 13mm スタイラスモジュール 10mm M2X0.4 Sø4mm セット構成 【コードNo.06AAL268】 40 ユニット 照番 TP200 プローブ1式 06AAL251 06AAL268 スタイラス セット 06AAL252 数量 — 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 TP200プローブ 2 スタイラスモジュール（標準） 06AAL254 3 清掃用具 4 ツインエンディッドスパナ 5 7 TP200用 パーツNo. 1 6 タッチトリガー プローブ TP200セット 名称 8 9 10 11 12 13 14 06AAL256 161534 ダブルスパナ 161535 スタイラスツール 153140 MS2-4R10 06ABN774 MS2-6R10 06ABN786 MS2-4R20 06ABN775 MS2-EXT40G 06AAL257 MS2-EXT50G 06AAL258 カーボンエクステンション用取付工具 06AAL264 格納箱 06AAL265 取扱説明書 06AAL623 備考 1 10 2 11 50 標準測定力（オーバートラベル時） スタイラスモジュール清掃用 プローブ脱着用（S1） プローブ脱着用（S9） 3 12 スタイラス脱着用（S7） 標準スタイラス Sø4×10（M2） Sø6×10（M2） Sø4×20（M2） カーボン製 エクステンション40mm カーボン製 エクステンション50mm スタイラス収納箱 ＊ 単品での販売ができないパーツもあります。 4 5 13 14 6 15 7 8 9 単位 : mm オプション スタイラスモジュール自動交換装置 SCR200 オートスタイラスチェンジシステムキット（06AAL540） No. 1 2 3 名称 パーツNo. スタイラスモジュール（低測定力） 06AAL255 SCR200キット※ PL63 06AAL267 06AAM887 数量 1 1 1 仕様（用途） ø1未満のボール測定子用 ラックマウントキット付き PI200－SCR200接続ケーブル 質量（kg） 0.01 0.93 0.15 ※SCR200キットの中にスタイラスモジュール（標準） ：パーツNo. 06AAL254が含まれています。 ※装着するスタイラスによっては、 スタイラスとSCR200が干渉する場合があります。 24 小型タッチトリガープローブ TP20 小型タッチトリガープローブ 外径ø13.2mmと非常にコンパクトで、入り組んだ部位へのプロービングに便利なタ ッチトリガープローブです。また、 プローブエクステンションを併用することで、深 い位置へのプロービングも可能となります。 姿勢の自動変更による段取り・測定の効率化 TP20はPH10M/PH10MQなどの姿勢を自動変更できるプローブヘッドに装着するこ とができますので、下向き固定タイプのプローブシステムと比較すると、圧倒的に 測定準備時間および測定時間が短縮できます。 （CNC三次元測定機に装着の場合） スタイラス自動交換 姿勢変更だけでは測定ができないような場合（例えば、異径スタイラスや特殊形状 スタイラスに交換しなければ測定ができないような場合）でも、 プローブモジュー ルチェンジシステムによるスタイラス自動交換で途中中断することなく全自動測定 が可能です。 さらに、 プローブチェンジシステムによる他プローブとのコラボレーシ ョンにより、様々な形状部品測定の全自動化も可能となります。 （CNC三次元測定機 に装着の場合） TP20 仕様 TP20 測定方向 繰り返し精度（2σ） 方向性（XY：2D） 方向性（XYZ：3D） XY トリガー発生力 Z XY オーバートラベル量 Z XY オーバートラベル力 最大スタイラス長さ スタイラス取付方法 単体質量 耐久性 プローブヘッド 対応機種 MCR20 （オプション） 0.75N（STANDARD FORCE） 1.9N（MEDIUM FORCE） ±14° ＋4.0mm （STANDARD FORCE） ＋3.7mm （MEDIUM FORCE） 0.2～0.3N（STANDARD FORCE） 0.2～0.4N（MEDIUM FORCE） 3.5N（STANDARD FORCE） 7N（MEDIUM FORCE） 50mm（STANDARD FORCE）※ 60mm（MEDIUM FORCE）※ M2ネジ 22g（プローブボディ13g、プローブモジュール9g） 100万回 必須 PH10M/PH10MQ/MIH/PH1 マニュアル/CNC三次元測定機 注意事項 強磁界での使用はできません。 プローブモジュール交換精度 繰返し位置決め精度1.0μm以下（自動交換時）…10mmスタイラス使用 ＊手動交換時は2.0μm以下。…50mmスタイラス使用時 プローブモジュール搭載数 最大6本 ※ スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 25 Z ±X、±Y、＋Z 0.35μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時） ±0.8μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時）、 ±2.5μm以下（50mmスタイラス時） ±1μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時）、 ±4μm以下（50mmスタイラス時） 0.08N（STANDARD FORCE）10mmスタイラス時 0.1N（MEDIUM FORCE）25mmスタイラス使用時 小型タッチトリガープローブ TP20 寸法図 ø13.2mm M8 19mm プローブ本体 10mm 3mm 19mm プローブモジュール M2X0.4 Sø4mm セット構成 【コードNo.06AAV547】 ユニット 照番 1 2 タッチトリ ガー プローブ TP20セット 06AAV547 3 4 5 6 7 8 9 名称 パーツNo. TP20本体プローブ 06AAV542 プローブモジュール［STANDARD］ 06AAV543 プローブモジュール［MEDIUM］ 06AAV544 清掃用具 06AAL256 シングルエンディドスパナ 161534 ダブルスパナ 161535 スタイラスツール 153140 取扱説明書 99MCA060J 保証書 06AAL253 数量 質量 （g） 1 1 1 1 1 2 1 1 1 13 9 9 54 5 5 1 100 1 450 仕様（用途） 1 4 2 5 7 測定力（小） 8 測定力（中） プローブモジュール清掃用 プローブ脱着用 プローブ脱着用 スタイラス脱着用 9 6 3 梱包箱を含めた総質量 ＊単品での販売ができないパーツもあります。 オプション プローブモジュール スタンダードフォースモジュール（パーツNo.06AAV543） ミディアムフォースモジュール（パーツNo.06AAV544） EM1（エクステンション付スタンダードフォースモジュール） （パーツNo.06ABQ393） EM2（エクステンション付スタンダードフォースモジュール） （パーツNo.06ABN437） エクステンションと プローブモジュール は一体となっていて、 取り外せません。 10mm 50mm 100mm プローブモジュール自動交換装置 MCR20 200mm ユニット MCR20 セット パーツNo. 06AAV546 数量 1 質量(Kg) 付属品 1.3 付属品 ・ø2×30mmスタイラス 1 ・プローブモジュール 2 （スタンダードフォース） ・マウンティングキット 1 15mm 60mm 145mm 55mm 26 マニュアルプローブヘッド付タッチトリガープローブ MH20i マニュアルプローブヘッド付き小型タッチトリガープローブ プローブモジュール部は外形ø13.2mmと非常にコンパクトで、入り組んだ部 位へのプロービングに便利なマニュアル（手動式） プローブヘッド付タッチト リガープローブです。 また、50mmおよび70mmのエクステンション付きプロー ブモジュールも用意されています。 姿勢の位置決めが可能 MH20iのプローブヘッド部は、手動で姿勢（方向）変更を行うことができるとと もに、168姿勢への位置決め（位置決め再現精度σ≦1.5μm）が可能な構造 になっています。姿勢変更を繰り返し必要とする複雑な立体形状測定の場合 には、予め必要姿勢を登録しておけば、姿勢変更による再キャリブレーション が不要となり、測定効率の向上が図れます。 MH20i 仕様 MH20i ±X、±Y、＋Z 測定方向 姿勢範囲 手動 A軸（縦方向）：0～90°（15°ピッチ）、 B軸（水平方向）：±180°（15°ピッチ） 繰返し位置決め精度 σ≦1.5μm 繰り返し精度（2σ） 0.35μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時） 方向性（XY：2D） ±0.8μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時）、 ±2.5μm以下（50mmスタイラス時） 方向性（XYZ：3D） XY トリガー発生力 Z XY オーバートラベル量 Z XY オーバートラベル力 最大スタイラス長さ スタイラス取付方法 耐久性 250g 100万回 プローブ単体質量 プローブヘッド 不要 対応機種 マニュアル/CNC三次元測定機 注意事項 強磁界での使用はできません。 ※ スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 27 Z ±1μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時）、 ±4μm以下（50mmスタイラス時） 0.08N（STANDARD FORCE）10mmスタイラス時 0.1N（MEDIUM FORCE）25mmスタイラス使用時 0.75N（STANDARD FORCE） 1.9N（MEDIUM FORCE） ±14° ＋4.0mm （STANDARD FORCE） ＋3.7mm （MEDIUM FORCE） 0.2～0.3N（STANDARD FORCE） 0.2～0.4N（MEDIUM FORCE） 3.5N（STANDARD FORCE） 7N（MEDIUM FORCE） 10N（EXTENDED FORCE） 50mm（STANDARD FORCE）※ 60mm（MEDIUM FORCE）※ M2ネジ マニュアルプローブヘッド付タッチトリガープローブ MH20i 寸法図 ø14mm 10mm 19.5mm 77mm 53mm ø48mm プローブモジュール 5.7mm セット構成 ユニット MH20i単体 コードNo. 06ABN436 MH20iセット コードNo. 06ABN470 照番 1 2 3 4 5 6 7 8 9 名称 位置決めシャンク パーツNo. 06ABN469 06AAV543 06AAL256 153140 160589 スタイラス — 六角棒スパナ（2mm） 06AAA943 06AAA944 99MCA265J MH20i プローブモジュール 清掃用具 MS2-スタイラスツール 六角棒スパナ（3mm） 取扱説明書 数量 質量（g） 1 1 1 1 1 1 1 1 1 0.25 0.01 0.05 0.003 0.15 0.001 0.001 0.001 0.1 備考 STANDARD TYPE スタイラスモジュール清掃用 スタイラス脱着用 ø４×10（標準スタイラス） ＊単品での販売ができないパーツもあります。 5 7 3 8 1 4 2 9 6 オプション スタイラスモジュール スタンダードフォースモジュール（パーツNo.06AAV543） ミディアムフォースモジュール（パーツNo.06AAV544） EM1（エクステンション付スタンダードフォースモジュール） （パーツNo.06ABQ393） EM2（エクステンション付スタンダードフォースモジュール） （パーツNo.06ABN437） エクステンションと プローブモジュール は一体となっていて、 取り外せません。 10mm 50mm 100mm 28 マニュアルプローブヘッド付タッチトリガープローブ MH20 マニュアルプローブヘッド付き小型タッチトリガープローブ マニュアル三次元測定機用のマニュアル（手動式） プローブヘッド付きタッチ トリガープローブです。 プローブモジュール部は外形 ø13.2mmと非常にコン パクトで、入り組んだ部位へのプロービングに便利です。また、50mmおよび 70mmのエクステンション付きプローブモジュールも用意されています。 姿勢変更 手動による任意方向への姿勢変更ができます。 （右側のつまみを緩めて姿勢 変更をした後、つまみを締めるだけです。姿勢変更のために、六角レンチなど の工具は必要ありません。 ） MH20 仕様 MH20 測定方向 ±X、±Y、＋Z 姿勢範囲 耐久性 手動 A軸（縦方向）：±93°、B軸（水平方向）：±300°任意位置固定 0.35μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時） ±0.8μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時）、 ±2.5μm以下（50mmスタイラス時） ±1μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時）、 ±4μm以下（50mmスタイラス時） 0.08N（STANDARD FORCE）10mmスタイラス時 0.1N（MEDIUM FORCE）25mmスタイラス使用時 0.75N（STANDARD FORCE） 1.9N（MEDIUM FORCE） XY±14° ＋4.0mm （STANDARD FORCE） ＋3.7mm （MEDIUM FORCE） 0.2～0.3N（STANDARD FORCE） 0.2～0.4N（MEDIUM FORCE） 3.5N（STANDARD FORCE） 7N（MEDIUM FORCE） 50mm（STANDARD FORCE）＊ 60mm（MEDIUM FORCE）＊ M2ネジ 22g（プローブボディ13g、プローブモジュール9g） 100万回 対応機種 マニュアル三次元測定機 注意事項 強磁界での使用はできません。 繰り返し精度 （2σ） 方向性（XY：2D） 方向性（XYZ：3D） XY トリガー発生力 Z XY オーバートラベル量 Z XY オーバートラベル力 最大スタイラス長さ スタイラス取付方法 単体質量 ＊スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 29 Z マニュアルプローブヘッド付タッチトリガープローブ MH20 寸法図 単位 : mm ø14 90 47 24 クランプ 中心 10 93º 93º プローブモジュール ±300°回転 セット構成 ユニット 品名 No. 1-1 MH20 MH20 セット 標準構成 1 セットNo. 06AAZ727 2 3 1-2 TP20 スタンダードモジュール MH20キット 1-3 スタイラス No.06AAZ726 1-4 クリーニングキット 1-5 MS2- スタイラスツール 取扱説明書 保証書 パーツNo. 06AAZ728 06AAV543 06ABN774 06AAL256 153140 99MCA205J 数量 1 1 1 1 2 1 1 質量（g） 備考 プローブヘッド本体 測定力（小） 0.3 ø4×10（標準スタイラス） プローブモジュール接合部清掃用 スタイラス取付用工具 0.1 0.01 ＊ 単品での販売ができないパーツもあります。 1-3 1-1 1-4 1-5 1-2 30 モータライズ・プローブヘッド PH10M/PH10MQ 姿勢自動変更による効率向上 先端に取りつけたプローブ姿勢を自動制御することができるプローブヘッド です。 （姿勢変更は、手動時は付属のコントロールボックスか、 ソフトウェア上 で角度を指示することによって行い、その姿勢を記憶させておけば、 その姿勢 を呼び出すだけで、 自動的に姿勢変更が行われます。 ） 多面体の測定を姿勢変更ができないプローブで行う場合には、十字スタイラ スのように複数のスタイラスを取りつけて、測定物上面は下向きのスタイラ スで、側面は横向きのスタイラスで測定することになりますが、測定物が複 雑になると、他のスタイラスが干渉して目標位置へのプロービングができな くなる場合が少なくありません。 また、指定角度でスタイラスを取りつけたい 場合なども姿勢変更ができないと、かなり面倒な作業となってしまいます。更 に、姿勢自動変更はスタイラス自動交換よりも圧倒的に短時間での測定が可 能となり、三次元測定機による測定のトータル工数の大幅な効率化が可能に なります。 720 姿勢への高精度位置決め PH10M/PH10MQは、最大720方向への姿勢変更ができますので、1本のスタイ ラスで 720 本のスタイラスを付けているのと同じ仕事ができることになりま す。 また、同一姿勢への再現性が2σ≦0.5μmと高いため、繰り返し同一姿勢 を呼び出して測定をするような場合でも、再キャリブレーションを行う必要が ありません。 各種プローブ搭載が可能 先端には、 タッチトリガープローブだけでなく、 スキャニングプローブ、画像プ ローブ、 レーザプローブ、ねじ有効深さ測定プローブなどの様々なプローブを 搭載することができます。 また、それらのプローブはプローブチェンジャー（オプション）による自動交換 も可能ですので、非常に幅広い測定対象において全自動測定を実行すること ができます。 ＊プローブ自動交換においては、未対応のプローブもありますので、 ご注意ください。 PH10M/PH10MQ 仕様 PH10M/PH10MQ 姿勢範囲 水平方向 ±180°（7.5°ピッチ 48ポジション） 0～105°（7.5°ピッチ 15ポジション） 2σ≦0.4μm（PAA1＋TP20＋L10mmスタイラス装着時） PEM1、PEM2、PEM3、PAA1、PAA2、PAA3 エクステンションの複数連結使用はできません。ただし、 PAA＋PECF1、PAA1＋PECF2、PAA1＋PECF3 垂直方向 繰返し位置決め精度 エクステンション の使用は可能です。 対応機種 耐久性 31 SurfaceMeasure606/TDS-H/QVPについては、エクステンションの使用はできません。 CNC三次元測定機 100万回 モータライズ・プローブヘッド PH10M/PH10MQ PH10M寸法図 PH10MQ寸法図 73mm 62mm ø14mm 38mm 38mm 73mm 130mm PH10MQアダプタ 80mm オートジョイント オートジョイント部 エクステンション 符号 パーツNo. 外観図 備考欄 32mm PAA1 909460 PECF1 06ABM152 PECF2 06ABM153 PECF3 06ABM154 TP200/TP20用 ※プローブヘッド装着後全長 30mm となります。 50mm TP200/TP20用 100mm TP200/TP20用 200mm TP200/TP20用 300mm PAA3 916147 PEM1 916495 PEM2 916496 PEM3 916497 TP200/TP20用 50mm SP25M/TP7M用 100mm SP25M/TP7M用 200mm TP7M用 セット構成 名称 No. 1 PH10M ヘッド セット ※ ジョイントキーS10 174748 908756 06AAA943 06AAA944 六角棒スパナ 呼び1.5 六角棒スパナ 呼び2 六角棒スパナ 呼び2.5 2 3 4 5 6 パーツNo. PH10Mヘッド PH10MQヘッド PH10MQ ジョイントキーS10 ヘッド 六角棒スパナ 呼び1.5 セット 六角棒スパナ 呼び2 HCU-1 PHC10-2（RS232C） PAA1 取扱説明書 ※ 174748 908756 06AAA944 06AAN820 06AAR547 909460 99MCA034 数量 備考 1 1 1 2 1 1 1 1 1 1 質量（g） 2 2.0 2.0 プローブヘッド位置決め用コントローラ 測定機側CPUとのインターフェイス 動作エラー表示 TP200をPH10Mに装着する為のアダプタ PH10Mヘッド用取扱説明書 0.8 2.2 0.06 0.1 3 4 5 ＊ 単品での販売ができないパーツもあります。 ※ 搭載する本体や装着するプローブによってパーツ No. は異なります。また、追加になるパーツ類もあります。 6 32 マニュアルプローブヘッド MIH 720 姿勢への高精度位置決め MIHは、手動で720姿勢（方向）への位置決めを行うことができます。繰り返し 位置決め精度もσ≦1.5μmと高いため、姿勢変更を繰り返し必要とする複雑 な立体形状測定の場合には、予め必要姿勢を登録しておけば、姿勢変更によ る再キャリブレーションが不要となり、測定効率の向上が図れます。MIH本体 の液晶表示で、現在位置を確認することもできます。 最大 300mm のプローブエクステンション MIHには、最大300mmのプローブエクステンションを搭載することができま す。例えば、TP2-5W＋50mmスタイラスを組み合わせると、約400mmの長さま でプローブ到達位置を伸ばすことができます。 MIH 仕様 MIH 姿勢範囲 ±180°（7.5°ピッチ 48ポジション） 垂直方向 0～105°（7.5°ピッチ 15ポジション） 繰返し位置決め精度 σ≦1.5μm 搭載プローブ TP200※、TP20、TP2-5W エクステンション PECF1、PECF2、PECF3 対応機種 マニュアル三次元測定機 ※別途インターフェース （PI200）が必要です。 33 水平方向 マニュアルプローブヘッド MIH 寸法図 76.5mm 111mm ø14mm オートジョイント部 ø62mm セット構成 名称 No. パーツNo. 質量（kg） 数量 備考 移動角度：水平方向（B軸）±180°（7.5°飛び48ヶ所） 垂直方向（A軸）0～105°（7.5°飛び15ヶ所） 1-1 MIHヘッド 1 繰返位置決精度（σ）：1.5μm （同上） MIH ヘッドキット 1-2 ジョイントキーS10 セット 六角棒スパナ 呼び2 174748 — 1-3 電池PX28L 1-4 MIH用木箱 PAA1 — — 909460 161534 161535 160589 シングルエンディッドスパナ ダブルスパナ 位置決めシャンク 1.5 — 六角棒スパナ 呼び2.5 2 3 4 5 6 7 （PAA1＋TP2-5W＋スタイラスø3＋EWL7.5 取付時） 空間位置決精度：0.3mm 1 — 保証書 取扱説明書 ＊単品での販売ができないパーツもあります。 ※標準付属品ではありません。お客様にてご用意ください。 0.06 0.01 0.005 0.14 0.001 0.05 質量：約730g 1 1 1 2 1 1 1 1 1 1 1 プローブ取付用 位置決めブロック調整、電池交換用 シャンク取付用 6Vリチウム電池（Duracell製） 互換電池 4SR44（Panasonic製）※ MIHとプローブを接続するアダプタ 長さ32mm TP2、エクステンション締め付け用 TP2、エクステンション締め付け用 MIHヘッドに取付（ミツトヨ製） 1-1 1-2 1-3 1-4 2 3 4 オプション プローブエクステンション 符号 パーツNo. 外観図 50mm PECF1 06ABM152 100mm PECF2 06ABM153 200mm PECF3 06ABM154 34 マニュアルプローブヘッド PH1 マニュアルプローブヘッド TP200/TP20用のマニュアルプローブヘッドです。 姿勢変更 取りつけたプローブを手動で任意の方向に姿勢変更させることができます。 エクステンション 最大200mmのプローブエクステンションを挿入することができます。 PH1 仕様 PH1 姿勢範囲 360°（15°ピッチ） ø14mmシャンク部ごと回転させれば無段階 垂直方向 ±115°無段階 搭載プローブ TP200、TP20 エクステンション PECF1、PECF2、PECF3 対応機種 マニュアル・CNC三次元測定機 が必要です。 ※別途インターフェース （PI200） 35 水平方向 マニュアルプローブヘッド PH1 寸法図 単位 : mm ø15 50 36 ø41 17 M8 30 48 ø30 オプション エクステンション 符号 パーツNo. 外観図 50mm PECF1 06ABM152 PECF2 06ABM153 PECF3 06ABM154 ø41mm ø14mm 100mm 50mm 36mm 200mm M8 ø30mm PECF3 接続例 36 高速5軸制御スキャニングヘッド REVO-2 超高速5軸スキャニング 最大500mm/sの超高速スキャニングが可能です。 また三次元測定機のX,Y,Zの 3軸、REVO-2のA,Bの2軸、合計5軸同時制御でのスキャニングが可能で複雑な ワークに対する一括スキャニングが可能です。 またREVO-2特有のさまざまな測定動作をサポートしています。 ロータリーエンコーダを使用することで無限の角度位置決めが可能です（分 解能=0.08秒）。 これにより複雑なワークへのアクセスも容易になり、 プログラ ミング時間、測定時間の短縮につながります。 REVO-2は専用の三次元測定機システムCRYSTA-Apex EX 1200Rシリーズでの み使用可能なプローブとなります。 REVO-2 仕様 REVO-2 姿勢範囲（角度ピッチ） 垂直方向（A軸） 5° ～+120（ °0.08秒） 水平方向（B軸） ∞ （0.08秒） 500㎜（プローブ回転中心からスタイラス先端までの距離）※ 最大スタイラス長さ ※スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 5軸制御タッチトリガーシステム PH20 自由な姿勢で複雑形状のワークを効率よく測定 あらゆる角度への位置決めが可能 で、ヘッドタッチによる測定ができます。 あ らゆる傾斜面の測定や間口が狭く奥が広い穴の測定などにも有効です。深穴 測定時のスタイラスシャンク部の干渉の心配もありません。 5軸動作により角度変更の時間を縮小し、ヘッドタッチによる高速測定を実現 します。 TP20の標準モジュールを使用しモジュール チェンジャーにも対応しています。 ワークがなくても3D CADデータがあれば、 PC上で測定プログラムを作成できます。ジ ョイスティックによる作成よりも効率よくか つ、干渉チェックも可能となります。 P H 2 0 は 専 用 の 三 次 元 測 定 機 シス テ ム CRYSTA-Apex EX Tシリーズでのみ使用可能 なプローブとなります。 PH20 仕様 PH20 姿勢範囲（角度ピッチ） 垂直方向（A軸） －115º～＋115º （0.08秒） 水平方向（B軸） ∞ （0.08秒） 最大スタイラス長さ ※スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 37 50mm※ オートプローブチェンジャー ACR3 プローブ自動交換の必要性 ACR3は、PH10M/PH10MQ用のオートプローブチェンジャーです。スタイラス自 動交換ができないプローブにおいて、 スタイラス径や長さを変えながら全自 動させたい時や、接触式プローブと非接触プローブを交換しながら全自動測 定を行いたいような場合に必要です。 ロック 解除 構造の簡素化 従来のプローブ自動交換装置は、ロックのON/OFFを行うためのモータを内蔵 していたため、高価であった上、耐久性にも課題がありました。ACR3は、CNC 三次元測定機の駆動を利用して自動交換させるという新機構を採用したた め構造が簡素化され、耐久性も向上しました。 ロック 寸法図 単位 : mm 610 147 185 88.7 333 106 フリー ロック UNLOCKED LOCKED 16 CENTER POSITION セット構成 ユニット ACR3 4ポートシステム ［06AED123］ ACR3 8ポートシステム ［06AED124］ No. 1 2 3 4 5 6 1 2 3 4 5 6 品名 パーツNo. 数量 質量（kg） 06ABN438 1 1.5 06ABN607 1 3.5 補助板 06ABG598 1 8 ACR3取付ネジ 06ABP467 1 0.05 取扱説明書 99MCA273J 1 0.1 制御ROM 1 0.01 ACR3 06ABN438 2 1.5 MRS KIT2 06ABN607 1 3.5 補助板 06ABG598 1 8 ACR3取付ネジ 06ABP467 1 0.05 取扱説明書 99MCA273J 1 0.1 制御ROM 1 0.01 ACR3 MRS KIT2 備考 4ポートラック 1 2 3 4 ラックベース 固定用補助板 取付用部品 日本語版 ACR3対応 4ポートラック ラックベース 固定用補助板 取付用部品 日本語版 ACR3対応 ＊ 単品での販売ができないパーツもあります。 38 スタイラスの豆知識 より正確で高精度な測定をする為にはスタイラスが非常に重要な要素となります。 ここではスタイラスを選定いただく際のヒントとなる 豆知識をご紹介致します。 スタイラスとは、測定物に接触する測定子のことを指し、一般的に軸とボールで構成されております。 スタイラスを測定物と接触させ ることでプローブが機能し、 このとき生じる信号により測定値を取得します。測定物によって使用するスタイラスの形状や寸法を選択 することになりますが、 どのような場合もスタイラスが高い剛性を持つこと、および先端形状が完全な球形であることが重要なポイン トとなります。 ■スタイラスの選定 より高精度な測定をしていただくため、 スタイラスの選定におかれましては下記の事項を基準にお選びいただくことを推奨致します。 1. スタイラス長はできるだけ短くする スタイラスの曲がりやたわみが大きいほど精度は悪くなります。 どのようなアプリケーションでも、出来るだけ短いスタイラスでの 測定をお勧め致します。 2. 結合部を出来るだけ少なくする スタイラスを組み合わせたり、エクステンションを組み合わせることで、たわみが発生する可能性が高まります。 アプリケーションに 対して最小限のパーツを使用する事をお勧め致します。 3. 出来るだけ大きなボールを使用する より大きなボールを使用する事により、ボールと軸とのクリアランスが広がり測定物に対し軸が干渉することを低減することが出来 ます。 また、測定物の表面仕上げへの影響も少なくなります。 ■スタイラスの素材 スタイラスには用途にあわせ、軸、ボール、その他付属品に対し、最適な材質を使用しております。 ここでは主に使用されている材質の 特徴、 メリットをご紹介致します。 1. 軸 スタイラスのたわみを抑えるには、軸の剛性を出来る限り強くする必要があります。 ミツトヨでは下記の材質の物をご用意致してお ります。 ■ 超硬 小さな軸径のスタイラスで優れた剛性を発揮し、ほとんどの標準的な用途に最適です。大きな軸径及び、長いスタイラス では重量に注意する必要があります。 39 ■ スチール 剛性に優れ、重量が問題にならないような場合に標準的に用いられます。 ■ セラミック 軽い素材の為、主にスタイラスで用いられます。熱安定性に優れ、温度環境に左右されず精度の高い測定が可能です。 ■ カーボンファイバ カーボンファイバスタイラスは超硬スタイラスの20％程度の重量である為、長いスタイラスに適した材質です。熱安定性 にも優れ、使用環境に左右されずご使用いただけます。 また、測定物の表面仕上げへの影響も少なくなります。 2. ボール スタイラス球の材質を選ぶ際には測定方法とワークの素材を考慮する必要があります。 ■ ルビー ルビーボールは表面が特に滑らかで、圧縮強度が強く、機械払拭に対して優れた特性を有しています。 多くの測定物に対し、ボールの材質として最適ですが、 アルミニウム、鋳鉄に対してはスキャニング測定時に摩耗が発生する ことがある為、その場合には下記の素材のボールのご使用をお勧め致します。 ■ 窒化珪素 ルビーに類似した特性を有し、硬度が非常に高く摩耗に強いセラミック材です。窒化珪素はアルミニウムと融合しない為、ル ビーのような凝着摩耗が発生しません。 しかし、 スチール面に対しては摩耗が顕著となる為、窒化珪素の使用はアルミニウム に限定することをお勧めします。 ■ ジルコニア ジルコニアは特に優れた硬度を誇るセラミック材でルビーに匹敵する硬度と摩耗特性を有します。ジルコニアは表面の特 質により、鋳鉄備品のスキャニングに最適です。 ■スタイラスのキャリブレーション 測定物に対し適切なスタイラスを選定いただいても、測定の前に使用するプローブのキャリブレーションを行わなければ正確な測定 結果を得ることはできません。 キャリブレーションで得たボールの直径値と位置情報を三次元測定機のソフトウエアに登録することで初めてスタイラスがその性能 を発揮します。 ■ キャリブレーションのメカニズム 専用のプローブキャリブレーションプログラムを用いて、 それぞれのボールスタイラス球の中心位置と直径を計算します。 構成するスタイラス球で基準球を測定し、 スタイラス球の真の直径を求め、測定機のソフトウエアに登録します。通常、基準球には 直径の値付けされた精密な球を使用し、キャリブレーションされた球の値を、計測ソフトウエアに入力します。あらゆる方向の測定 をする場合、基準球のいくつかの点を用いてスタイラスの校正をします。 スキャニングシステムでは非常に多くの点を取得する必 要があります。 これらの手順を踏むことにより、 スタイラス球の補正された有効直径と機械の座標に対するスタイラス球の中心位置 が設定され、正確な測定を行うことが可能になります。 ■スタイラスに関する注意事項 ■ スタイラスの長さ、重さ、ならびに三次元測定機本体の駆動速度や加速度によっては誤入力の可能性がありますのでご使用の際は ご注意ください。 ■ ディスクスタイラスは、球体の一部を用いており、エッジやアンダーカットを測定する際に使用します。 このスタイラスは、一つの直 径のみを補正するため、実際の測定はX、Y方向のみとなります。Ｚ方向の測定には使用できません。 またスタイラスチェンジャーと ■ 円筒スタイラスの使用には制限があります。 ■ 制限事項の詳細については弊社営業所にお問い合わせください。 ■ M2～M5シリーズの測定子は基本的にはそれぞれのプローブのねじサイズに合ったものをお選びください。 併用する必要があります。 変換アダプタ等を使用してねじサイズの異なる測定子を取付けることができる場合もありますが、その際には装着するプローブの 取扱説明書をご参照いただき、それぞれのプローブの仕様に合わせた測定子構成を選択してください。 また、取付け方法について 不明な部分がございましたら別途弊社営業所までお問い合わせください。 40 三次元測定機用スタイラスの品名判別方法 スタイラスの品名から、おおよそのスタイラス形状が判別できるようになっています。 （下記をご参照ください。） EWL 1 ボールスタイラスの場合 MS 2 - 0.5 R 3 C EWL：ボールに軸部分が干渉しない有効長さ 軸の材質 ミツトヨ製スタイラス C…セラミック 先端部材質 取付ネジ径 なし…その他 R …ルビー SN …窒化珪素 Z …ジルコニア 先端ボール径 有効長さ （EWL） 注：EWL以下の測定深さでもワークと干渉する場 合があります。EWLが長い、またはその径が細い スタイラスを使用すると、測定力（ワークに接触さ せる力）によるたわみによって、測定誤差が大き くなることがあります。また、強くワークに接触さ せると、スタイラスを破損させる恐れがあります ので取扱いにご注意ください。 2 円筒スタイラスの場合 MS 2 - CY 3 R 6 EWL ミツトヨ製スタイラス 有効長さ （EWL） 取付ネジ径 円筒径 先端部材質 R…ルビー H…超硬 円筒 ̶…それ以外 3 ディスク スタイラスの場合 MS 2 - DISC 12 - 2 ミツトヨ製スタイラス ディスク厚み 取付ネジ径 ディスク径 ディスク径 先端部材質 ディスク厚み R…ルビー ディスク ̶…ルビー以外 4 十字スタイラスの場合 EWL MS 2 - STAR 2 R 2.5 ミツトヨ製スタイラス 有効長さ （EWL） 取付ネジ径 ボール径 先端部材質 十字スタイラス R…ルビー ̶…ルビー以外 5 その他の場合 ①ポイントスタイラス ②エクステンション ③スタイラスナックル ④スタイラスセンタ 41 MS2-PO（先端が超硬の場合、さらにHがつきます。） MS2-EXT10（後ろの数字は長さ。軸がカーボンファイバならさらに後ろにG、 セラミックならCがつきます。 ） MS2-スタイラスナックル（スタイラスを任意の角度に曲げるためのアダプタです。） MS-スタイラスセンタ（十字方向にスタイラスを取付けることができるアダプタです。） スタイラス（取付部ネジ径：M2） 超硬 ø0.2 06ABN751 MS2-0.3R2 36,000円 2 M2X0.4 Sø0.3ルビー球 10 コードNo. 品名 標準価格 ø0.3 ø3 ø0.5 ø3 窒化珪素 ø0.7 ø3 質量 : 0.6g 超硬 M2X0.4 ジルコニア Sø1 12.5 20 質量 : 0.41g 超硬 Sø1 20.5 M2X0.4 ジルコニア 27.5 M2X0.4 06ABF409 MS2-1R37 28,000 円 Sø1 7 20 06ABN757 06AFG324 06AFG396 MS2-1R20.5 MS2-1SN20.5 MS2-1Z20.5 22,000 円 26,400 円 33,000 円 ルビー 質量 : 0.3g 超硬 M2X0.4 06ABN756 06AFG323 06AFG395 MS2-1R12.5 MS2-1SN12.5 MS2-1Z12.5 18,000 円 21,600 円 27,000 円 窒化珪素 Sø1 ø0.7 ジルコニア 4.5 10 ø0.8 ルビー 質量 : 0.3g ステンレス ø0.67 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06AFG394 MS2-1Z7 24,000 円 ルビー Sø0.7 4 M2X0.4 ジルコニア 06ABN755 06AFG322 MS2-1R7 MS2-1SN7 16,000 円 19,200 円 窒化珪素 ・通常の測定子に比較して寿命が短くなる 場合があります。 ・セラミックマスターボール （高精度タイプ） Sø10mmの使用を推奨します。 10 質量 : 0.4g Sø1ルビー球 超硬 ø0.7 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 窒化珪素 質量 : 0.3g 超硬 M2X0.4 ジルコニア 06ABN754 06AFG321 06AFG393 MS2-1R4.5 MS2-1SN4.5 MS2-1Z4.5 12,000 円 14,400 円 18,000 円 ルビー Sø0.5 10 06ABN753 06AFG392 MS2-0.7R4 MS2-0.7Z4 53,000 円 80,000 円 ルビー 3 M2X0.4 ジルコニア ø3 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 窒化珪素 ø3 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 ルビー ・通常の測定子に比較して寿命が短くなる 場合があります。 ・TP200への装着は推奨できません。 ・セラミックマスターボール （高精度タイプ） Sø10mmの使用を推奨します。 ø3 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABN752 06AFG320 06AFG391 MS2-0.5R3 MS2-0.5SN3 MS2-0.5Z3 36,000 円 60,000 円 64,000 円 質量 : 0.3g 超硬 ø3 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 ルビー 窒化珪素 ジルコニア 06ABN761 06AFG328 MS2-2R6 MS2-2SN6 12,000 円 14,400 円 06AFG400 MS2-2Z6 18,000 円 ルビー ジルコニア 窒化珪素 ø0.7 ø3 ø1 ø3 12.5 M2X0.4 ジルコニア Sø1.5 20 質量 : 0.46g 超硬 ø1 06ABN760 06AFG327 06AFG399 MS2-1.5R22.5 MS2-1.5SN22.5 MS2-1.5Z22.5 23,000 円 27,600 円 34,500 円 質量 : 0.3g 超硬 Sø1.5 22.5 M2X0.4 30 質量 : 0.58g ステンレス ø1 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 窒化珪素 Sø1.5 10 06ABN759 06AFG326 06AFG398 MS2-1.5R12.5 MS2-1.5SN12.5 MS2-1.5Z12.5 18,000 円 21,600 円 27,000 円 ルビー 4.5 M2X0.4 ジルコニア ø3 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 窒化珪素 質量 : 0.9g ステンレス ø3 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABN758 06AFG325 06AFG397 MS2-1.5R4.5 MS2-1.5SN4.5 MS2-1.5Z4.5 12,000 円 14,400 円 18,000 円 ルビー ※ ・TP200への装着はできません。 TP20への装着は 推奨できません。 37 52 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 ・測定力0.4N以下でご使用ください。 ・TP200への装着はできません。 ・直送はいたしません。 ・通常の測定子に比較して寿命が短くなる 場合があります。 ・セラミックマスターボール （高精度タイプ） Sø10mmの使用を推奨します。 ø3 コードNo. 品名 標準価格 M2X0.4 6 10 Sø2 質量 : 0.3g ※30mmより長い測定子は、軸の素材がカーボンファイバ、または、セラミックの商品をご選択ください。 42 コードNo. 品名 標準価格 窒化珪素 ø1.4 ø3 窒化珪素 窒化珪素 ø3 Sø2 22.5 30 質量 : 0.99g ※ ・TP200への装着はできません。 ø1.5 超硬 Sø2 32.5 M2X0.4 ジルコニア 40 M2X0.4 06ABF406 MS2-2R52 35,000円 質量 : 0.4g 超硬 M2X0.4 ジルコニア 06ABN764 06AFG342 06AFG403 MS2-2R32.5 MS2-2SN32.5 MS2-2Z32.5 25,000円 30,000円 37,500円 ルビー Sø2 20 ø1.5 06ABN763 06AFG330 06AFG402 MS2-2R22.5 MS2-2SN22.5 MS2-2Z22.5 23,000円 27,600円 34,500円 ルビー 14 M2X0.4 ジルコニア 質量 : 1.29g Sø2ルビー球 超硬 ø1.4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 ルビー ステンレス ø3 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABN762 06AFG329 06AFG401 MS2-2R14 MS2-2SN14 MS2-2Z14 13,000円 15,600円 19,500円 52 58 窒化珪素 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABN768 06AFG346 06AFG407 MS2-2.5R32.5 MS2-2.5SN32.5 MS2-2.5Z32.5 25,000円 30,000円 37,500円 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABN769 06AFG347 06AFG408 MS2-3R7.5 MS2-3SN7.5 MS2-3Z7.5 12,000 円 14,400 円 18,000 円 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABN771 06AFG349 06AFG410 MS2-3R27.5 MS2-3SN27.5 MS2-3Z27.5 24,000 円 28,800 円 36,000 円 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABN772 06AFG350 06AFG411 MS2-3R37.5 MS2-3SN37.5 MS2-3Z37.5 25,000 円 30,000 円 37,500 円 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABN773 06AFG351 06AFG412 MS2-3R47.5 MS2-3SN47.5 MS2-3Z47.5 30,000 円 36,000 円 45,000 円 ルビー ルビー ルビー ルビー 窒化珪素 窒化珪素 窒化珪素 窒化珪素 ø1 ø3 ø2 ø1.5 ø3 Sø3 質量 : 0.4g ステンレス Sø3 17.5 20 質量 : 0.5g 超硬 Sø3 27.5 M2X0.4 30 質量 : 1.49g ※ ・TP200への装着はできません。 超硬 37.5 M2X0.4 Sø3 40 M2X0.4 ※30mmより長い測定子は、軸の素材がカーボンファイバ、または、セラミックの商品をご選択ください。 43 ステンレス 10 M2X0.4 ジルコニア ジルコニア 質量 : 1.95g 7.5 M2X0.4 ジルコニア ジルコニア Sø2.5 32.5 40 ø1.5 06ABN770 06AFG348 06AFG409 MS2-3R17.5 MS2-3SN17.5 MS2-3Z17.5 13,000 円 15,600 円 19,500 円 ※ ・TP200への装着はできません。 超硬 M2X0.4 ジルコニア コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 質量 : 1.48g ø2 窒化珪素 ジルコニア 30 ø2 ルビー 窒化珪素 Sø2.5 22.5 M2X0.4 ジルコニア 質量 : 1.97g ※ ・TP200への装着はできません。 TP20への装着 は推奨できません。 超硬 ø2 ルビー 窒化珪素 ø3 ルビー 質量 : 0.4g 超硬 ø2 06ABN767 06AFG345 06AFG406 MS2-2.5R22.5 MS2-2.5SN22.5 MS2-2.5Z22.5 23,000円 27,600円 34,500円 Sø2.5 20 ø3 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 16.4 M2X0.4 ジルコニア ø3 窒化珪素 質量 : 0.3g ステンレス ø3 ルビー 10 ø3 06ABN766 06AFG344 06AFG405 MS2-2.5R16.4 MS2-2.5SN16.4 MS2-2.5Z16.4 13,000円 15,600円 19,500円 Sø2.5 6 M2X0.4 ジルコニア ø1.4 ルビー ステンレス ø3 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABN765 06AFG343 06AFG404 MS2-2.5R6 MS2-2.5SN6 MS2-2.5Z6 12,000円 14,400円 18,000円 質量 : 1.5g ø3 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 ※ ・TP200への装着はできません。 TP20への装着 は推奨できません。 ø3 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 47.5 50 Sø3 質量 : 2.44g M2X0.4 Sø3ルビー球 ステンレス ø3 64 68 質量 : 1.3g Sø3ルビー球 セラミック M2X0.4 68.5 83.5 06ABN776 06AFG354 06AFG415 MS2-4R30 MS2-4SN30 MS2-4Z30 23,000円 27,600円 34,500円 06ABQ341 06AFG358 06AFG419 MS2-4R50.5G MS2-4SN50.5G MS2-4Z50.5G 32,000円 38,400円 48,000円 コードNo. 品名 標準価格 06ABF404 MS2-4R68 40,000円 ø3 ø2 ø3 Sø4 質量 : 2.04g ※ ・TP200への装着はできません。 TP20への装着 は推奨できません。 超硬 50 M2X0.4 Sø4 質量 : 2.52g セラミック 50 M2X0.4 Sø4 質量 : 0.91g M2X0.4 カーボンファイバ 50.5 窒化珪素 ジルコニア 質量 : 1.0g M2X0.4 ø2 M2X0.4 質量 : 2.0g Sø4ルビー球 セラミック 98 ルビー 窒化珪素 ジルコニア 06ABN781 06AFG360 06AFG421 MS2-5R20 MS2-5SN20 MS2-5Z20 18,000円 21,600円 27,000円 ルビー 窒化珪素 ジルコニア ø2.5 ø3 M2X0.4 10 Sø5 質量 : 0.7g ø2.5 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABN780 06AFG359 06AFG420 MS2-5R10 MS2-5SN10 MS2-5Z10 16,000円 19,200円 24,000円 質量 : 2.5g ステンレス 超硬 ø3 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 ・TP200への装着はできません。 TP20への装着は 推奨できません。 ø3 06ABF410 MS2-4R98C 45,000円 ※ ・TP200への装着はできまん。 TP20への装着は 推奨できません。 Sø4ルビー球 ステンレス 68 コードNo. 品名 標準価格 Sø4 ø3 ルビー 窒化珪素 ジルコニア ø2 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 ルビー ※ ・TP200への装着はできません。 40 M2X0.4 ø2 06ABN779 06AFG357 06AFG418 MS2-4R50C MS2-4SN50C MS2-4Z50C 30,000円 36,000円 45,000円 窒化珪素 ジルコニア 質量 : 1.57g 超硬 ø2 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 ルビー Sø4 ø3 06ABN778 06AFG356 06AFG417 MS2-4R50 MS2-4SN50 MS2-4Z50 30,000円 36,000円 45,000円 窒化珪素 ジルコニア 30 M2X0.4 ø3 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 ルビー 超硬 ø3 06ABN777 06AFG355 06AFG416 MS2-4R40 MS2-4SN40 MS2-4Z40 25,000円 30,000円 37,500円 Sø4 質量 : 0.6g 窒化珪素 ジルコニア コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 20 M2X0.4 窒化珪素 ジルコニア ø3 ルビー 質量 : 0.4g ステンレス ø1.5 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 ルビー Sø4 ø3 06ABN775 06AFG353 06AFG414 MS2-4R20 MS2-4SN20 MS2-4Z20 16,000円 19,200円 24,000円 10 M2X0.4 窒化珪素 ジルコニア コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 質量 : 1.6g ステンレス ø1.5 06ABN774 06AFG352 06AFG413 MS2-4R10 MS2-4SN10 MS2-4Z10 14,000円 16,800円 21,000円 ルビー ・TP200への装着はできません。 TP20への装着は 推奨できません。 ø3 ø2 コードNo. 06ABF405 品名 MS2-3R68.5C 標準価格 44,000 円 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 ※ ・TP200への装着はできません。 TP20への装着 は推奨できません。 ø1.5 コードNo. 06ABF402 品名 MS2-3R64 標準価格 38,000 円 M2X0.4 20 Sø5 質量 : 1.98g ※30mmより長い測定子は、軸の素材がカーボンファイバ、または、セラミックの商品をご選択ください。 44 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABN783 06AFG362 06AFG423 MS2-5R40 MS2-5SN40 MS2-5Z40 26,000円 31,200円 39,000円 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABN784 06AFG363 06AFG424 MS2-5R50 MS2-5SN50 MS2-5Z50 31,000円 37,200円 46,500円 窒化珪素 ジルコニア 質量 : 2.57g ø2.5 ø3 質量 : 3.17g ø2.5 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABQ342 06AFG365 06AFG426 MS2-5R50.5G MS2-5SN50.5G MS2-5Z50.5G 33,000円 39,600円 49,500円 M2X0.4 コードNo. 品名 標準価格 06ABF411 MS2-5R97.5C 48,000円 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 ø3 ø3 50.5 質量 : 1.1g ・TP200への装着はできません。 TP20への装着は 推奨できません。 ø3 97.5 M2X0.4 窒化珪素 ジルコニア 窒化珪素 ジルコニア 10 Sø6 質量 : 0.9g M2X0.4 Sø6 ø3 カーボンファイバ 窒化珪素 ジルコニア 06ABN788 06AFG368 06AFG429 MS2-8R11 MS2-8SN11 MS2-8Z11 23,000円 27,600円 34,500円 ステンレス ø3 ø2.5 Sø5ルビー球 質量 : 2.1g 50.5 質量 : 1.2g ステンレス M2X0.4 ※30mmより長い測定子は、軸の素材がカーボンファイバ、または、セラミックの商品をご選択ください。 45 ・TP20への装着は推奨できません。 Sø5 セラミック 06ABN787 06AFG367 06AFG428 MS2-6R50.5G MS2-6SN50.5G MS2-6Z50.5G 34,000円 40,800円 51,000円 ルビー Sø5 カーボンファイバ 窒化珪素 ジルコニア 06ABN786 06AFG366 06AFG427 MS2-6R10 MS2-6SN10 MS2-6Z10 18,000円 21,600円 27,000円 ルビー 50 質量 : 1.0g M2X0.4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 セラミック ø2.5 M2X0.4 ルビー Sø5 質量 : 3.75g 窒化珪素 ジルコニア コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 ※ ・TP200への装着はできません。 TP20への装着 は推奨できません。 超硬 50 M2X0.4 06ABN785 06AFG364 06AFG425 MS2-5R50C MS2-5SN50C MS2-5Z50C 31,000円 37,200円 46,500円 ルビー Sø5 40 M2X0.4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 ルビー ※ ・TP200への装着はできません。 超硬 ø2.5 ルビー 窒化珪素 ジルコニア Sø5 ø3 ルビー 30 M2X0.4 窒化珪素 ジルコニア ø3 ルビー 超硬 ø2.5 06ABN782 06AFG361 06AFG422 MS2-5R30 MS2-5SN30 MS2-5Z30 24,000円 28,800円 36,000円 ø3 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 11 Sø8 質量 : 1.5g ・TP20への装着は推奨できません。 スタイラス（取付部ネジ径：M2） 18.05 ・TP200への装着はできません。TP20への装着は 推奨できません。 13.05 3 カーボンファイバ .05 ø19 ") (3/4 ø3 コードNo. 135399 品名 MS2-19.05C 3/4inch 標準価格 25,000円 M2X0.4 2.2 0.4 ø4 M2X0.4 11 コードNo. 160225 品名 MS2-18C 標準価格 74,000円 質量 : 4.4g ø18 ø18 質量 : 3.3g セラミック 10 M2X0.4 2.5 5 7.5 3 Sø1ルビー球 ø0.67 コードNo. 06ABN795 品名 MS2-STAR1R2.5 標準価格 45,000円 M2X0.4 ø3 5.5 M2X0.4 5.25 10.7 18 ø2 Sø2ルビー球 ø1.4 コードNo. 06ABN796 品名 MS2-STAR2R5.25 標準価格 50,000円 質量 : 0.5g 18 質量 : 1.3g 5.5 M2X0.4 10.75 10.7 18 ø2 Sø2ルビー球 ø1.4 コードNo. 06ABN797 品名 MS2-STAR2R10.75 標準価格 60,000円 30 質量 : 1.8g ・使用には制限がありますのでご了承ください。 詳細は弊社営業所にお問い合わせください。 ø1 ø1.5 ステンレス ø3 コードNo. 06ABN789 品名 MS2-CY1.5-1.7 標準価格 16,000円 1.7 M2X0.4 質量 : 0.3g ・使用には制限がありますのでご了承ください。 詳細は弊社営業所にお問い合わせください。 ø3 ø1.5 ステンレス ø3 コードNo. 06ABN790 品名 MS2-CY3-4 標準価格 16,000円 11 4 M2X0.4 13 質量 : 0.6g ・使用には制限がありますのでご了承ください。 詳細は弊社営業所にお問い合わせください。 ルビー Sø1 ø3 コードNo. 06ABN791 品名 MS2-CY1R7.5 標準価格 70,000円 7.5 M2X0.4 14.5 質量 : 0.3g ø1.5 ルビー ・使用には制限がありますのでご了承ください。 詳細は弊社営業所にお問い合わせください。 Sø2 ø3 コードNo. 06ABN792 品名 MS2-CY2R6.5 標準価格 45,000円 6.5 M2X0.4 20 質量 : 0.5g 46 超硬 Sø2 ※ ・TP200 への装着は推奨できません。 ・使用には制限がありますのでご了承ください。 詳細は弊社営業所にお問い合わせください。 ø3 コードNo. 06ABN793 品名 MS2-CY2H31 標準価格 25,000円 31 39 M2X0.4 質量 : 2.0g ・使用には制限がありますのでご了承ください。 詳細は弊社営業所にお問い合わせください。 ø2 ルビー Sø4 ø3 コードNo. 06ABN794 品名 MS2-CY4R8.5 標準価格 55,000円 M2X0.4 8.5 20 質量 : 0.9g コードNo. 06ABN799 品名 MS2-PO 標準価格 15,000円 ø3 鋼 M2X0.4 15 質量 : 0.7g コードNo. 06ABN800 品名 MS2-PO-H 標準価格 55,000円 1 R0. M2X0.4 ø1.4 ø3 超硬 10 質量 : 0.7g ø2 Sø6 ル 2 1.2 M2X0.4 質量 : 0.6g ・使用には制限がありますのでご了承ください。 詳細は弊社営業所にお問い合わせください。 8.2 1.5 ø18 ステンレス ø3 コードNo. 06AAL516 品名 MS2-DISC18-2.5 標準価格 21,000円 ・使用には制限がありますのでご了承ください。 詳細は弊社営業所にお問い合わせください。 ビ ー 10 ø3 コードNo. 160214 品名 MS2-DISC6R-2 標準価格 21,000円 M2X0.4 2.5 質量 : 3.0g ・使用には制限がありますのでご了承ください。 詳細は弊社営業所にお問い合わせください。 2.6 コードNo. 160215 品名 MS2-DISC18-3 標準価格 21,000円 ø18 2.2 M2X0.4 3 ・使用には制限がありますのでご了承ください。 詳細は弊社営業所にお問い合わせください。 1.5 ø25 ステンレス ø3 コードNo. 06AAL517 品名 MS2-DISC25-2.5 標準価格 34,000円 質量 : 2.7g 8.2 M2X0.4 2.5 質量 : 4.0g 2.5 コードNo. 160226 品名 MS2-DISC25-3 標準価格 30,000円 ・使用には制限がありますのでご了承ください。 詳細は弊社営業所にお問い合わせください。 ø25 3 M2X0.4 質量 : 3.8g ※30mmより長い測定子は、軸の素材がカーボンファイバ、または、セラミックの商品をご選択ください。 47 スタイラス（取付部ネジ径：M2） コードNo. 06ABP853 品名 MS2-EXT5 標準価格 5,200円 ø3 ステンレス M2X0.4 5 M2X0.4 質量 : 0.2g コードNo. 06ABN804 品名 MS2-EXT10 標準価格 5,200円 ø3 ステンレス M2X0.4 M2X0.4 10 質量 : 0.4g コードNo. 06ABN805 品名 MS2-EXT20 標準価格 5,200円 ø3 ステンレス 20 M2X0.4 M2X0.4 質量 : 0.9g コードNo. 908884 品名 MS2-EXT20C 標準価格 10,000円 ø3 セラミック 20 M2X0.4 M2X0.4 質量 : 0.7g コードNo. 06ABN806 品名 MS2-EXT30 標準価格 6,200円 ø3 ステンレス 30 M2X0.4 M2X0.4 質量 : 1.4g コードNo. 06ABN807 品名 MS2-EXT40 標準価格 7,000円 ø3 ステンレス M2X0.4 40 M2X0.4 質量 : 1.8g コードNo. 908885 品名 MS2-EXT40C 標準価格 12,000円 ø3 セラミック M2X0.4 40 M2X0.4 質量 : 1.0g 40 M2X0.4 質量 : 0.9g ・TP200用 ・ スタイラスの取 付けにはカーボンエクステン ション用取付工具が必要です （P60参照） ø3 カーボンファイバ 11.55 ø3.55 M2X0.4 コードNo. 06AAL258 品名 MS2-EXT50G 標準価格 24,000円 ・TP200用 ・ スタイラスの取 付けにはカーボンエクステン ション用取付工具が必要です （P60参照） ø3 カーボンファイバ ø3.55 コードNo. 06AAL257 品名 MS2-EXT40G 標準価格 23,000円 M2X0.4 50 11.55 M2X0.4 質量 : 1.0g 48 セラミック ø3 コードNo. 908886 品名 MS2-EXT60C 標準価格 13,000円 60 M2X0.4 M2X0.4 質量 : 1.3g ・TP200 への装着は推奨できません。 ・その他のプローブでも垂直方向での使用を推 奨します。 ・スタイラスの取 付けにはカー ボンエクステン ション用取付工具が必要です （P60参照） ø3.55 カーボンファイバ ø3 コードNo. 06ABN809 品名 MS2-EXT70G 標準価格 25,000円 11.55 70 M2X0.4 質量 : 1.3g コードNo. 153142 品名 MS2-スタイラスナックル 標準価格 25,000円 4.5 ・スタイラスを任 意の角 度に曲げるためのアダ プタです。 M2X0.4 8 ステンレス M2X0.4 ステンレス 質量 : 1.6g ・スタイラスを任 意の角 度に曲げるためのアダ プタです。 M2 鋼 M2 ステンレス 3 4 コードNo. 06AFA210 品名 MS2-スタイラスナックルロータリー 標準価格 12,000円 6 16.5 7 ・ 5方向にスタイラスを取付けるためのアダプタ です。 M2X0.4 6 ステンレス 7.5 コードNo. 06ABN812 品名 MS2-スタイラスセンタ 標準価格 20,000円 4-M2X0.4 M2X0.4 質量 : 0.8g コードNo. 06ABN813 品名 MS2-M3 メス - アダプタ 標準価格 5,000円 ø4 ステンレス M2X0.4 7 M3X0.5 質量 : 0.4g 49 ・スタイラス取 付 部ねじがM2のプローブにM3 ねじのスタイラスを取付けるためのアダプタで す。 M2 M3 スタイラス（取付部ネジ径：M3） ・測定力の 0.4N 以下でご使用ください。 06ABN816 06AFG369 06AFG430 MS3-0.5R2 MS3-0.5SN2 MS3-0.5Z2 30,000円 60,000円 64,000円 ルビー 窒化珪素 ジルコニア 2 06ABN817 06AFG370 06AFG431 MS3-1R4 MS3-1SN4 MS3-1Z4 12,000円 14,400円 18,000円 ルビー 06ABN816 20 06AFG369 21 06AFG430 21 超硬 A M3X0.5 ・セラミックマスターボール （高精度タイプ） Sø10mmの使用を推奨します。 質量 : 1.0g Sø1 ø0.7 ステンレス ø4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 コードNo.（ A ） ・通常の測定子に比較して寿命が短くなる mm 場合があります。 Sø0.5 ø0.35 M3X0.5 ø4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 窒化珪素 ジルコニア 4 21 M3X0.5 超硬 Sø1ルビー球 ø4 ø0.8 コードNo. 06ABF414 品名 MS3-1R12 標準価格 36,000円 質量 : 1.0g 12 22 超硬 Sø1ルビー球 ø4 M3X0.5 ø0.8 コードNo. 06ABF412 品名 MS3-1R25 標準価格 40,000円 質量 : 1.0g 25 32 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABN819 06AFG372 06AFG433 MS3-1.5R22.5 MS3-1.5SN22.5 MS3-1.5Z22.5 23,000円 27,600円 34,500円 ルビー Sø1.5 超硬 窒化珪素 ジルコニア 12.5 質量 : 0.8g 20 M3X0.5 Sø1.5 ø1 超硬 ø4 ルビー M3X0.5 ø1 06ABN818 06AFG371 06AFG432 MS3-1.5R12.5 MS3-1.5SN12.5 MS3-1.5Z12.5 18,000円 21,600円 27,000円 ø4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 質量 : 0.9g 窒化珪素 ジルコニア 22.5 30 M3X0.5 ルビー Sø2 ステンレス ø1.4 06ABN820 06AFG373 06AFG434 MS3-2R9.6 MS3-2SN9.6 MS3-2Z9.6 13,000円 15,600円 19,500円 ø4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 質量 : 0.93g 窒化珪素 ジルコニア 9.6 21 06ABN821 06AFG374 06AFG435 MS3-2R22.5 MS3-2SN22.5 MS3-2Z22.5 23,000円 27,600円 34,500円 ルビー M3X0.5 Sø2 ø1.5 超硬 ø4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 質量 : 1.0g 窒化珪素 ジルコニア 22.5 30 ルビー M3X0.5 超硬 Sø2 ø1.5 06ABN822 06AFG375 06AFG436 MS3-2R32.5 MS3-2SN32.5 MS3-2Z32.5 25,000円 30,000円 37,500円 ø4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 質量 : 1.32g 窒化珪素 ジルコニア 32.5 40 質量 : 1.58g 50 超硬 ø1.5 M3X0.5 Sø2ルビー球 ø4 コードNo. 06ABF416 品名 MS3-2R62.5 標準価格 36,000円 62.5 69 06ABN823 06AFG376 06AFG437 MS3-3R12 MS3-3SN12 MS3-3Z12 13,000円 15,600円 19,500円 ルビー Sø3 ステンレス ø1.5 M3X0.5 ø4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 質量 : 2.2g 窒化珪素 ジルコニア 12 21 06ABN824 06AFG377 06AFG438 MS3-3R23.7 MS3-3SN23.7 MS3-3Z23.7 23,000円 27,600円 34,500円 ルビー Sø3 超硬 ø2 M3X0.5 ø4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 質量 : 1.0g 窒化珪素 ジルコニア 23.7 30 M3X0.5 ルビー Sø3 超硬 ø2 06ABN825 06AFG378 06AFG439 MS3-3R33.7 MS3-3SN33.7 MS3-3Z33.7 25,000円 30,000円 37,500円 ø4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 質量 : 1.83g 窒化珪素 ジルコニア 33.7 40 ルビー M3X0.5 Sø3 超硬 ø2 06ABN826 06AFG379 06AFG440 MS3-3R43.7 MS3-3SN43.7 MS3-3Z43.7 27,000円 32,400円 40,500円 ø4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 質量 : 2.3g 窒化珪素 ジルコニア 43.7 50 M3X0.5 Sø3ルビー球 ø2 超硬 ø4 コードNo. 06ABF415 品名 MS3-3R50 標準価格 35,000円 質量 : 2.78g 50 64 06ABN827 06AFG380 06AFG441 MS3-4R17 MS3-4SN17 MS3-4Z17 13,000円 15,600円 19,500円 ルビー Sø4 ステンレス ø2.5 M3X0.5 ø4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 質量 : 3.5g 窒化珪素 ジルコニア 17 21 06ABN828 06AFG381 06AFG442 MS3-4R27 MS3-4SN27 MS3-4Z27 13,000円 15,600円 19,500円 ルビー M3X0.5 Sø4 ø2.5 ステンレス ø4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 質量 : 1.3g 窒化珪素 ジルコニア 27 31 ルビー M3X0.5 超硬 Sø4 ø2 06ABN829 06AFG382 06AFG443 MS3-4R36 MS3-4SN36 MS3-4Z36 24,000円 28,800円 36,000円 ø4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 質量 : 2.5g 窒化珪素 ジルコニア 36 40 51 質量 : 2.38g M3X0.5 ø4 46 50 窒化珪素 ジルコニア コードNo. 06ABF403 品名 MS3-4R53 標準価格 40,000円 M3X0.5 ø2 ø4 163874 06AFG385 06AFG446 MS3-5R31 MS3-5SN31 MS3-5Z31 13,000円 15,600円 19,500円 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABN832 06AFG386 06AFG447 MS3-5R50.6C MS3-5SN50.6C MS3-5Z50.6C 30,000円 36,000円 45,000円 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABS911 06AFG387 06AFG448 MS3-6R75G MS3-6SN75G MS3-6Z75G 46,000円 55,200円 69,000円 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABS912 06AFG388 06AFG449 MS3-6R100G MS3-6SN100G MS3-6Z1000G 54,000円 64,800円 81,000円 窒化珪素 ジルコニア 21 M3X0.5 質量 : 1.5g Sø5 ステンレス ø4 31 窒化珪素 ジルコニア 質量 : 3.0g Sø5 セラミック ø4 ø2.5 M3X0.5 窒化珪素 ジルコニア ルビー Sø5 ø3 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 ステンレス M3X0.5 質量 : 3.0g ø2.5 06ABN831 06AFG384 06AFG445 MS3-5R21 MS3-5SN21 MS3-5Z21 13,000円 15,600円 19,500円 ルビー Sø4ルビー球 超硬 53 57 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 ルビー 質量 : 2.85g ø4 ルビー Sø4 超硬 ø2 06ABN830 06AFG383 06AFG444 MS3-4R46 MS3-4SN46 MS3-4Z46 26,000円 31,200円 39,000円 50.6 質量 : 1.33g M3X0.5 Sø6 カーボンファイバ ø4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 75 窒化珪素 ジルコニア ルビー ・SP25M 用 ・SP25Mで使用の場合SM25-2またはSM25-3が 必要になります。 ・各SP25M用モジュールでの対応長さは別途 SP25Mの仕様（p.8）をご確認ください。 質量 : 2.4g ・SP25M 用 ・SP25Mで使用の場合SM25-3が必要になります。 ・各SP25M用モジュールでの対応長さは別途 SP25Mの仕様（p.8）をご確認ください。 窒化珪素 ジルコニア ルビー Sø6 カーボンファイバ ø4 M3X0.5 100 06ABS913 06AFG389 06AFG450 MS3-8R75G MS3-8SN75G MS3-8Z75G 54,000円 64,800円 81,000円 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 06ABS914 06AFG390 06AFG451 MS3-8R100G MS3-8SN100G MS3-8Z100G 56,000円 67,200円 84,000円 M3X0.5 カーボンファイバ 75 窒化珪素 ジルコニア ルビー 質量 : 2.98g ・SP25M 用 ・SP25Mで使用の場合SM25-3が必要になります。 ・各SP25M用モジュールでの対応長さは別途 SP25Mの仕様（p.8）をご確認ください。 窒化珪素 ジルコニア ルビー ・SP25M 用 ・SP25Mで使用の場合SM25-2またはSM25-3が 必要になります。 ・各SP25M用モジュールでの対応長さは別途 SP25Mの仕様（p.8）をご確認ください。 Sø8 ø4 コードNo. 品名 標準価格 先端部材質 質量 : 2.89g Sø8 カーボンファイバ ø4 M3X0.5 100 06ABF407 品名 ・MPP-2、 MPP-2H、MPP-5等の旧モデルのスキャニ ングプローブには装置できません。 ・タッチトリガープローブでは垂直方向での使 用を推奨します。 標準価格 60,000円 Sø8ルビー球 セラミック ø6 M3X0.5 MS3-8R130C ø4 コードNo. 質量 : 3.47g 130 916492 MS3-30C 98,000円 ・SP25Mへの装着はできません。 M3X0.5 17 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 9.4g ø30 セラミック 質量 : 18g 52 169011 MS3-DISC12.7-2 43,000円 ステンレス ・使用には制限がありますのでご了承ください。 詳細は弊社営業所にお問い合わせください。 2 ø12.7 ø3 M3X0.5 ø4 コードNo. 品名 標準価格 31 06ABN833 MS3-EXT10 5,400円 ステンレス ø4 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 4.0g 10 M3X0.5 M3X0.5 質量 : 0.9g ステンレス 06ABN834 MS3-EXT20 6,000円 ø4 コードNo. 品名 標準価格 20 M3X0.5 M3X0.5 質量 : 1.6g 06ABN835 MS3-EXT35 6,400円 ステンレス ø4 コードNo. 品名 標準価格 M3X0.5 35 M3X0.5 質量 : 2.9g セラミック 06ABN836 MS3-EXT50C 22,000円 ø4 コードNo. 品名 標準価格 50 M3X0.5 M3X0.5 カーボンファイバ ø4 06ABS915 MS3-EXT75G 28,000円 M3X0.5 ø4 コードNo. 品名 標準価格 ø4.55 質量 : 2.95g 11.5 13 75 M3X0.5 ・SP25M用 ・SP25Mで使用の場合SM25-3が必要になります。 ・各SP25M用モジュールでの対応長さは別途 SP25Mの仕様（p.8）をご確認ください。 カーボンファイバ ø4 06ABS916 MS3-EXT100G 30,000円 M3X0.5 ø4 コードNo. 品名 標準価格 ø4.55 質量 : 2.53g 11.5 ・SP25M用 ・SP25Mで使用の場合SM25-3が必要になります。 ・各SP25M用モジュールでの対応長さは別途 SP25Mの仕様（p.8）をご確認ください。 13 100 M3X0.5 質量 : 3.02g ステンレス ・スタイラスを任 意の角 度に曲げるためのアダ プタです。 M3X0.5 ステンレス 3.8 06ABN838 MS3-スタイラスナックル 25,000円 8 コードNo. 品名 標準価格 3.5 6 M3X0.5 ø4 質量 : 3.7g ・ 5方向にスタイラスを取付けるためのアダプタ です。 ステンレス 5.5 06ABN839 MS3-スタイラスセンタ 20,000円 10 13 コードNo. 品名 標準価格 M3X0.5 M3X0.5 06ABN837 MS3-M2メス-アダプタ 5,400円 ・スタイラス取 付 部ねじがM3のプローブにM2 ねじのスタイラスを取付けるためのアダプタで す。 ステンレス ø4 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 2.4g M3X0.5 M3 5 M2 M2X0.4 質量 : 0.6g ・スタイラス取付部ねじがM3のプローブに取付 部がストレートシャンクタイプのスタイラスを 取付けるためのアダプタです。 ステンレス M3 M3X0.5 10 ø4.5 ストレート ø4.5 167234 MS3-ø4.5-アダプタ 6,000円 ø9 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 2.3g 53 スタイラス（取付部ネジ径：M4） 06ABN840 MS4-1R4.5 15,000円 ステンレス Sø1ルビー球 ø0.7 M4X0.7 ø7 コードNo. 品名 標準価格 4.5 19.5 ステンレス Sø2ルビー球 M4X0.7 ø1.35 06ABN841 MS4-2R8 15,000円 ø7 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 2.5 g 8 19 06ABN842 MS4-4R13.5 15,000円 Sø4ルビー球 ø3 M4X0.7 ø7 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 2.3 g ステンレス 13.5 18 Sø4ルビー球 セラミック Sø8ルビー球 ø3 06ABQ149 MS4-4R33C 18,000円 セラミック ø7 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 2.1 g M4X0.7 33 50 ø4.5 06ABN843 MS4-8R50C 30,000円 ø7 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 4.8 g M4X0.7 50 06ABN844 MS4-8R100C 40,000円 M4X0.7 Sø8ルビー球 ø4.5 セラミック ø7 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 5.1 g 100 ø4.4 06ABN845 MS4-6R88G 40,000円 質量 : 6.6 g Sø6ルビー球 カーボンファイバ ø7 コードNo. 品名 標準価格 M4X0.7 88 100 06ABN846 MS4-6R138G 80,000円 ø4.4 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 6.2 g Sø6ルビー球 カーボンファイバ ø7 M4X0.7 138 150 ø6ルビー球 カーボンファイバ ø7 M4X0.7 ・SP25M への装着は できません。 06ABN847 MS4-6R188G 88,000円 ø4.5 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 7.5 g 188 200 06ABN848 MS4-EXT30C 13,000円 ø7 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 8.7 g セラミック M4X0.7 M4X0.7 30 質量 : 5.1 g 06ABN849 MS4-EXT50C 18,000円 ø7 コードNo. 品名 標準価格 セラミック M4X0.7 M4X0.7 50 質量 : 6.7 g 54 06ABN850 MS4-EXT100C 28,000円 セラミック ø7 コードNo. 品名 標準価格 M4X0.7 M4X0.7 100 06ABN851 MS4-M3EXT20 6,000円 ステンレス ø7 コードNo. 品名 標準価格 ø5 質量 : 10.6 g M3X0.5 M4X0.7 20 セラミック 06ABN852 MS4-M3EXT50C 18,000円 ø7 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 3.2g M3X0.5 M4X0.7 50 質量 : 4.4g 06ABN853 MS4-M3EXT75C 22,000円 コードNo. 品名 標準価格 06ABN854 MS4-M3EXT100C 28,000円 ø7 コードNo. 品名 標準価格 セラミック M3X0.5 M4X0.7 75 質量 : 5.2g ø7 セラミック M3X0.5 M4X0.7 100 質量 : 6.3g 06AAD460 MS4-スタイラスナックル 15,000円 ステンレス M4X0.7 ステンレス 15 コードNo. 品名 標準価格 4.5 9 M4X0.7 M4X0.7 4-M4X0.7 ・5方向にスタイラスを取付け るための アダプタ です。 M4X0.7 9 16 06ABN857 MS4-スタイラスセンタ 15,000円 12.5 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 14.5g 15 ステンレス ・スタイラスを 任意の角度 に曲 げるた め の アダ プ タです。 06ABN855 MS4-M3 メス - アダプタ 6,000円 ø7 コードNo. 品名 標準価格 M4X0.7 M3X0.5 9 06ABN856 MS4-M2 メス - アダプタ 5,400円 ステンレス M4X0.7 5 M2X0.4 質量 : 1.5g 55 ・スタイラス取付部ね じが M4 のプローブ に M3 ねじ のスタイ ラスを取付けるため のアダプタです。 M4 M3 質量 : 1.4g ø7 コードNo. 品名 標準価格 ø5 質量 : 12.1g ステンレス ・スタイラス取付部ね じが M4 のプローブ に M2 ねじ のスタイ ラスを取付けるため のアダプタです。 M4 M2 スタイラス（取付部ネジ径：M5） 20 06ABS920 MS5-1R5 20,000円 5 M5X0.8 質量 : 6.52g 超硬 20 06ABS921 MS5-1.5R11 18,000円 11 M5X0.8 Sø1.5ルビー球 ø1 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 4.68g 超硬 20 06ABS923 MS5-2R11 18,000円 11 M5X0.8 Sø2ルビー球 ø1 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 4.70g 超硬 30 06ABS924 MS5-2R21 20,000円 21 M5X0.8 Sø2ルビー球 ø1 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 4.81g 超硬 40 06ABS925 MS5-2R31 22,000円 31 M5X0.8 Sø2ルビー球 ø1 コードNo. 品名 標準価格 Sø1ルビー球 ø0.7 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 4.93g 超硬 06ABS926 MS5-2.5R31 22,000円 31 M5X0.8 Sø2.5ルビー球 ø1.5 コードNo. 品名 標準価格 40 質量 : 5.40g 超硬 06ABS927 MS5-2.5R41 25,000円 Sø2.5ルビー球 41 M5X0.8 ø2 コードNo. 品名 標準価格 50 超硬 06ABS928 MS5-3R11 18,000円 Sø3ルビー球 11 ø2 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 6.48g 20 M5X0.8 質量 : 5.12g 超硬 06ABS929 MS5-3R21 20,000円 21 M5X0.8 Sø3ルビー球 ø2 コードNo. 品名 標準価格 30 超硬 質量 : 4.62g 40 06ABS930 MS5-3R31 22,000円 31 Sø3ルビー球 超硬 質量 : 6.04g M5X0.8 ø2 コードNo. 品名 標準価格 50 06ABS931 MS5-3R41 24,000円 41 M5X0.8 Sø3ルビー球 ø2 コードNo. 品名 標準価格 超硬 06ABS932 MS5-3R55 40,000円 M5X0.8 55 ø1.5 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 6.50g 100 Sø3ルビー球 超硬 06ABS933 MS5-4R11 20,000円 M5X0.8 11 質量 : 16.30g Sø4ルビー球 ø2 コードNo. 品名 標準価格 20 超硬 質量 : 5.19g 56 06ABS934 MS5-4R21 22,000円 30 M5X0.8 Sø4ルビー球 21 ø2 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 5.64g 超硬 06ABS935 MS5-4R41 24,000円 M5X0.8 Sø4ルビー球 41 ø2 コードNo. 品名 標準価格 50 質量 : 6.55g 超硬 06ABS936 MS5-4R50 40,000円 100 M5X0.8 50 ø3 コードNo. 品名 標準価格 Sø4ルビー球 超硬 06ABS937 MS5-4R65 30,000円 75 M5X0.8 Sø4ルビー球 65 ø3 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 23.07g 質量 : 11.61g 超硬 06ABS938 MS5-5R11 20,000円 M5X0.8 Sø5ルビー球 11 ø3 コードNo. 品名 標準価格 20 質量 : 6.06g 超硬 06ABS939 MS5-5R21 22,000円 M5X0.8 Sø5ルビー球 21 ø3 コードNo. 品名 標準価格 30 超硬 06ABS940 MS5-5R41 24,000円 M5X0.8 Sø5ルビー球 41 ø3 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 7.10g 50 超硬 06ABS941 MS5-5R50 40,000円 質量 : 9.19g 100 M5X0.8 50 ø3 コードNo. 品名 標準価格 超硬 06ABS942 MS5-5R65 30,000円 75 M5X0.8 質量 : 23.31g Sø5ルビー球 65 ø3 コードNo. 品名 標準価格 Sø5ルビー球 質量 : 11.80g 超硬 06ABS943 MS5-5R91 40,000円 91 ø3 コードNo. 品名 標準価格 100 M5X0.8 超硬 06ABS944 MS5-6R39G 28,000円 39 75 64 M5X0.8 Sø6ルビー球 ø4 06ABS945 MS5-6R64G 40,000円 質量 : 6.59g カーボンファイバ 06ABS946 MS5-6R89G 40,000円 100 M5X0.8 89 ø4 コードNo. 品名 標準価格 カーボンファイバ 57 質量 : 14.40g 質量 : 6.10g カーボンファイバ コードNo. 品名 標準価格 Sø5ルビー球 Sø6ルビー球 ø4.3 コードNo. 品名 標準価格 50 M5X0.8 Sø6ルビー球 質量 : 7.08g 50 06ABS947 MS5-8R37G 30,000円 37 M5X0.8 Sø8ルビー球 ø6 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 7.96g カーボンファイバ 06ABU673 MS5-8R38C 30,000円 セラミックス ø6 Sø8ルビー球 ø19 コードNo. 品名 標準価格 M5X0.8 38 質量 : 30g 60 06ABS948 MS5-8R62G 36,000円 62 M5X0.8 Sø8ルビー球 ø6 コードNo. 品名 標準価格 75 カーボンファイバ 06ABS949 MS5-8R87G 48,000円 M5X0.8 87 ø6 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 9.06g 100 カーボンファイバ 06ABS950 MS5-10R37G 36,000円 37 M5X0.8 Sø10ルビー球 質量 : 8.91g カーボンファイバ 06ABS951 MS5-10R62G 40,000円 75 62 M5X0.8 Sø10ルビー球 ø6 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 10.01g カーボンファイバ 06ABS952 MS5-10R87G 50,000円 100 M5X0.8 87 ø6 コードNo. 品名 標準価格 Sø10ルビー球 カーボンファイバ 11.5 06ABS953 MS5-16C 40,000円 ø1 セラミック 6 9.5 06ABS954 MS5-22C 42,000円 ø2 2 セラミック 質量 : 10.0g 40 06ABS955 MS5-EXT40G 74,000円 M5X0.8 カーボンファイバ ø11 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 7.0g M5X0.8 2 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 11.11g M5X0.8 2 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 10.17g ø6 コードNo. 品名 標準価格 Sø8ルビー球 50 質量 : 7.6g 50 06ABS956 MS5-EXT50G 76,000円 M5X0.8 カーボンファイバ ø11 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 8.3g 06ABS957 MS5-EXT60G 78,000円 M5X0.8 カーボンファイバ ø11 コードNo. 品名 標準価格 60 質量 : 9.0g 06ABS958 MS5-EXT70G 80,000円 70 M5X0.8 カーボンファイバ ø11 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 9.7g 58 80 06ABS959 MS5-EXT80G 82,000円 カーボンファイバ M5X0.8 ø11 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 10.4g 06ABS960 MS5-EXT90G 84,000円 90 M5X0.8 カーボンファイバ ø11 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 11.1g 100 コードNo. 品名 標準価格 06ABS962 MS5-EXT120G 88,000円 M5X0.8 ø11 06ABS961 MS5-EXT100G 86,000円 質量 : 11.8g 120 M5X0.8 カーボンファイバ ø11 コードNo. 品名 標準価格 カーボンファイバ 質量 : 13.2g コードNo. 06ABS963 品名 MS5-EXT150G 標準価格 95,000円 150 カーボンファイバ ø11 M5X0.8 質量 : 15.4g コードNo. 06ABS964 品名 MS5-EXT180G 標準価格 M5X0.8 100,000円 質量 : 17.5g カーボンファイバ ø11 180 コードNo. 06ABS965 品名 MS5-EXT200G 標準価格 105,000円 ø11 M5X0.8 質量 : 18.9g カーボンファイバ 200 コードNo. 06ABS966 品名 MS5-EXT250G 標準価格 115,000円 250 ø11 M5X0.8 質量 : 22.4g カーボンファイバ コードNo. 06ABS967 品名 MS5-EXT300G 標準価格 125,000円 300 ø11 M5X0.8 質量 : 25.9g カーボンファイバ コードNo. ø11 M5X0.8 59 06ABS968 品名 MS5-EXT400G 標準価格 135,000円 400 質量 : 33.0g カーボンファイバ 取付工具類 ・ 胴 体 径ø13mmやプローブエクステ ンションの脱着工具です。 161534 シングルエンディドスパナ 2,500円 ø1 3 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 5.0g コードNo. 品名 標準価格 ・ 胴 体 径ø13mm、ø18mmやプローブ エクステンションの脱着工具です。 161535 ダブルスパナ 2,500円 ø13 ø18 質量 : 5.0g 153140 M2-スタイラスツール 2,300円 ・ 取 付けねじM2、M3のスタイラス用 脱着工具です。 23 5 ø1.2 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 0.7g 181279 MS4-スタイラスツール 5,000円 ・取付けねじM4のスタイラス用脱着 工具です。 35 8 ø2 コードNo. 品名 標準価格 質量 : 3.5g コードNo. 品名 標準価格 ・取付けねじM2のカーボン製エクス テンション用脱着工具です。 06AAL264 カーボンエクステン ション用取付工具 9,000円 質量 : 20.0g ハードプローブ（マニュアル三次元測定機用） ボールプローブ 105 単位 : mm パーツ No. 50 932377A 932378A 932379A 932380A 532328 ød ø14 55 超硬球 ℓ ød 2 3 5 6 10 6 11.5 22.5 28 45 ユニバーサルプローブ 単位 : mm セットパーツ No. S L 932375A (932363) 932375B (932364) 932375C (932365) 932375D (932366) 932375E (932367) 50 ød ø14 m S 127 130.5 137.5 154 211.5 L 77 80.5 87.5 104 161.5 ℓ 53 56.5 63.5 80 137.5 m 6 9.5 16.5 20 27.5 （） 内は測定子単体のパーツNo. スタイラス 超硬球 ød 2 3 5 10 15 10 m ød ポイントプローブ（パーツNo.593467） 単位 : mm 110 60 ø14 50 超硬先端 60 セラミックマスターボール Blue Line M8X1.25 青線 ø23 ø23 ø7.5 ø15 M8X1.25 単位 : mm Sø20 セラミック球 ［材質 Al2O（ ］ 3 99.9％） ø7キリ 貫通 ø7.5 単位 : mm Sø20 セラミック球 ［材質 Al2O（ ］ 3 99.9％） ø7キリ 貫通 セラミックマスターボール（高精度タイプ） ・ボール真球度：0.08μm以下 ・ボール直径寸法公差：Sø200-0.1mm ø15 セラミックマスターボール （標準タイプ） ・ボール真球度：0.13μm以下 ・ボール直径寸法公差：Sø200-0.1mm 8.4 (12) 30 8.4 (12) 141 30 141 163 163 セラミックマスターボール （高精度タイプ） ・ボール真球度：0.08μm以下 ・ボール直径寸法公差：Sø10±0.05 mm ø6 単位 : mm ø7キリ 貫通 Blue Line Sø10 セラミック球 ［材質 Al2O（ ］ 3 99.9％） ø23 100 スパナ （ロッド） 33 8.4 (12) C1 C1 ø15 青線 ø3.5 M8X1.25 141 ベース （パーツNo.06AAC565） マスターボールカバー（パーツNo.06AFJ091） セラミックマスターボール用ベースです。 191 単位 : mm 141 20 90.5 セラミックマスターボール用カバーです。 32 取付けイメージ図 セラミックマスターボール取付図 ベース外観図 セット内容 セットパーツNo. 06AFK288A 06AFK288B 06AFK288D 06AFK289A 06AFK289B 06AFK289D 06AFK290A 06AFK290B 06AFK290D 06AFK291A 06AFK291B 06AFK291D 06AFK292A 06AFK292B 06AFK292D ボール直径 （mm） 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 10 10 10 タイプ 標準 標準 標準 標準 標準 標準 高精度 高精度 高精度 高精度 高精度 高精度 高精度 高精度 高精度 マスターボール カバー ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ベース 検査成績表 校正証明書 － － － ○ ○ ○ － － － ○ ○ ○ － － － ○ ○ － ○ ○ － ○ ○ － ○ ○ － ○ ○ － － ○ － － ○ － － ○ － － ○ － － ○ － オプション スペーサ （パーツNo.06AAC566） ベース用スペーサです。 191 241 単位 : mm 90.5 スペーサ外観図 61 20 32 セラミックマスターボール＋ベースへの取付図 トレーサビリティー 体系図 － ○ － － ○ － － ○ － － ○ － － ○ － 校正証明書 （JCSS） － － ○ － － ○ － － ○ － － ○ － － ○ ■特長 ●ミツトヨクランピングツールは、各エレメントをブロック式玩具のように組み合わせることで、様々な測定物を容易に固定す ることが可能なクランピングシステムです。 ●必要なツールを集めたスタータキット 「eco-fix Kit S」 と 「eco-fix Kit L」及び、 クランピングキット拡張セット （各スタータキット の標準構成品に加えてご使用いただくことにより、 より複雑な組み合わせも可能になる拡張エレメントセット） をご用意して おります。 ■Eco-fix Kit S （エコフィックス キット S） ■Eco-fix Kit L （エコフィックス キット L） * 固定方法によっては、プローブの接触や測定機の振動などにより測定物やプレート自体が動き測定値に異常が発生する可能性があります。 * クランピングツールの単品販売は行っておりませんので、補充が必要な際はクランピングツール拡張セットをご購入ください。 62 座標測定機 画像測定機 形状測定機 光学機器 精密センサ 試験・計測機器 スケールユニット 測定工具、測定基準器、計測システム 仙台市若林区卸町東1-7-30 郡山駐在所 電話 (024)931-4331 宇都宮営業所 宇都宮市平松本町796-1 つくば駐在所 電話 (029)839-9139 伊勢崎営業所 伊勢崎市宮子町3463-13 さいたま駐在所 電話 (048)667-1431 川崎営業所 川崎市高津区坂戸1-20-1 東京駐在所 電話 (03)3452-0481 厚木営業所 厚木市旭町2-8-6 リヴ・ロード1階 富士駐在所 電話 (0545)55-1677 諏訪営業所 諏訪市中洲582-2 上田駐在所 電話 (0268)26-4531 浜松営業所 浜松市中区早出町1209-1 安城営業所 安城市住吉町5-19-5 名古屋営業所 名古屋市昭和区鶴舞4-14-26 金沢営業所 金沢市桜田町1-26 ドマーニ桜田 大阪営業所 大阪市住之江区南港北1-4-34 神戸駐在所 電話(078)924-4560 京滋営業所 草津市大路2-13-27 辻第3ビル1F 岡山営業所 岡山市北区田中134-107 広島営業所 東広島市八本松東2-15-20 福岡営業所 福岡市博多区博多駅南4-16-37 特機営業1課・2課 川崎市高津区坂戸1-20-1 仙台営業所 〒984-0002 電話 (022)231-6881 ファクス (022)231-6884 〒321-0932 電話 (028)660-6240 ファクス (028)660-6248 〒372-0801 電話 (0270)21-5471 ファクス (0270)21-5613 新潟駐在所 電話 (025)281-4360 〒213-8533 電話 (044)813-1611 ファクス (044)813-1610 〒243-0014 電話 (046)226-1020 ファクス (046)229-5450 〒392-0015 電話 (0266)53-6414 ファクス (0266)58-1830 〒435-0054 〒446-0072 〒466-0064 〒920-0057 〒559-0034 電話 (053)464-1451 電話 (0566)98-7070 電話 (052)741-0382 電話 (076)222-1160 電話 (06)6613-8801 ファクス (053)464-1683 ファクス (0566)98-6761 ファクス (052)733-0921 ファクス (076)222-1161 ファクス (06)6613-8817 〒525-0032 〒700-0951 〒739-0142 〒812-0016 〒213-8533 電話 (077)569-4171 電話 (086)242-5625 電話 (082)427-1161 電話 (092)411-2911 電話 (044)813-8236 ファクス (077)569-4172 ファクス (086)242-5653 ファクス (082)427-1163 ファクス (092)473-1470 ファクス (044)822-8140 M3 Solution Center …商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業所にご連絡ください。 宇都宮市下栗町 2200 〒321-0923 電話 (028) 660-6240 ファクス (028) 660-6248 UTSUNOMIYA 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-1611 ファクス (044) 813-1610 TOKYO 諏訪市中洲 582-2 〒392-0015 電話 (0266) 53-6414 ファクス (0266) 58-1830 SUWA 安城市住吉町 5-19-5 〒446-0072 電話 (0566) 98-7070 ファクス (0566) 98-6761 ANJO 大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話 (06) 6613-8801 ファクス (06) 6613-8817 OSAKA 呉市広古新開 6-8-20 〒737-0112 電話 (082) 427-1161 ファクス (082) 427-1163 HIROSHIMA 福岡市博多区博多駅南 4-16-37 〒812-0016 電話 (092) 411-2911 ファクス (092) 473-1470 FUKUOKA 計測技術者養成機関…各種のコースが開催されています。詳細は弊社営業所にご連絡ください。 ミツトヨ計測学院 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 822-4124 ファクス (044) 822-4000 カスタマーサポートセンタ…商品に関しての各種のお問合せ、 ご相談をお受けしています。 電話 (050) 3786-3214 ファクス (044) 813-1691 最寄りの営業所をご確認いただけます。 http://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/domestic/list.html#sale お求めは当店で— 弊社商品は外国為替及び外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合が あります。製品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業所へご相談ください。 ●外観・仕様などは商品改良のために、一部変更することがありますのでご了承ください。 ●本カタログに掲載されている価格、仕様は 2016 年 10 月現在のものです。 ●掲載しております標準価格には消費税は含まれておりません。 〒 213-8533 川崎市高津区坂戸 1-20-1 http://www.mitutoyo.co.jp 015 1611(8)C-(CH)PR127