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高音質オーディオ機器にも応用できる 低電力A/D・D/A変換器 窒化
高音質オーディオ機器にも応用できる 低電力A/D・D/A変換器 窒化アルミニウムによる 高効率フィールドエミッション 音声通信およびオンデマンドサービスに必須の機能として音声・音 窒化アルミニウム(AlN*1)半導体は、負の電子親和力というユニー 楽の録音・再生機能があります。現在、音声・音楽信号はすべてディジ クな物性を持っているため、電子が真空中へ放出されるフィールドエ 1 タルデータとして通信・蓄積されており、録音・再生機能はA/D* ・ ミッション(電子放出)が非常に低いエネルギーで起こることが理論的 D/A*2変換器により実現されています。近年需要の多い携帯機器では、 に予想されていました。しかし、 これまでAlNの結晶品質が十分でなく、 このA/D・D/A変換器を信号処理LSIへオンチップすることが、小型 またAlN中にフィールドエミッションに必要な電子の供給源がないた 化・軽量化・低価格化の観点から強く望まれています。研究所では、高 に比べて十分な め、広く研究されているダイヤモンドやシリコン(Si*2) 級オーディオ並みの高音質特性を有しながら、超低電力特性を実現で 特性は得られていませんでした。フィールドエミッションが実現すると、 きる携帯機器用LSIへのオンチップに適したA/D・D/A変換器を開発 テレビ画面の高速応答性、色彩の美しさを保ちつつ、薄型、省電力とい しました。 う特徴を持つ、フィールドエミッションディスプレイと呼ばれる次世代 D/A変換方式には、研究所が独自に開発した4次Swing-suppres- ディスプレイを実現することができます。 sion方式を用いており、128倍のオーバーサンプリング率で論理SN 研究所ではまず、AlN結晶と完全格子整合するシリコンカーバイド 比140dBを実現しました。電源電圧3V・消費電力数10mW程度で (SiC*3)を基板として選び、さらにMOVPE*4(有機金属気相エピタキ 高級CDプレーヤ級の音質(SN比100dB以上)から、電源電圧1V・消 シー)法により1100℃の高温成長を行うことで最高品質のAlN結晶 費電力数1mW程度で携帯オーディオ機器の音質(SN比90dB程度) を得ることができました。次に、 ドーピングするSi濃度を増加させると、 まで幅広い性能要求を従来の10分の1程度の電力で実現できます。 フィールドエミッションに必要な電界強度が急激に減少することを見い さらに、出力回路には音声信号をパルスで表現することでスピーカー だしました。それらの結果として、フィールドエミッション電流密度は、 を駆動する差動パルス幅変調D級増幅器を搭載可能で、この増幅器は ダイヤモンドの約2倍の66mA/cm2に達しました。また、ディスプレイ 電源電圧1Vでも動作することができます。これにより増幅器などの外 の基礎実験を行い、赤、緑、青の発光を観察することができました。そ 付けIC*3なしにヘッドホン・イヤホンを駆動でき、携帯機器用LSIの音 の輝度は1200cd/m2で、実用レベルにあることを確認しています。 声・音楽用オンチップインタフェースとして小型化・軽量化に大きく貢 献しました。また、A/D変換器についてはRC積分2次Swing-sup- フィールドエミッションは、ディスプレイのほかにも電子線源や微小 真空管などのさまざまな応用が期待されています。 pression回路を開発し、従来技術では実現困難であった電源電圧1V (物性科学基礎研究所) で携帯オーディオ機器の音質と3mW程度の低電力特性を実現すると ともに、次世代の0.1μm級超微細CMOS*4プロセスによる通信用論 理LSIへのオンチップ化も可能としました。 今後は、技術普及と実用化のため、グループ会社において回路ブ *1 *2 *3 *4 AIN: Aluminum Nitride Si: Silicon SiC: Silicon Carbide MOVPE: Metalorganic Vapor-Phase Epitaxy ロックを設計図またはレイアウトの状態で製品化していくIP*5化を行っ ていきます。 (通信エネルギー研究所) *1 *2 *3 *4 *5 A/D: Analog to Digital D/A: Digital to Analog IC: Integrated Circuit CMOS: Complementary Metal Oxide Semiconductor IP: Intellectual Property ●窒化アルミニウムのフィールドエミッションディスプレイと発光 ●A/D・D/A変換器の性能比較 補聴器型音声ガイダンスシステム 生体情報モニター 蛍光体 応用例 + 130 変換精度(規格化値) NTT技術 120 110 36 eee eee AIN AIN AIN A/D 100 A/D D/A 90 80 0 eee D/A AIN AIN AIN 外部機関 国際会議発表論文 1 2 3 4 動作電圧(V) − 5 6 ゲート電極