タッチパネルの製造プロセス タッチセンサ製造プロセス ITOパターン形成

タッチパネルの製造プロセス
タッチパネルの構造
③カバーガラス
（反射防⽌＋汚れ防⽌膜）
ITOパターン（X軸）
①タッチセンサ
絶縁層
②液晶パネル
ITOパターン（Y軸）
筐体
タッチ位置の検知イメージ
❶ タッチセンサ製造プロセス
ITOパターン形成⼯程
額縁配線⼯程
スパッタ
レジスト塗布
露光
レジスト塗布
現像
ITOスパッタ
アニール
露光
現像
スパッタ
露光
レジスト塗布
UV
硬化
洗浄
パターニング
エッチング
現像
コーティング
洗浄
パターニング
現像
Al, Moスパッタ
スクリーン印刷
洗浄
UV洗浄
レジスト塗布
洗浄
パターニング
スクリーン印刷
ガラス基板・フィルム
現像
UV
硬化
洗浄
UV
硬化
洗浄
現像
表⾯コーティング
スクリーンパターニング
現像
モジュール⼯程へ
加熱
エッチング
露光
洗浄
洗浄
現像
※ここまでの⼯程を、タテのセンサ（Y軸）とヨコのセンサ（X軸）それぞれで⾏い、組み合わせます。
ＵＶ硬化
加熱
貼り合わせ
配向処理
露光
洗浄
光配向装置
⾼出⼒タイプ
スポットタイプ
側⾯照射タイプ
ハロゲンランプ
液晶パネル貼り合わせ装置
リソグラフィ⽤UVランプ
露光装置
エキシマランプユニット
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❷ 液晶パネル製造プロセス
5〜7回繰り返し
TFT︵アレイ︶⼯程
露光
洗浄
洗浄
洗浄
洗浄
配向
処理
洗浄
貼り
合わせ
COG貼り付け
UV
硬化
カラーフィルター⼯程
洗浄
ガラス基板
露光
レジスト塗布
洗浄
洗浄
露光
ブラックマトリックス形成
露光
R
露光
エッチング
洗浄
露光
カラーレジスト
塗布
現像
露光
G
露光
B
洗浄
レジスト剥離
洗浄
ITO膜付
❶ タッチセンサ製造プロセス
UV
硬化
保護膜形成
配向膜塗布
洗浄
②液晶パネル
モジュール⼯程へ
成膜
セル⼯程へ
ガラス基板
配向
処理
完成
ACFテープ貼り付け
偏光板貼り付け
液晶滴下
配向膜塗布
セットアップ⼯程
モジュール⼯程
OCAラミネート／OCRコーティング
OCAラミネート／OCRコーティング
額縁配線⼯程から
UV
硬化
洗浄
ラミネート／コーティング
UV
硬化
洗浄
UV硬化
UV
硬化
ガラス
UV硬化
洗浄
UV
硬化
洗浄
UV
硬化
UV
硬化
UV
硬化
完成
ラミネート／コーティング
FPC貼り付け
UV硬化
ラミネート／コーティング
UV硬化
①+②+③
タッチディスプレイ
コーティング
スクリーン印刷
UV
硬化
①タッチセンサ
❸ カバーガラス製造プロセス
洗浄
OCAラミネート／OCRコーティング
FPC貼り付け
UV
硬化
洗浄
③カバーガラス
完 成
完成
Fluoroコーティング
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