マイクロもの創り

マイクロもの創り
～マイクロ加工技術を駆使してとにかく小さくておもしろい物を作ってみよう～
機械工学ゼミナール（学部3年冬学期講義） 長藤圭介講師，濱口哲也教授，中尾政之教授
・PVD(Physical vapor deposition):原子を降り積もらせて薄い膜を作る
・EBD(Electron beam deposition):電子線堆積法で空中にワイヤを張る
・Laser cutting
:レーザでフィルムを切る
・EB Lithography
:電子ビームでパターンを作る
・Attenuate
:引っ張って細くする
・Handling
：気合で組み立てる
・FIB(Focus ion beam)
・RIE(Reactive ion etching)
・Photolithography
・Nanoimprinting
・Imitation
・Illusion
:集束イオンビームで穴を掘る
:イオンのシャワーで削る
:光とマスクでパターンを作る
:金型でナノ構造を転写する
:自然界のものを流用する
：錯覚を利用する
など様々なマイクロ加工技術を使って、マイクロで面白いものをつくろう！
2002年度作品
2003年度作品
10 mm
小さな大技“マイクロ大三元”
（EBリソグラフィ＋FAB＋FIB）
2006年度作品
2004年度作品
50 mm
15 mm
10 mm
“この紋所、目に入るんじゃねぇ！？” “Micro professor”（FIB）
（FIB）
2007年度作品
“マイクロ大金持ち”（FIB＋フェムト秒レーザ）
2009年度作品
2008年度作品
3 mm
300 nm
“マイクロ安土城”
（FIB＋EBD）
“カーボンナノラーメン”
（FIB＋CNT生成）
200 mm
20 mm
“本郷三丁目の夕焼け”
（EBリソグラフィ＋RIE）
“マイクロジャクソン”
（フェムト秒レーザ）
“ナノ花”（FIB）
2011年度作品
2010年度作品
5 mm
2012年度作品
500 mm
200 mm
“マイクロバイク”
（フェムト秒レーザ）
“マイクロドミノ”
（レーザ）
200 mm
“マイクロエレクトリカルパレード”
（フォトリソグラフィ）
2013年度作品
100 mm
“バック-トゥ-ザ‐ジャクソン”
（レーザ＋磁場制御）
“マイクロ観覧車”
（レーザ＋マイクロ流路）
2014年度作品
2015年度作品
?
800μm
“小さいけど大車輪”
(レーザ、EBリソグラフィ)
3mm
３mm
“マイクロ炎”
(注射針+マイクロドリル）
“μ（みゅー）ガンダム”
（レーザ＋ピンセット）
“マイクロツリー”
これらの作品はほんの一例です．
（表面張力＋化学反応） 皆さんの斬新なアイデアを期待しています．