自動ヘリウムリークテスト装置（COMPACT-ALT）

Automatic Helium Leak Tester COMPACT-ALT CLT Series
検知ガスとしてヘリウムを使用し
たリークテスト装置です。
マイクロセパレータを利用したヘ
リウムリークディテクタを使用し、
低真空下（ 100 ～ 200Pa）でのヘリ
ウムリークテストが可能なコンバ
クトな装置です。
This Helium Leak test system is
compact and can be used in vacuum
region of 100 to 200Pa.
■特長
Features
●検知ガスは、周囲の環境にほとんど左右
されないヘリウムガスを使用
●真空機器を全てULVAC 製品で構成し迅速
なメンテナンス対応
●製品が濡れたり汚れたりせず、乾燥工程が
省略できるドライプロセス
●リーク量の定量化（数値化）が可能、製品
の品質管理精度が向上
●人為的な見落としや作業者の経験度に依存
せず、正確な合否判定を実現
■用途
●自動車分野：コンプレッサ、カーエアコン、
オイルクーラ、EGRクーラ
●空調冷凍機分野：コンプレッサ、熱交換器、
膨張弁
●機械（精密）分野：各種バルブ、圧力計、航
空計器、圧力調整スイッチ
Helium gas is used as a detector gas
All the vacuum components are made by
ULVAC.
The testing is a clean and dry process.
Test data is recorded.
System eliminates human error.
Applications
A utomobile industry : Compressor, air
conditioner, oil cooler, EGR cooler
A i r c o n d i t i o n i n g a n d r e f r i g e r a t o r :
Compressor, heat exchanger, expansion
valve
Precision machine : Valves, pressure gauge,
air craft instrument, pressure switch
自動ヘリウムリークテスト装置（COMPACT-ALT）CLTシリーズ／ Automatic Helium Leak Tester COMPACT-ALT CLT Series
自動ヘリウムリークテスト装置（COMPACT-ALT）CLTシリーズ
自動ヘリウムリークテスト装置（COMPACT-ALT）CLTシリーズ
Automatic Helium Leak Tester COMPACT-ALT CLT Series
■仕様／Specifications
システム感度／ System Sensitivity
1.6 × 10-5 Pa・m3/s（0.01cc/min）
チャンバサイズ／ Chamber Size
W500 × D350 × H400mm（70L）手動開閉方式／ W500 × D350 × H400mm（70L）Manual Opening and Closing
本引排気系
真空排気システム／ Vacuum Pumping System
EC-803
Main Pump
ヘリウムリークディテクタ
テストシステム／ Test System
HELIOT-100シリーズ
HELIOT-100 Series
Helium Leak Detector
60s ／ 1chamber（マシンタイム）
60 sec/1chamber (Machine Time)
処理能力／ Tact Time
ユーティリティ／ Utilities
電源／ Power Supply
AC200V 10kVA
ヘリウムガス／ Helium Gas
0.1 ∼ 0.9MPa
圧縮空気／ Compressed Air
0.5MPa
ヘリウムガス封入・回収機構／ Helium Gas Charge and Recovery Unit
オプション／ Options
ヘリウムガス混合封入・回収機構／ Helium Gas Charge and Recovery Unit for Mixed Gas
N₂・ドライエア高圧発生機／ Pressure Test Unit
■ 外形寸法図／ Dimensions
単位：mm ／ unit: mm
■システム系統図／System chart
ヘリウムガス
Helium Gas
Helium
リーク
Leak
900
試験体／Test Piece
マイクロセパレータ／Micro Separator
ヘリウムリークディテクタ／Helium Leak Detector
ANA.
1300
複合分子ポンプ
Compound Molecular Pump
油回転ポンプ
Oil Rotary Pump
油回転ポンプ／Oil Rotary Pump
本引排気系
Main Pump
■フローチャート／Operation
チャンバ／Chamber
テストスタート／Test Start
950
1915
566
試験体／Test Piece
チャンバ扉開閉
（手動）
Chamber Door Close
耐圧試験
【オプション
（P）
】
Pressure Test (Press. Check)
真空排気
（圧力チェック）
Evacuation (Gauge Check)
真空排気
（圧力チェック）
Evacuation (Gauge Check)
ヘリウムリークテスト／Helium Leakage Check
ヘリウムガス加圧
（圧力チェック）
Helium Gas Charge (Press. Check)
大気導入／Air Vent
ヘリウムガス回収
【オプション
（S）
】
Helium Gas Recovery
チャンパ扉開閉
（手動）
Chamber Door Open
大気導入／Air Vent
OK/NG判定
OK/NG Determination
900
株式会社 アルバック産業機器事業部
ULVAC, Inc. Industrial Equipment Division
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TAIWAN
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CHINA
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GERMANY
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ホームページアドレス　http://www.ulvac.co.jp/
お問い合わせは
●当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。
This catalog is subject to change without notice to reflect performance improvements, etc.
NE7907 / 2009103000UYO