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真空計 G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ 【ST2-1/ST2-2】

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真空計 G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ 【ST2-1/ST2-2】
真空計
真空計 G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ
【ST2-1/ST2-2】
高 真 空 下 の 測 定 に お い て、 真 空 計 の 精 度( 感 度 の ば ら つ き、 誤 差 な ど ) や 短 寿 命( 測 定 子 の 汚 れ、 放 電 し 難 い な ど )
で お 困 り で は あ り ま せ ん か? ULVAC は こ の 様 な ご 要 望 に 応 え る た め、 真 空 計 に と っ て 厳 し い 環 境 で も よ り 長 く、
し か も 精 度 よ く 測 定 可 能 な 電 離 真 空 計 を 開 発・ 製 品 化 し ま し た。 こ の 世 界 初 の 三 極 管 型 メ タ ル 電 離 真 空 計 は、 ラ ン
ニングコストを大幅に抑え、さらに各 種プロセスの歩留まり向上においても、お役立て頂けるものとなっております。
ISG1
ST2
特 長
世界初の三極管型メタル電離真空計(特許 5827532 )
真空計にとって厳しい環境下であっても三極管型の利点を最大
限に生かした長寿命を実現
測定子が小型・メタル製
ガラスタイプの様な破損の心配はありません
広帯域測定
大 気 圧 から高 真 空 領 域( 10 +5 Pa ∼ 10 -5 Pa )の 測 定 が 可 能
( SPU・SAU 同時使用の場合)
異なる測定範囲の測定子が接続可能
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が
可能
正確な大気圧測定
大気圧確認が容易にかつ正確に可能( SAU を使用した場合)
低環境負荷対応
必要に応じた測定子のみの交換が可能なためランニングコスト
の低減が可能
フィラメントの寿命お知らせ機能
フィラメントの電力監視により、
フィラメント寿命を事前に通知可能
メンテナンス性
測定子の交換が容易
適合規格
真空計
測定精度の向上
測定精度±10 %を実現、感度の安定性も向上
視認性の向上
真空計の状態確認が一目でわかる LED の搭載
CE 標準対応
用 途
有機 EL ・タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認およ
びプロセス管理用に
真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用に
ハイドロカーボン(油系)が多い雰囲気での測定に
真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での
測定に
真空計測定子の交換頻度の低減を目指したい真空装置用に
※腐食性ガス(ハロゲンガス)雰囲気でのご使用の場合はご相
談下さい。
真空計 G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ
【ST2-1/ST2-2】
仕 様
各 モ ー ド 仕 様
型 式
ST2-1
ST2-2
機種名
標準タイプ
通信タイプ
接続可能センサ
マルチイオンイオンゲージセンサ:1 本
圧力センサユニットSAU:1 本(オプション)
測定精度
1 × 10-4 ∼ 3Pa : ± 10%
繰返精度
1 × 10-4 ∼ 3Pa : ± 2%
サンプリング時間
50ms 5 回の移動平均処理
単体モード
測定圧力範囲 1×10-5 ∼ 1×10+1Pa
ST2+SPU+SAU
トリプルコンビネーション
1×10-5 ∼ 1×10+4Pa
1×10-5 ∼ 1×10+5Pa
1×10-4 ∼ 3Pa : ±10% 1×10-4 ∼ 3Pa : ±10%
3 ∼ 1×10+3Pa : ±15%
1.0×10+3 ∼
3.0×10+3Pa:±30%
出力電圧 DC 0 ∼ 10V LOG 出力 0.75V/1 桁
圧力換算式 V=7.25+0.75*(LogP-2) P=10^
{(V-7.25)/0.75+2}
*セットポイント調整用の出力電圧も兼ねます
(
ST2-1 のみ)
50msec
制御入力信号
FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF
オープンコレクタ入力で動作、負論理
センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、
フィラメント電力監視
定格:24VMAX、
50mAMAX、飽和電圧 1V
シリアル通信
SET1~3 セットポイント1~3 LED
本体質量
:80g
コントローラ:約 530g 測定子(SWT-16、SWT-25)
外形寸法
約 183.8×約 75 ×約 62.2mm
適合規格
CE
マルチイオン
SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25)
ゲージセンサ
材質:フィラメント:Ir/Y2O3コート(1 本)
PtC-Mo、SUS304、Kovar glass、Kovar/Niメッキ
オプション
バッフル
SWT-16 用、SWT-25 用
ピラニゲージ
SPU
ピラニゲージ
センサ
WP-16(NW16)
圧力センサ
SAU(NW16) 材質 SUS316L
SAU
φ30
(100)
(31.75)
D-sub15 ピン 2.6mm ネジ
(30)
入出力コネクタ
51
ノイズ 1% 以下)
DC20 ∼ 28V(リップル、
定常時約 8W、
DEGAS 時 19W 以下、電源投入時 6A 以下(4ms)
82.1
電源電圧
ユニット
ケーブル(SPU)
NW16
ケーブル長さ 470±50
R10
IP30
62.2
-20 ∼ 65˚C(非通電時、結露なきこと)
IP 保護等級
ディスプレイ
ケーブル
133.1
15 ∼ 80%(ただし、結露なきこと)
保管温度
183.8
136.2
10 ∼ 50˚C
使用湿度範囲
ディスプレイ
ケーブル
(オス)
D-sub9 コネクター
43
使用温度範囲
単位:mm
φ40
75
NW16
ユニット
ケーブル
(SAU)
67.5
45
SWT-16:17cm3、SWT-25:19cm3
SPU (WP-16)
75
12.5
センサ内容積
ST2 (SWT-16)
(31.75)
2×10+5Pa(絶対圧)※フランジやクランプなどの破壊圧力は別途考慮ください。
62.2
エレクトロンボンバード方式、エミッション電流 2mA、
グリッド電圧約 330V
R40
DEGAS
センサ耐圧
外 形 寸 法 図
183.8
136.2
2mA(1×10-2Pa 以下)、10μA
43
エミッション電流
φ30
NW16
油拡散ポンプ直上に取り付けた試験における
装置到達圧力での真空計の圧力指示
Pressure (Pa)
1.0E-02
市販のCCG
1.0E-03
材質:フィラメントPt、その他 Bs/Niメッキ、
Ni、半田
ユニットケーブル ST2 ∼ SPU、ST2 ∼ SAU 間ケーブル 0.5m
ディスプレイ
マルチイオンゲージ
圧力センサ
ピラニゲージ
POWER/ERROR:パワー、エラー LED
FIL:B-A ゲージ フィラメントなど状態表示
(100)
LED 表示
マルチイオンゲージ
ピラニゲージ
マルチイオンゲージ
RS232C、RS-485
R50
制御出力信号
繰返精度 1×10-4 ∼ 3Pa : ±2%
接続図︵例︶
更新時間
1×10-4 ∼ 3Pa : ±10%
3 ∼ 1×10+3Pa : ±15%
1.0×10+3 ∼
3.0×10+3Pa:±30%
1.0×10+4 ∼
1.0×10+5Pa : ±3%F.S.
(3×10+3Pa・基準温度 25℃)
R50
測定値出力
ST2+SPU
コンビネーション
ST2
測定精度
1 × 10-5 ∼ 1 × 10+1Pa
選択可能です。
モード
ピラニゲージSPU:1 本(オプション)
測定圧力範囲
ST2 は、マルチオインゲージ単体モード、ピラニゲージとのコンビネーションモード、ピラ
ニゲージおよび圧力センサとのトリプルコンビネーションモードの 3 種類の使用方法から
ST2
1.0E-04
1CH ISG1(DC24V 電源使用)
4CH IM1R1(DC24V 電源使用)/IM2R1(AC100V 電源使用)
1.0E-05
ディスプレイ
ST2 ∼ディスプレイユニット間ケーブル
ユニットケーブル 2m、5m、
10m、15m、20m
入出力コネクタ
(D-sub15-soket
(M2.6mmネジ)
)
市販のB−Aゲージ
1.0E-06
0
検査成績書、
一般校正試験成績書、
JCSS 校正証明書
株式会社アルバック 規格品事業部
国内販売: アルバック販売株式会社
■東日本営業統括部 TEL 03-5218-6011
(代)
■西日本営業統括部 TEL 06-6397-2281
(代)
200
400
600
800
1000
1200
Time (h)
w w w. u l va c. c o. j p
お問い合わせ
海外販売: 株式会社アルバック
■規格品事業部
TEL +81-467-89-2261
当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。
1858J-1 /2016035000TL
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