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SF6純度測定器 FI－21－SF6 取扱説明書
PT3-0222 ＳＦ６純度測定器 ＦＩ－２１－ＳＦ６ 取扱説明書 お客様へのお願い ・ご使用になる前に、必ずこの取扱説明書をお読み下さい。 ・ご使用は、取扱説明書の記載通りに行って下さい。 ・保証期間の内外を問わず本製品をご使用することによって生じたいかなる 事故及び損害の補償はいたしません。 保証書に記載される保証規定を必ずご確認下さい。 ・保安計器につき必ず日常点検，６ヶ月定期点検を実施して下さい。 ・機器の異常が発見された場合は遅滞なく最寄りの営業所に連絡下さい。 （最寄りの営業所につきましては、弊社ホームページよりご確認下さい。） 〒174-8744 東京都板橋区小豆沢 2-7-6 ホームページ http://www.rikenkeiki.co.jp/ はじめに この度は、ＳＦ６純度測定器 ＦＩ－２１－ＳＦ６をご採用下さいまして誠にありがとうござい ます。 本製品は、主に「ガス遮断器（ＧＣＢ）」「ガス絶縁開閉器（ＧＩＳ）」や「ガス絶縁変圧器」の 内部のＳＦ６ガスの純度測定や、ＳＦ６の「回収」「リサイクル」事業におけるＳＦ６ガスの純度 測定を目的としたポータブル純度測定器です。 この取扱説明書はＳＦ６純度測定器をご使用頂くためのガイドブックです。初めてご使用頂く方 はもちろんのこと、既にご使用経験のある方もお読み頂き、内容を充分に理解した上で実際にご 使用下さいます様、お願い致します。 本製品は、ＳＦ６の純度測定を行う目的でのみご使用下さい。 本取扱説明書では安全かつ効果的な作業が行えるように、次の見出しを使用しています。 危険 高電圧に触れる等、直接的に人命，身体又は物に重大な被害を及ぼすことを意味します。 警告 取扱説明書どおりの操作や処置を守らないと、身体又は物に重大な被害を及ぼすこと を意味します。 注意 取扱説明書どおりの操作や処置を守らないと、身体又は物に軽微な被害を及ぼすこと を意味します。 ＊ 注記 取り扱い上のアドバイスを意味します。 1 目次 １．使用上の注意・・・・・・・・・・・・ ３ ２．各部名称と働き・・・・・・・・・・・ ４ ３．本器の付属品・・・・・・・・・・・・ ７ ４．配管系統図・・・・・・・・・・・・・ ８ ５．測定手順・・・・・・・・・・・・・・ ５－１．測定準備・・・・・・・・・・・・ ５－２．電源投入・・・・・・・・・・・・ ５－３．ゼロ点校正・・・・・・・・・・・ ５－４．測定ガスの供給・・・・・・・・・ ５－５．測定開始・・・・・・・・・・・・ ５－６．測定の中断・・・・・・・・・・・ ５－７．終了方法・・・・・・・・・・・・ ９ ９ ９ ９ １０ １０ １０ １０ ６．画面表示と操作方法・・・・・・・・・ ６－１．自己診断表示（電源投入時） ・・・・・ ６－２．基本画面表示（測定モード） ・・・・・ ６－３．設定画面表示（設定モード） ・・・・・ １１ １１ １２ １３ ７．保守点検・・・・・・・・・・・・・・ ７－１．日常点検・・・・・・・・・・・・ ７－２．定期点検・・・・・・・・・・・・ ７－３．推奨定期交換部品・・・・・・・・・ １５ １５ １５ １５ ８．製品の廃棄について・・・・・・・・・ １６ ９．トラブルシューティング・・・・・・・ １６ １０．仕様・・・・・・・・・・・・・・・ １７ １１．測定原理・・・・・・・・・・・・・ １８ 2 １．使用上の注意 本器の性能維持および安全のために、下記の注意事項を守って下さい。 危険 ・ 本器の仕様は非防爆構造ですので、危険区域に指定された場所(防爆エリア)では使用 しないで下さい。 ・ 本製品では、サンプリングボックスの大気口や純度測定器の GAS OUT から、測定ガス が排出されます。屋外または、風通しの良い室内でご使用願います。 警告 ・ 乾電池をご使用になる際は、必ず同一種の単 2 アルカリ乾電池を使用して下さい。 ・ 乾電池の交換を行う場合は、4 本同時に新品の電池に交換して下さい。 ・ AC アダプタをご使用になる際は、本器専用のアダプタをご使用下さい。 注意 ・ AC アダプタをご使用になる際は、電源波形を著しく乱す機器と同一系統の電源を使用し ないで下さい。 ・ AC アダプターをご使用になる際は、仕様に沿った定格の電源を使用して下さい。 ・ 輻射熱（高温なものから放射される赤外線）や、直射日光が当たって本器の筐体表面 の温度が 40℃を超えるような場所ではご使用にならないで下さい。 ・ 測定ガス中に雑ガス（SF6 でも AIR でもないガス）がある状態では正確な 指示ができません。雑ガスが混入したガスは測定しないで下さい。 ・ 純度測定器の GAS OUT、REF. OUT は大気開放にして下さい。 ・ 使用環境温度が急激に変動すると、ゼロ点が不安定になります。周辺温度に充分馴染ま せてからご使用下さい。 3 ２．各部名称と働き 流量計 A 流量計 B レギュレータ GAS IN 大気口 濃度測定部 測定ガス－AIR 切換コック ＧＡＳ ＩＮ レギュレータ 測定ガス－AIR 切換コック 流量計 A (供給ライン用) 流量計 B (測定ライン用) 濃度測定部 大気口 測定ガスの供給口です。 付属の耐圧配管を使って、「サンプリングポイント」と、この「GAS IN」を連結 し、測定ガスを供給します。供給圧は 0.15～0.7MPa として下さい。 GAS IN から供給された測定ガスを減圧します。 「測定ガス-AIR 切換コック」を縦に回した状態で、圧力が 0.1±0.02MPa にな るように設定します。 測定ガスと AIR の切換を行います。 このコックを横向きになるように回すと（左上図の状態）、 「濃度測定部」が「大 気口」から空気（零ガス）を取込む状態になります。 このコックを縦向きになるように回すと、GAS IN からの測定ガスが、「濃度測 定部」に取込まれる状態になります。 測定ガスの供給流量を表示します。 「測定ガス-AIR 切換コック」を縦に回した状態で、流量が 0.4 L/min 以上にな るように調整します。 「濃度測定部」(測定ライン)の流量を表示します。 「測定ガス-AIR 切換えコック」を横に回した状態で（SF6 純度計が零ガスを取 込んでいる状態で）、流量が 0.2±0.02L/min になるように調整します。 測定ガスの純度測定を行う機器です。 次頁以降に詳細説明を記載します。 AIR の取込口及び余剰測定ガスの排出口です。 「測定ガス－AIR 切換えコック」が横になっている時（左上図の状態）は、空 気（零ガス）の取込口になります。 「測定ガス－AIR 切換えコック」が縦になっている時には、余剰測定ガスが排 気される排出口になります。 4 濃度測定部 正面 ① POWER キー ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ブザーが鳴動するまで押すことにより電源が入ります。LCD 表示が消える まで押し続けると(約 3 秒)電源が切れます。 ② LCD 「濃度」を表示します。また、時刻や乾電池残量などを表示します。 ③ SAMPLING LED 電源ＯＮ時に点灯します。 MODE キー 電源が入っている状態で、このキーを 2 秒以上押し続けることにより、時 刻や LCD の表示コントラストなどを調整する「設定モード」に入ります。 (CANCEL キー) ｢▼, ▲キー｣で設定した内容を取り消す時に使用します。 SAVE キー このキーを押すと、表示されている「測定結果」や「日時」などのデータ を保存します。保存可能なデータ数は最大で 100 データです。 (▼ キー) LCD の表示コントラストの調整やカーソルの移動に使用します。 RANGE キー このキーで、小数点以下の濃度表示の ON/OFF を選ぶことが出来ます。 (▲ キー) LCD の表示コントラストの調整やカーソルの移動に使用します。 AIR CAL キー 零ガス（新鮮な空気）を使って、ゼロ点校正を行う際に使用します。 (ENTER キー) 「 ▼，▲キー 」で選んだ項目や数値の決定の際に使用します。 ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ブザー 電源 ON/OFF 時や、特殊な操作、誤った操作を行った時などに鳴動します。 （ ）は「 設定モード 」での働きです。 5 左側面 ⑩ 右側面 ⑪ ⑨ ⑫ ⑬ ⑭ 底面 ⑮ ⑨ GAS IN 測定ガスの取込口です。 ⑩ REF. OUT 比較ガス室および大気圧センサに続いている出口です。大気圧の新鮮な空気 中で開放されている必要があります。 ⑪ GAS OUT GAS IN から取込まれた測定ガスが排出される出口です。 ⑫ DC6V DC6V：専用 AC アダプタを使って本器を駆動させる時の端子です。 ⑬ REC. 0－1V 外部出力ジャックの端子です。 【オプション機能】 ⑭ 電池蓋 電池ボックスの蓋です。 ⑮ ネジ 電池蓋を止めるためのネジです。ドライバーやコインで開閉できます。 6 ３．本器の付属品 ＦＩ－２１－ＳＦ６には以下の付属品が付きます。納品時荷確認して下さい。 採取口用ニップル 測定ガスの採取口として、本部品をサンプリングポイントにお取付け下さい。 高圧サンプリング用 耐圧配管 サンプリングポイントに取付けて頂いた「採取口用ニップル」と、本製品サンプリングボック スの GAS IN を結ぶ配管です。（ 最大圧 0.7MPa、長さ約 2ｍ ） 単二アルカリ乾電池(×４本) 本製品を動かすための乾電池です。 専用 AC アダプタ（ 特別付属品 ） 専用 AC アダプタは特別付属品です。 （ AC100～120V 用、ケーブル長 約 2ｍ ） 7 ４．配管系統図 本製品の配管系統は、下図のような構成になっており、「測定ガス-AIR 切換えコック」の開閉 によって、以下のような動きをします。 注意 ご使用になる前に、大気口の栓を外して下さい。 （大気口の位置は第２章 各部名称と働き を参照して下さい。） 「測定ガス-AIR 切換えコック」を閉じた時 ・ 「濃度測定部」の内蔵ポンプで、「大気口」から新鮮な空気（零ガス）を流量 0.2 L/min で 吸引します。この状態でゼロ点の調整を行います。 「測定ガス-AIR 切換えコック」を開いた時 ・ 大気圧ラインに流量計 A から「測定ガス」が供給されます（流量 0.4 L/min 以上）。 ・ 大気圧まで減圧された大気圧ライン内の「測定ガス」を、 「濃度測定部」の内蔵ポンプで吸 引し純度測定を行います。(この時、流量計 B の流量が、0.3ｍL/min 程度に上昇しますが異 常ではありません) ・ 余剰測定ガスは、大気口から排出されます。 流量計Ａ(供給ライン用) 設定流量 0.4L/min 以上 測定ガス－AIR 切換えコック 大気口 ＧＡＳ ＩＮ 大気圧ライン レギュレータ 設定圧 0.1MPa 測定ガス供給圧 0.15～0.7MPa （ガス圧が 0.7MPa を超える場合は ﾌｨﾙﾀ 流量計 B(測定ライン用) 設定流量 0.2 L/min GAS 室 REF 室 ポンプ SF6 純度計 8 0.7MPa 以下に減圧して下さい。 ） ５．測定手順 ５－１．測定準備 本器に電源を供給して下さい。 AC アダプタをご利用になる場合 AC アダプタをご利用になる場合は、サンプリングボックス左側 面の右写真矢印の部分に、付属の専用 AC アダプタを差し込んで 下さい。 左側面の拡大写真 乾電池をご利用になる場合 ネジ 乾電池をご利用になる場合は、「濃度測定部」をサンプリング ボックスから取り出し、底の部分に単二アルカリ乾電池×4 本を 入れて下さい。 底部分の蓋のネジは、コインやマイナスドライバーで外せます。 濃度測定部の底部写真 注意 ご使用になる前に、大気口の栓を外して下さい。 （大気口の位置は第２章 各部名称と働き を参照して下さい。） ５－２．電源投入 「測定ガス－AIR 切換えコック」が横 向きになっている状態で、「SF6 純度 計」の POWER キーをブザーがピーッと鳴 動するまで押します。 ５－３．ゼロ点校正 「流量計 B(測定ライン用)」の流量 を 0.2±0.04 L/min に調整し、指示が 安定するのをまってから AIR CAL キー をブザーが鳴動するまで押します。 （ゼロ点校正） 9 ５－４．測定ガスの供給 本器の「 GAS IN 」とサンプリングポイントを、付属の「耐圧配管」で接続し、測定ガスを供 給します(供給圧 0.7MPa 以下)。 「レギュレータ」の圧力が 0.1±0.02MPa であることを確認します。 (レギュレータの圧力調整を行う際は、 次の頁の操作時に実施して下さい。) ５－５．測定開始 「測定ガス－AIR 切換えコック」を縦向 きにすると、測定を開始します。「流量 計 A(供給ライン用)」の流量は 0.4L/min 以上に調整します。この「流量計 A」の 流量が多いと、指示が早く安定します。 1 回目の測定では「耐圧配管」の内部 や、「レギュレータ」、「内部の配管」な どに空気が残っているため、流量を 0.8L/min に調整する事をお勧めします。 ５－６．測定の中断 ゼロ点を確認する場合など、測定を一時中断する場合は、 「測定ガス－AIR 切換えコック」を横 向きにして下さい。 ５－７．終了方法 ① 「SF6 純度計」の電源を落とす前に、 「測定ガス－AIR 切換えコック」を 横向きにして、新鮮な空気を吸引さ せます。 POWER キーを LCD の表示が消えるま で押し続けます（この間ブザーが 3 回鳴動します）。 ② キャリアボックスの蓋を閉じる場合 は、ストッパーの解除ボタンを押し ながら閉じて下さい。 10 ６．画面表示と操作方法 ６－１．自己診断表示（電源投入時） 本器は電源を入れると、まず自己診断機能が自動的に作動し、左下図に示す「自己診断画面」 が表示されます。自己診断の結果に異常がなければ、「設定確認画面」が約 2 秒間表示された後、 測定を開始します。 12:00 12:00 ＯＫ ＢＡＴＴＥＲＹ ・・・ ＣＯＮＴＲＡＳＴ・・・ ＯＫ ＢＲＩＧＨＴＮＥＳＳ・ ＯＫ ＪＡＮ ．３０ ２００１ ＳＥＴＴＩＮＧ ＮＯ．１ ＳＦ６ ｉｎ ＡＩＲ ０．０－１００．０ ％ 設定確認画面 自己診断画面 電源投入時の自己診断で、問題のある項目が見つかれば、 「ピーッ」というブザーの鳴動と共に、問題のある項目が右 ＢＡＴＴＥＲＹ ・・・ ＣＯＮＴＲＡＳＴ・・・ ＢＲＩＧＨＴＮＥＳＳ・ ＪＡＮ．３０ ２００１ 下図のように白黒反転で表示されます。 12:00 ＯＫ ＬＯＷ ＯＫ センサが汚れている場合 測定が出来ないほど問題が進行している場合は、測定動作に 移らずに、右図のような ERROR メッセージの表示に切り換わ 12:00 ＥＲＲＯＲ：ＳＹＳＴＥＭ ります。 ERROR 表示の意味と必要な処置は以下の通りです。 表示内容 ERROR：LOW BATT． ERROR：CONTRAST ERROR：BRIGHTNESS ERROR：SETTING ERROR：SYSTEM ERROR：PUMP 意味と必要な処置 電池電圧が低すぎて測定できない状態です。電池の交換が必要です。 干渉計センサのコントラストが汚れのために低下し、測定が出来な くなった状態です。干渉計センサの交換または修理が必要です。 干渉計センサの光量が低く測定が出来なくなった状態です。干渉計 センサの交換または修理が必要です。 本器の設定データが破損した可能性がある状態です。修理が必要と なります。 システムに異常が発生した状態です。修理が必要となります。 ポンプが駆動していない可能性がある状態です。ポンプの交換など が必要となります。 11 ６－２．基本画面表示（測定モード） 保存されたデータが存在す 電池残留量が表示されます。 ると表示されます。 時刻が 24 時間表記で表示されます。 24:00 測定中のＳＦ6 の濃度が表示されま す。99.9%を超えるＳＦ6 を検知した ９９．８ % 場合は、99.9％up と表示されます。 SAVE キーを押した時には保存された ＳＦ６ ｉｎ ＡＩＲ データの No．が表示されます。 表示内容 状 態 ＳＦ6 in AIR 通常の測定状態です。 CAUTION CHECK AIR CAL. 「AIR CAL. 注意表示」です。電源入力直後や、ゼロ点のドリフトが 発生している可能性が高い時に表示します。新鮮な空気を吸引して、 ゼロ点校正を行う必要があります。 CAUTION ABNORMAL TEMP. 「異常温度 注意表示」です。内蔵された温度センサが異常温度を検 知すると表示します。 CAUTION LOW BATT. 「電圧低下 注意表示」です。電池電圧が低下している時に表示され ます。電池の交換をして下さい。 CAUTION LOW CONTRASUT CAUTION LOW BRIGHTNESS 「コントラスト低下 注意表示」です。干渉計センサの汚れが進行し ていることを意味します。測定が出来なくなる前に、センサの交換 または修理をすることをお勧めします。 「光量低下 注意表示」です。干渉計センサの光量低下が進行してい ることを意味します。測定が出来なくなる前に、センサの交換また は修理をすることをお勧めします。 注意 表 示 用 LCD に ”CAUTION ～ ” と 表 示 さ れ た 場 合 は 、 適 切 な 処 理 を 早 急 に 施 し ”CAUTION ～ ” と表示されない状態にして下さい。 測定結果の保存 表示されている測定結果を保存したい場合は、「SAVE キ ー」をブザーが鳴動するまで押して下さい。右図のような画 面が表示され、その時の年月日や時刻、測定結果が保存され ます。データは No.001～No.100 まで順番に保存されます。 保存されたデータの内容は設定モードの｢VIEW SAVED DATA｣ で確認することができます。 保存されたデータの消去は、設定モードの｢CLEAR SAVED DATA｣で行えます。 12 12:00 SAVE DATA No.005 ＳＦ６ ｉｎ ＡＩＲ ６－３．設定画面表示（設定モード） 設定モードは、「時計の調整」、「LCD 表示部のコントラスト調整」「保存したデータの確認」等 を行うためのモードです。 電源投入後「 MODE キー 」を 2 秒以上押し続けることにより、この モードに入ることが出来ます。 12:00 この設定モードに入ると右図のような基本画面が表示されます。 ＳＴＡＲＴ ＭＥＡＳ． ＳＥＴ ＤＡＴＥ ／ ＴＩＭＥ ＶＩＥＷ ＳＡＶＥＤ ＤＡＴＡ ＣＬＥＡＲ ＳＡＶＥＤ ＤＡＴＡ 「 ▼ ▲キー 」でカーソル（黒いバー）を移動させて、設定した い項目を選択し「 ENTER キー 」を押して決定することによって、 各項目の設定画面に進むことが出来ます。 設定モードの基本画面 設定項目と内容 測定モードに戻り、測定を開始します。 時計の調整 ＶＩＥＷ ＳＡＶＥＤ ＤＡＴＡ 保存したデータの確認 ＣＬＥＡＲ ＳＡＶＥＤ ＤＡＴＡ 保存したデータの消去 ＬＣＤ ＣＯＮＴＲＡＳＴ ＬＣＤ表示部のコントラストの調整 ＳＴＡＲＴ ＭＥＡＳ. ＳＥＴ ＤＡＴＥ ／ ＴＩＭＥ 測定モードへの移動 （ ＳＴＡＲＴ ＭＥＡＳ． ） 「設定モード」を終了し、通常の測定画面に戻るためのものです。 12:00 右図のように「 CANCEL 」と「 START MEAS. 」の選択項目が表示 ＣＡＮＣＥＬ ＳＴＡＲＴ ＭＥＡＳ． されます。 通常の測定画面に戻ってよい場合は、「 ▼ ▲キー 」で｢START MEAS.｣を選択し、｢ ENTER キー ｣で実行して下さい。 時計の調整 （ ＳＥＴ ＤＡＴＥ ／ ＴＩＭＥ ） 内蔵された時計機能の調整を行うためのものです。右図のような 画面が表示されます。初期のカーソル位置は西暦の項です。「 ▼ ▲キー 」で入力して、「 ENTER キー 」で決定して下さい。続いて カーソル位置が月の項に移動します。以下同様の手順で、日, 時: 12:00 ＤＡＴＥ ２００３ ／０５／１９ ＴＩＭＥ １２：００ 分を入力して下さい。 時刻は 24 時間表記で表示されます。 保存したデータの確認 （ ＶＩＥＷ ＳＡＶＥＤ ＤＡＴＡ ） 保存されたデータの確認を行うためのものです。左下図の画面が表示されます。一行目は保存 されたデータ番号、2～3 行目は、そのデータが保存された日時です。｢ ▼ ▲キー ｣で、確認し たいデータ番号を選択し、｢ ENTER キー ｣で決定すると、保存されたデータが表示されます。保 存されたデータの表示を行っている際は、SF6 in AIR と表示されている部分が、白黒反転表示 します。「 CANCEL キー 」を押すと設定モードの基本画面に戻ります。 12:00 ＮＯ ．００１ ＤＡＴＥ：２００３／０５／１９ ＴＩＭＥ： １６：３２ ▼ ▲＋ ＥＮＴＥＲ 12:00 ＥＮＴＥＲ ９９．８ % ＳＦ６ ｉｎ ＡＩＲ ▼ ▲キーでデータ番号を選択 ＮＯ．００１ ▼ ▲キーでデータ番号を選択 13 保存したデータの消去 （ ＣＬＥＡＲ ＳＡＶＥＤ ＤＡＴＡ ） 保存されたデータを消去するためのものです。誤操作防止のた めに、「 CANCEL 」と「 CLEAR SAVED DATA 」の選択項目が表示 されます。 12:00 ＣＡＮＣＥＬ ＣＬＥＡＲ ＳＡＶＥＤ ＤＡＴＡ ログデータを消去して良い場合は、｢ ▼ ▲キー ｣で｢CLEAR SAVED DATA」を選択し、｢ ENTER キー ｣で実行して下さい。 データ消去の作業を取り消す場合は「CANCEL」を選択し、「ENTER キー」で実行して下さい。 ＊注記 FI-21 では、最大 100 個の測定結果のデータを保存することが出来ますが、保存された個々 のデータを個別に消去することは出来ません。 ログデータの消去を実行すると、保存されていた全てのデータが消去されます。また一度 消去したデータは復活させることは出来ませんので、充分ご注意願います。 ＬＣＤ表示部のコントラスト調整 （ ＬＣＤ ＣＯＮＴＲＡＳＴ ） ＬＣＤ表示部のコントラストを調整するためのもので す。「 ▼ ▲キー 」でＶＡＬＵＥの値を増減させることで、 ＬＣＤ表示画面のコントラストを調整できます。 ＬＣＤ表示画面が見えにくいときなどは、この機能で調 整して下さい。 LCD CONTRAST VALUE = 16 LCD コントラスト調整画面 14 ７．保守点検 ７－１．日常点検 1) スイッチ類、ランプ，表示部，ボディ等に破損がないか？ 2) 電池電圧の確認 3) 動作中に”CAUTION～”や”ERROR”表示がされないか？ 4）レギュレータは規定圧力に調整できるか？ 5）流量計は規定流量に調整できるか？ ７－２．定期点検 本器が正常に動作していることを確認するために、感度確認などを含めた定期点検（１年に１ 回以上）を実施することをお勧めします。異常が確認された場合や、感度校正を依頼する場合は、 販売店または弊社営業部へご連絡下さい。 ７－３．推奨定期交換部品 下記に示すのは部品の交換頻度は目安です。使用頻度、保管状態などによって使用可能な期間 は、大きく変わりますのでご了承願います。 1) 内部ポンプ・・・・・・・・・・・・ 2 年 2) フィルタ・・・・・・・・・・・・・ 1 年 3) 接ガス部ゴム材・・・・・・・・・・ 4 年 4) メイン基板・・・・・・・・・・・・ 8 年 5) 干渉計センサ部・・・・・・・・・・ 8 年（光学素子の清掃のみ） 6) 流量計・レギュレータなど・・・・・ 8 年 15 ８．製品の廃棄について 本製品は環境に有害な物質（機材）は使用しておりません。本製品を廃棄処分する場合は地域 の法令等に従い、適切な廃棄処理をして下さい。 ９．トラブルシューティング このトラブルシューティングは、全ての不具合の原因を示した物では有りません。最もよく起 る不具合の原因究明の手助けとなるものを簡単に示してあります。 症 状 ・電源が入らない 原 因 処 置 乾電池が入っていない、ま 乾電池を入れる。または専 たは専用ＡＣアダプタが接 用のＡＣアダプタを使用し て下さい。 続されていない。 電 池 の 極 性 が 間 違 っ て い 電池を正しい方向で入れて 下さい。 る。 ・指示値が正しくない。 電源（入力）スイッチを押 ブ ザ ー が 鳴 動 す る ま で POWER キーを押し続けて下 す時間が短い。 さい。 AIR CAL.が正しく行われて 新鮮な空気を充分に吸引し てから AIR CAL.キーを押し いない。 て下さい。 雑ガス（測定ガスでもベー 雑ガスが含まれるものは、 スガスでもないガス）が含 本器では測定できません。 まれている。 16 １０．仕様 名 称 ＳＦ６純度測定器（ SF6 PURITY 型 式 ＦＩ－２１－ＳＦ６ 理 光波干渉式 検 知 原 ANALYZER ） 測定対象ガス ＳＦ６（ＡＩＲベース） 測 定 範 囲 ０～１００vol％（最小表示デジット ０.１vol％） 指 示 精 度 ±１vol％ 示 ＬＣＤ デジタル表示 表 サンプル流量 ０.４ L/min 以上 サンプル圧力 ０.１５～０.７ MPa gauge 使用温度範囲 －１０～４０℃ ９５％RH 以下（結露なきこと） 電 源 単２アルカリ乾電池 × 4 本、または専用ＡＣアダプタ（特別付属品） 命 約２０時間（連続通電の場合） 寸 法 約３４６(Ｗ)×２４８(Ｈ)×１８６(Ｄ)mm （突起部を除く） 質 量 約５.５ｋｇ 機 能 大気圧補正、温度補正機能付 電 池 寿 17 １１．測定原理 混合ガスの屈折率は、それを構成するガスの種類とそれらの混合比で決ります。構成ガスの種類 があらかじめ解っている場合は、屈折率を測定することによって、それらの混合比（濃度）を求 めることが出来ます。 FI-21 に使われている光波干渉式センサは、屈折率変化に比例して移動する「干渉縞」を CCD 上 に結像します。この干渉縞の移動量は、CCD によって取り込まれた「干渉縞の像」に高速フーリ エ解析処理を施すことによって高精度で求められ、屈折率に換算されます。 高精度で求められた「屈折率」に、ガスを構成する「測定ガス」と「ベースガス」の種類や屈折 率などの諸データを入力することによって、さまざまな混合ガスの「濃度」や「熱量」などを表 示することが出来ます。 光波干渉式センサの感度は、ガスを流すチャンバーの長さで決まります。このチャンバーの長さ は物理的に不変であるため、長期にわたって高い精度を維持します。 プリズム 平行平面鏡 チャンバー CCD LED 光源 ミラー レンズ 光波干渉式センサの概略図 18