基準認証研究開発事業 （MEMSデバイス機構材料の寿命加速試験法

平成１８年度経済産業省委託事業成果
基準認証研究開発事業
（ＭＥＭＳデバイス機構材料の寿命加速試験法、
並びにその特性評価試験用校正試料の標準化）
成果報告書
平成１９年３月
財団法人マイクロマシンセンター
平成１８年度成果報告書目次
目
次
まえがき
1
本文
研究開発の目的と達成状況
2
1.
要約
2
2.
委託業務実施計画
3
3.
実施結果
6
4.
結論
9
第1部
ＭＥＭＳデバイス機構材料の寿命加速試験法の標準化に関する研究開発
第1章
名古屋大学における研究開発成果
11
12
1.1
概要
12
1.2
実施結果及び考察
13
1.3
結論
21
1.4
参考文献
21
1.5
研究発表・講演，文献，特許等の状況
21
第２章
京都大学における研究開発成果
23
2.1
概要
23
2.2
実施結果及び考察
24
2.3
結論
36
2.4
参考文献
37
2.5
研究発表・講演，文献，特許等の状況
37
第3章
熊本大学における研究開発成果
38
3.1
概要
38
3.2
実施結果及び考察
39
3.3
結論
51
3.4
参考文献
52
3.5
研究発表・講演，文献，特許等の状況
52
第4章
名古屋工業大学における研究開発成果
53
4.1
概要
53
4.2
実施結果及び考察
53
4.3
結論
62
4.4
参考文献
62
4.5
研究発表・講演，文献，特許等の状況
63
第5章
兵庫県立大学における研究開発成果
64
5.1
概要
64
5.2
実施結果及び考察
64
5.3
結論
75
5.4
参考文献
75
5.5
研究発表・講演，文献，特許等の状況
75
第2部
ＭＥＭＳデバイス機構材料の特性評価試験用校正試料
の標準化に関する研究開発
第1章
東京工業大学における研究開発成果
76
77
1.1
概要
77
1.2
実施結果及び考察
78
1.3
結論
88
1.4
参考文献
89
1.5
研究発表・講演，文献，特許等の状況
90
第2章
東北大学における研究開発成果
92
2.1
概要
92
2.2
実施結果及び考察
93
2.3
結論
99
2.4
参考文献
100
2.5
研究発表・講演，文献，特許等の状況
100
第3章
大阪大学における研究開発成果
101
3.1
概要
101
3.2
実施結果及び考察
101
3.3
結論
111
3.4
参考文献
112
3.5
研究発表・講演，文献，特許等の状況
112
第4章
アルバック・ファイ株式会社における研究開発成果
113
4.1
概要
113
4.2
実施結果及び考察
114
4.3
結論
119
4.4
参考文献
120
付録
121
A 委員会議 事録
122
B 調査報告
132