Comments
Description
Transcript
HEPAフィルター 粒子の捕集原理 - クリーンルーム 空調設備 アッシュ
0. . 0 0. . 0. . 15 1 1 .1 00 m 15 1 1μ 0. μ 0.05 0. μ 1 . μ 10 5 .5 1. 5 μ 0.01 5.5 10,000 0.5 1,000,000 10 ³ (0.5μm . 100,000 10,000 1,000 -100 0.01 10 ❘ 0 0 0 5 ❘ 10 . 0.1μ .5 .5 ( 1 0.1 1 1