応化便り 応化便り - 岐阜県産業技術センター

応化便り
“地域・産業・未来のために“
岐阜県産業技術センター
応用化学研究部
平成１９年７月 ６号
応用化学研究部では、プラスチック、石灰、化
学工業関連企業のみなさまに役立つ情報を提
供します。
今回は、新しく導入した「真空紫外光露光装置」をご紹介します。
真空紫外光露光装置とは
○波長：172nm・・・紫外領域よりさらに短い真空紫外領域の波長
○分光分布に見られるような単一波長である。
○プラズマやコロナ放電装置などと比べて安価である。
○大気中で処理できるため、真空排気装置が要らない。
○一度に大面積の処理が可能である。
○光の波長が短く、照射出力も10mW/cm2と高いため、
高速処理が可能である。
○照射により熱がかからず、耐熱温度の低いプラスチック基板にも適用可能である。
○フォトマスクを用いることで、パターニング（微細加工）が可能である。
真空紫外光露光装置を用いた研究例
◎表面改質
62o
水滴接触角
112o
基板表面の親水化
有機薄膜の形成
~5o
-CH3基終端の薄膜
形成による疎水表面
・無機・有機材料表面を露光することにより表面にOH基やCOOH基が形成され、
親水化表面が得られる。
・活性な官能基を持つ有機薄膜を形成することで、従来不可能であった塗料や接着剤
などが被膜できるようになる。
◎微細構造作製
・フォトマスクの形状どおりのパターニングができ、
無機材料表面に作製した有機薄膜のパターンや
プラスチックを直接分解して、微細構造が作製できる。
・パターン化した有機薄膜を利用して、選択的にめっき
することによる金属微細構造の作製や、プラスチック製
のマイクロチップなどに応用可能である。
本装置を用いて、今年度の重点研究課題「高密着性を有するプラスチック表面改質技術の開発」
を行います。この研究では、プラスチック表面の特性をナノレベルで制御し、めっき膜や
塗膜、接着剤等に対する密着性を上げることを目標としています。
プラスチック、セラミックスや金属の表面改質（濡れ性・密着性など）について、
本装置を用いた処理をやってみたいと思われましたら、ご相談下さい。
※お問合せ先：応用化学研究部 浅倉秀一
TEL:058-388-3151