...

SEMI緊急遮断用EMOスイッチ

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SEMI緊急遮断用EMOスイッチ
図
SEMI緊急遮断用EMOスイッチ
240
FBシリーズ樹脂コントロールボックス ▶ 01 565
AGAW形コントロールボックス ▶ 01 590
SEMI緊急遮断用(EMO)スイッチ/FBシリーズ樹脂製コントロールボックス
安全スイッチ・
セーフティプラグ
種類[形番・標準価格]
●
非接触安全スイッチ
φ16 XAシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ はんだづけ端子形プッシュロック プルorターンリセットスイッチ
メイン接点 モニタ接点
(b接点) (a接点)
品名・外観
1b
2b
3b
4b
1b
2b
3b
大形(φ40)ボタン
標準価格
(税別・円)
形番(ご注文形番)
ー
ー
ー
ー
XA1E-BV401RH-EMO
XA1E-BV402RH-EMO
XA1E-BV403RH-EMO
XA1E-BV404RH-EMO
XA1E-BV411RH-EMO
XA1E-BV412RH-EMO
XA1E-BV413RH-EMO
1a
1a
1a
販売単位:1個
2,790
3,040
3,300
3,560
3,040
3,300
3,560
●
●
ティーチング
ペンダント
セーフティ
モジュール
積層表示灯
カテゴリ別
制御回路例
φ22HWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチプッシュロック ターンリセットスイッチ
メイン接点 モニタ接点
(b接点) (a接点)
品名・外観
大形(φ40)ボタン
販売単位:1個
標準価格
(税別・円)
形番(ご注文形番)
1b
ー
HW1B-V401R-EMO
2,065
1b
1a
HW1B-V411R-EMO
2,410
2b
ー
HW1B-V402R-EMO
2,410
2b
2a
HW1B-V422R-EMO
3,080
メイン接点 モニタ接点
(b接点) (a接点)
ー
1b
ー
2b
ー
3b
ー
4b
大形(φ40)ボタン
1b
2b
3b
2b
1a
1a
1a
2a
表示器
ボックス
足踏スイッチ
形番(ご注文形番)
感電防止用カバー付
IP20仕様
XW1E-BV401MFRH-EMO
XW1E-BV402MFRH-EMO
XW1E-BV403MFRH-EMO
XW1E-BV404MFRH-EMO
XW1E-BV411MFRH-EMO
XW1E-BV412MFRH-EMO
XW1E-BV413MFRH-EMO
XW1E-BV422MFRH-EMO
XW1E-BV401MRH-EMO
XW1E-BV402MRH-EMO
XW1E-BV403MRH-EMO
XW1E-BV404MRH-EMO
XW1E-BV411MRH-EMO
XW1E-BV412MRH-EMO
XW1E-BV413MRH-EMO
XW1E-BV422MRH-EMO
販売単位:1個
標準価格
(税別・円)
2,630
2,940
3,250
3,560
2,940
3,250
3,560
3,560
●
●
照光種別
コントロールユニット・外観
コンビネーションスタータ・
配線用遮断機
受注生産品・
納入事例
内圧防爆構造
防爆資料編
非照光式
押ボタンスイッチ
(プッシュロックターンリセット)
販売単位:1個
形番(ご注文形番)
標準価格
SEMIスイッチガード付
(税別・円)
標準価格
(税別・円)
1b
ー
FB1W-HW1B-V401R-EMO-Y0
3,320
FB1W-HW1B-V401R-EMO-Y□
4,350
2b
ー
FB1W-HW1B-V402R-EMO-Y0
3,640
FB1W-HW1B-V402R-EMO-Y□
4,670
1b
1a
FB1W-HW1B-V411R-EMO-Y0
3,640
FB1W-HW1B-V411R-EMO-Y□
4,670
一覧
X6
XA
XW
HW
XN
HN
コントロール
ボックス
SEMI対応
●
照光種別
FBシリーズ樹脂製コントロールボックス〔φ22XWシリーズSEMI用EMO表示付〕
コントロールユニット・外観
メイン モニタ
接点
接点
(b接点)(a接点)
非照光式
1b
2b
3b
4b
1b
2b
3b
2b
形番(ご注文形番)
SEMIスイッチガードなし
ー
ー
ー
ー
標準価格
(税別・円)
FB1W-XW1E-BV401MRH-EMO-Y0
4,080
FB1W-XW1E-BV402MRH-EMO-Y0
4,390
FB1W-XW1E-BV403MRH-EMO-Y0
4,700
FB1W-XW1E-BV404MRH-EMO-Y0
5,010
1a
FB1W-XW1E-BV411MRH-EMO-Y0
4,390
1a
FB1W-XW1E-BV412MRH-EMO-Y0
4,700
1a
FB1W-XW1E-BV413MRH-EMO-Y0
5,010
2a
FB1W-XW1E-BV422MRH-EMO-Y0
5,010
注)形番の□にはSEMIスイッチガードの指定記号が入ります。
(2:HW9Z-KG3形、3:HW9Z-KG4形)
HW9Z-KG3、HW9Z-KG4付きはSEMI S2に適合しています。詳しくは 242 頁をご覧ください。
φ22 XWシリーズ押ボタンスイッチ
プッシュロックプルorターンリセット
販売単位:1個
SEMIスイッチガード付
標準価格
(税別・円)
FB1W-XW1E-BV401MRH-EMO-Y□
FB1W-XW1E-BV402MRH-EMO-Y□
FB1W-XW1E-BV403MRH-EMO-Y□
FB1W-XW1E-BV404MRH-EMO-Y□
FB1W-XW1E-BV411MRH-EMO-Y□
FB1W-XW1E-BV412MRH-EMO-Y□
FB1W-XW1E-BV413MRH-EMO-Y□
FB1W-XW1E-BV422MRH-EMO-Y□
5,110
5,420
5,730
6,040
5,420
5,730
6,040
6,040
FBシリーズ樹脂製コントロールボックスの詳細については、01 565 頁をご覧ください。
ご購入
最新の製品情報はこちら
(15/05/13)
www.idec.com/jpja
239
停止用
非常停止用スイッチ
HWシリーズ
SEMI用EMO表示付
SEMIスイッチガードなし
配線引込器具
各種案内
FBシリーズ樹脂製コントロールボックス〔φ22HWシリーズSEMI用EMO表示付〕
メイン モニタ
接点
接点
(b接点)(a接点)
コントロール
ユニット
端子台
ボタン色は、
RH(ブライト系赤)のみです。文字色は白です。
スイッチの仕様、取扱いについては、φ22XWシリーズ( 205 頁)をご覧ください。
●
バリア・
検出機器
接続箱
φ22 XWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ ねじ端子形プッシュロック プルorターンリセットスイッチ
品名・外観
セーフティコンポ
資料編
コントロール
ボックス
※ボタン色は赤
(R)、
文字色は白です。
※スイッチの仕様、取扱いについては、HWシリーズ( 218 頁)をご覧ください。
●
非常停止用
スイッチ
イネーブル
スイッチ
ボタン色は、
RH(ブライト系赤)のみです。文字色は白です。
スイッチの仕様、取扱いについては、φ16XAシリーズ( 199 頁)をご覧ください。
●
セーフティ
ライトカーテン
SEMI緊急遮断用EMOスイッチ
外形寸法図
φ16 XAシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ
取付穴加工図
取付パネル厚0.
5∼3.
7
(単位:mm)
φ22HWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ
LOC
K
ロックナット
ø 16
.2
+0
0 .2
ゴムワッシャ
端子カバー
XA9Z-VL2
1接点
49.4(1・2接点時)
2接点 4接点
ø2
K
25
26.5
40
21
25.8
30.4
ロックレバー
φ
21
30.4
2.1
29.4
32
LOC
ロックナット
29.4
13
69.4(4接点時)
ø4
0
9.
8
ロックナット
20.6
41.4
27.2
19.8
8.7
17.9
25
+0.2
1.7 0
26.5
●
●
+0.2
0
●
はんだづけ端子形
1接点
●
49.4(1・2接点時)
2接点 4接点
φ22XWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ
●
取付穴加工図
●
.8m
ø2
FBシリーズコントロールボックス
φ22XWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ
ax
.
+0.2
0
3.2
ボックスカバー取付ねじ
+0
0 .4
4−M4タッピングねじ用下穴(深さ:10mm)
2−ボックス正面取付用穴
コントロールユニット
ø14ノックアウト
21
41
□
76
21
24.1+0.4
0
2.3
29.4
32
R0
0.5
13
69.4(4接点時)
32.2
0
32.2
ø4
21
ボックスカバー
2−ø21.3ノックアウト
37
59.5
ボックスベース
ロックナット
パネル厚0.8∼6
FBコントロールボックス
●
φ22HWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ
35
ボックスカバー
ボックスカバー
2-φ21.3ノックアウト
ボックスベース
59.5
ボックスベース
18
59.5
.6
18
Ø4
2-
.6
15.5
62
2-φ21.3ノックアウト
240
4-M4タッピングねじ用下穴(深さ:10mm)
2-ボックス正面取付用穴
φ14ノックアウト
21
41
21
41
21
コントロールユニット
ボックスカバー取付ねじ
ガード
Ø4
2-
15.5
62
32
SEMIスイッチガード
(HW9Z-KG3形)
4-M4タッピングねじ用下穴(深さ:10mm)
2-ボックス正面取付用穴
φ14ノックアウト
□76
コントロールユニット
□76
ボックスカバー取付ねじ
FBコントロールボックス
φ22HWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ+
21
●
18
端子カバー
XW9Z-VL2M
.6
15.5
62
M3端子ねじ ゴムワッシャ
20.1
ø4
18.5
2-
47.2
48.7
ご購入
最新の製品情報はこちら
www.idec.com/jpja
(10/12/28)
ロ
SEMI緊急遮断用EMOスイッチ
FBコントロールボックス
●
●
φ22HWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ+
SEMIスイッチガード
(HW9Z-KG4形)
FBシリーズコントロールボックス
φ22XWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ+
SEMIスイッチガード(HW9Z-KG3形)
非接触安全スイッチ
4−M4タッピングねじ用下穴(深さ:
10mm)
4-M4タッピングねじ用下穴(深さ:10mm)
2-ボックス正面取付用穴
φ14ノックアウト
コントロールユニット
ボックスカバー取付ねじ
ガード
安全スイッチ・
セーフティプラグ
コントロールユニット
ボックスカバー取付ねじ
2−ボックス正面取付用穴
ガード(HW9Z-KG3)
ø14ノックアウト
セーフティ
ライトカーテン
非常停止用
スイッチ
35
21
41
.6
ø4
35
2-
15.5
62
.6
Ø4
2-
15.5
62
59.5
2-φ21.3ノックアウト
セーフティ
モジュール
積層表示灯
セーフティコンポ
資料編
ボックスベース
バリア・
検出機器
18
ボックスベース
ティーチング
ペンダント
カテゴリ別
制御回路例
ボックスカバー
3ノックアウト
2−ø21.
ボックスカバー
59.5
21
76
□
21
41
90
21
□76
イネーブル
スイッチ
18
コントロール
ボックス
表示器
ボックス
●
足踏スイッチ
FBシリーズコントロールボックス
φ22XWシリーズ EMO表示付押ボタンスイッチ+
SEMIスイッチガード(HW9Z-KG4形)
接続箱
コントロール
ユニット
4−M4タッピングねじ用下穴(深さ:10mm)
配線引込器具
コントロールユニット
2−ボックス正面取付用穴
ボックスカバー取付ねじ ガード(HW9Z-KG4)
ø14ノックアウト
端子台
21
41
90
76
□
35
15.5
62
受注生産品・
納入事例
.6
ø4
2-
21
コンビネーションスタータ・
配線用遮断機
内圧防爆構造
防爆資料編
各種案内
ボックスカバー
2−ø21.3ノックアウト
59.5
ボックスベース
18
一覧
X6
XW
HW
XN
HN
コントロール
ボックス
SEMI対応
停止用
ご購入
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(10/12/28)
www.idec.com/jpja
241
非常停止用スイッチ
XA
SEMI緊急遮断用EMOスイッチ
下記のスイッチガードと緊急遮断用スイッチとの組合わせはTÜVラインランドの適合確認を受けております。
SEMI S2適合確認済の組合わせ
スイッチガード形番
対応機種 形番 および外観写真との対比
XA9Z-KG1
XA1E-BV4 **** -EMO(①)、XA1E-BV3(②)、XA1E-LV3(③)、XA1E-BV4(③)、XA1E-LV4(③)
HW9Z-KG3
XW1E-BV4 **** -EMO(④)、XW1E-BV4(⑤)、XW1E-LV4(⑤)、XW1E-TV4(⑤)、HW1B-V3(⑥)、
HW1B-V4(⑦)、HW1B-X4(⑧)、HW1B-Y2(⑨)
HW9Z-KG4
XW1E-BV4 **** -EMO(⑩)、XW1E-BV4(⑪)、XW1E-LV4(⑪)、XW1E-TV4(⑪)、XW1E-BV5(⑫)
HW1B-V3(⑬)、HW1B-V4(⑭)、HW1E(⑮)、HW1B-X4(⑯)、HW1B-Y2(⑰)
HW9Z-KG5
XW1E-BV4****-EMO(⑱)、XW1E-BV4(⑲)、XW1E-LV4(⑲)、XW1E-TV4(⑲)、XW1E-BV5(⑳)、HW1B-V3(㉑)、
HW1B-V4(㉒)、HW1E(㉓)、HW1B-X4(㉔)、HW1B-Y2(㉕)
※は下記写真をご覧ください。
XA9Z-KG1形
●
●
●
HW9Z-KG3形
●
HW9Z-KG4形
HW9Z-KG5形
⑲
⑳
⑱
●
ご注意
スイッチガードは半導体製造装置専用のため、
工作機械、
食品機械等の機械装置向けの非常停止用スイッチには使用しないでください。
(欧州機械指令、IEC60204-1、JIS B9960-1等では、
非常停止用スイッチは容易に接近・操作できるように要求されており、
現状ではスイッチガードの使用は認められていません。)
半導体業界安全規格SEMIとの関連について
SEMI規格とは、半導体製造装置やフラットパネルディスプレー装置および材料メーカーで構成された業界団体のガイドラインであり、半導体業界に
おいては事実上国際標準に等しく扱われています。SEMI規格(S2 0706)12.1項では
“装置には「緊急遮断回路」
(EMO回路:Emergency Off回路)を
設けるべきである。EMOアクチュエーター(ボタン)が作動すると、作業員や設備に対する新たな危険の発生を伴わずに、装置は安全状態に移行すべき
である。”
と記載されています。これは溶剤や薬剤などの使用も多くその中には危険なものや有害物質なども含まれているため、処理用動力など止めて
しまうと二次的な危険状態が生じる問題があるためと思われます。そのためSEMI規格では動力も含めたエネルギー供給を遮断させる通常の非常停止
スイッチとは別に、危険状態を作り出した負荷部分だけを遮断し、他の安全関連装置(煙探知機、漏洩ガス/水探知機、圧力測定装置等)の働きを維持
させる緊急遮断スイッチを設けることが必要とされています。
緊急遮断スイッチは誤操作の恐れがある場合にはガードを設けており、直接開路動作を有したスイッチで、ボタンの色は赤色、バックグランドは黄色で
操作部かバックグランドにEMOの表記が要求されています。
緊急遮断用( EMO )スイッチを半導体製造装置に取付けの際は、838mm
( 33in. )∼ 1,638mm( 64.5in. )の高さの範囲内に取り付けてください。
( SEMI S8-0705 )
● SEMI 規格では作業位置から3m以内にEMO スイッチを設けることが必要
( SEMI S2-0706 12.5.2 )
です。
●
(EMO)
242
3m以内
(人)
図
3m以内
244
最大取付高さ
1638mm
最小取付高さ
838mm
(EMO)
ご購入
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(10/12/28)
SEMI緊急遮断用EMOスイッチ
SEMI S2適合スイッチ/スイッチガード
安全スイッチ・
セーフティプラグ
シリーズ
種類[形番・標準価格]
品名・外観
販売単位:1個
形番
(ご注文形番)
標準価格
(税別・円)
適合スイッチ
φ
φ16緊急遮断用
スイッチガード
XAシリーズ
16
XA9Z-KG1
1,030
XA1E-BV3
XA1E-BV4
XA1E-LV3
XA1E-LV4
非接触安全スイッチ
セーフティ
ライトカーテン
備考
・SEMI S2適合
(当社非常停止用スイッチとの組み合わせにより、TÜVラインランド
の適合確認を受けております)
非常停止用
スイッチ
イネーブル
スイッチ
ティーチング
ペンダント
セーフティ
モジュール
積層表示灯
φ22緊急遮断用
スイッチガード
HW9Z-KG1
1,030
φ22緊急遮断用
スイッチガード
HW9Z-KG2
1,030
φ22緊急遮断用
スイッチガード
1,030
22
φ22緊急遮断用
スイッチガード
HW9Z-KG4※
1,030
φ22緊急遮断用
スイッチガード
HW9Z-KG5※
1,030
・SEMI S 2-0703 12.5.1項準拠品
・国内で従来からあるサイズとして、多くの使用実績あり。
XW1E-BV4
XW1E-LV4
XW1E-TV4
HW1B-V3
HW1B-V4
HW1B-X4
HW1B-Y2
HW1E-BV4
HW1E-LV4
・SEMI S2-0703 12.5.1項準拠品
・SEMATECH Application Guide
for SEMI S2-93 12.4項準拠品
・円形のため全周囲からの誤動作防止に効果的。
XW1E-BV4
XW1E-LV4
XW1E-TV4
HW1B-V3
HW1B-V4
HW1B-X4
HW1B-Y2
XW1E-BV4
XW1E-BV5
XW1E-LV4
XW1E-TV4
HW1B-V3
HW1B-V4
HW1B-X4
HW1B-Y2
HW1E-BV4
HW1E-LV4
XW1E-BV4
XW1E-LV4
XW1E-TV4
XW1E-BV5
HW1B-V3
HW1B-V4
HW1B-X4
XW1B-Y2
HW1E-BV4
HW1E-LV4
カテゴリ別
制御回路例
セーフティコンポ
資料編
バリア・
検出機器
コントロール
ボックス
表示器
ボックス
足踏スイッチ
接続箱
コントロール
ユニット
配線引込器具
端子台
・SEMI S2適合
(当社非常停止用スイッチとの組み合わせにより、TÜVラインランド
の適合確認を受けております)
・φ22用スイッチガードで最も小形なサイズです。
・FBボックスに取付け可能。
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内圧防爆構造
各種案内
・SEMI S2適合
(当社非常停止用スイッチとの組み合わせにより、TÜVラインランド
の適合確認を受けております)
・SEMATECH Application Guide
for SEMI S2-93 12.4項準拠品
・HW9Z-KG5形より幅が狭く省スペース。
・FBボックスに取付け可能。
・白色も用意。
一覧
X6
XA
XW
HW
XN
・SEMI S2適合
(当社非常停止用スイッチとの組み合わせにより、TÜVラインランド
の適合確認を受けております)
・SEMATECH Application Guide
for SEMI S2-93 12.4項準拠品
・内側に銘板取付け可能。
・白色も用意。
・材質:ポリアミド樹脂(PA6)
、保護構造:IP65(IEC 60529)
ご購入
受注生産品・
納入事例
防爆資料編
・※(色記号)
:無指定(黄:マンセル記号 2.5Y8/10近似)
、-W(白:マンセル記号 N9.5)
(10/12/28)
コンビネーションスタータ・
配線用遮断機
図
244
ア
245
243
HN
コントロール
ボックス
SEMI対応
停止用
非常停止用スイッチ
φ HW シリーズ・XWシリーズ
HW9Z-KG3
XW1E-BV4
XW1E-LV4
XW1E-TV4
HW1B-V3
HW1B-V4
HW1B-X4
HW1B-Y2
HW1E-BV4
HW1E-LV4
SEMI緊急遮断用EMOスイッチ
SEMI S2適合スイッチ/スイッチガード
外形寸法図
(単位:mm)
XA9Z-KG1形
●
●
HW9Z-KG1形
36.5
2
2.
47
ø2
64
2
ø2
23.1
19.1
HW9Z-KG2形
●
38
22
ø1
ø90
ø76.1
ø80
32
ø66.8
ø57
36
ø51
6
42
HW9Z-KG3形
●
35
25
25
76
40
33
ø90
67
ø74
52
42
36.2
34.4
27
22
ø2
2
2
ø66
HW9Z-KG5形
●
35
φ
ø2
HW9Z-KG4形
ø76
●
T=2.
0
T=2.
0
φ90
T=1.
5
75
50
T=2.
0
T=2.
0
T=1.5
取付パネル厚:1.2∼4.0
(HWAV形銘板併用時:1.2∼2.6)
●
(単位:mm)
+0.2
φ16
.8
R0
+0.4
6.2
φ22
.
x
Ma
+0
.2
0
24.1 0
φ1
●
+0.2
*1.7 0
+0.2
17.9 0
●
*3.2 0
.4
+0
0
.3
2
φ2
パネルカット
パネルカット
A部
A部
+0.
2
0.
2
*印3.
2 穴は回り止め用です。
回り止めを使用しない時は不要。
0
+
*印1.
7 穴は回り止め用です。
回り止めを使用しない時は不要。
0
回り止めが不要な場合、
または回り止めなしのパネルカットの場合は、緊急遮断用スイッチガードのA部をラジオペンチなどで折ってご使用ください。
"TOP"マーク側
"TOP"マーク側
"TOP"マーク側
"TOP"マーク側
ロックナット
ロックナット
注)適合するスイッチとガードとの高さは右図のように3mm以下となります。
操作部
操作部
取付パネル厚:1∼2.2
取付パネル厚:1.2∼4
以下
トの締め付けには、別売の専用工具(形番:MW9Z-T1)を使用し、
ロックナットの締め付けには、別売の専用工具(形番:MT-001)を使用し、3mmロックナッ
推奨締付トルク0.88N・mで取り付けください。
推奨締付トルク2.
0N・mで取り付けください。
・ご注文形番:HW9Z-EMO-NPP
・標準価格(税別)
:825円( 10枚入)
・色:黄(文字色:赤)
244
ア
245
20
50
EMO
ご購入
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(10/12/28)
17.
2.3
φ2
0
パネルカット
パネルカット
A部
A部
SEMI緊急遮断用EMOスイッチ
+0.
2
0.
2
*印3.
2 穴は回り止め用です。
回り止めを使用しない時は不要。
0
+
*印1.
7 穴は回り止め用です。
回り止めを使用しない時は不要。
0
回り止めが不要な場合、
または回り止めなしのパネルカットの場合は、緊急遮断用スイッチガードのA部をラジオペンチなどで折ってご使用ください。
"TOP"マーク側
●
φ16
"TOP"マーク側
安全スイッチ・
セーフティプラグ
"TOP"マーク側
ロックナット
●
φ22
"TOP"マーク側
ロックナット
非接触安全スイッチ
セーフティ
ライトカーテン
操作部
非常停止用
スイッチ
操作部
取付パネル厚:1∼2.2
イネーブル
スイッチ
取付パネル厚:1.2∼4
ロックナットの締め付けには、別売の専用工具(形番:MT-001)を使用し、
推奨締付トルク0.88N・mで取り付けください。
ロックナットの締め付けには、別売の専用工具(形番:MW9Z-T1)を使用し、
推奨締付トルク2.
0N・mで取り付けください。
ティーチング
ペンダント
セーフティ
モジュール
●
積層表示灯
EMOシール
カテゴリ別
制御回路例
セーフティコンポ
資料編
・ご注文形番:HW9Z-EMO-NPP
・標準価格(税別)
:825円( 10枚入)
・色:黄(文字色:赤)
バリア・
検出機器
コントロール
ボックス
20
50
表示器
ボックス
EMO
足踏スイッチ
接続箱
コントロール
ユニット
銘板(φ22非常停止用押ボタンスイッチ銘板)
品名
文字仕様
配線引込器具
形番(ご注文形番) 標準価格(税別・円)
備考
端子台
EMERGENCY OFF
HWAV-74-Y
206
E
O FF
CY
大形(φ40)ボタン用銘板
EM
・地色:黄、文字:黒
・取付パネル厚:0.8∼4.5mm ・材質:ポリアミド樹脂
RGEN
コンビネーションスタータ・
配線用遮断機
受注生産品・
納入事例
φ60
内圧防爆構造
φ2
2
1.5
防爆資料編
1.0
各種案内
一覧
X6
XW
HW
XN
HN
コントロール
ボックス
SEMI対応
停止用
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(10/12/28)
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図
244
245
非常停止用スイッチ
XA
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