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リニアモータシリーズ
エコノミー シリーズ 特長 システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ リニアモータシリーズ ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ RDM コアレスロッドタイプ クリーン シリーズ F A 荷重を受ける 頑丈なハウジング コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ マグネットロッドを取り囲むコイル マグネットロッド （固定子） 形番 コイル（ 電 流 ） 一体化した 放熱フィン GLM 10 GLM 15 フォーサ （可動子） GLM 20 GLM 25 磁束分布 GLS マグネット RDM 構造 KLM CLM 1. コアレス構造のためフォーサ（可動子）とマグネットロッド（固定子）の間に吸引力が発生しません。 2. マグネットロッドの全周にコイルが配置される構造のため、磁束の利用効率が高くなります。 RDM RDM‒ mini RDMはモータ単体（フォーサとマグネットロッド）でご購入いただくこともできます。 その際は貴社にてLMガイド、 リニアエンコーダ、 ドライバ等を別途ご用意いただき、 アクチュエータをご製作ください。 （THKにて標準で用意している㈱安川電機製 RDM専用サーボパックとモータ単体のセットでご購入いただくこと もできます。） 詳しくはTHKまでお問い合わせください。 443 P443-452_RDM.indd 443 RDM 10.3.15 11:50:18 AM システム構成 特長 形番 基本仕様 仕様 寸法図 形番 オプション スペック 製品紹介 ドライバ オプション ケーブル エコノミー シリーズ 特長 コンパクト シリーズ 特長 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 1 高速・高精度 ダイレクトドライブによりロストモーションやバックラッシがありません。 また、光学式リニアエンコーダによるフルクローズド制御により高速・高精度運転が可能です。 （最高速度1.8∼4.0m/s実現） F A クリーン シリーズ 2 高加減速 スライダ（可動部）の質量を抑えることにより、加速度2G※運転が可能です。 放熱効果をより高めるためにフィン一体型ハウジングを採用しました。 3 低速度リップル 10.5 コアレス構造により、コギング力がなく低速走行時 でも滑らかな運転を実現。 10.3 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ ※ 想定質量を搭載時、使用条件により最大10Gまで可能 10.4 〔データ測定条件〕 レーザ測長器 ML10（RENISHAW ㈱製） 使用 コントローラ最小指令単位 ：1μm 速度測定サンプリング周波数 駆動速度：10mm/s、負荷質量 ：10Hz ：1.6kg 速度[mm/s] 10.2 ±0.08% 10.1 10 9.9 9.8 9.7 9.6 9.5 4 3 4 5 6 時間[s] 7 8 9 10 形番 2 RDM3 8 0 8P速度リップル評価データ（参考） GLM 10 マルチスライダ GLM 15 1軸上に複数のスライダを設置し、各々のスライダを独立して制御することが可能です。 GLM 20 5 GLM 25 メンテナンスフリー GLS ボールリテーナ入りLMガイドの採用により長期メンテナンスフリーを実現。 KLM 6 低騒音・低発塵 〔データ測定条件〕 普通騒音計 NL‒06（リオン㈱製） 使用 音圧データサンプリング周波数：20kHz 負荷質量：無負荷 騒音レベル[dBA] リニアモータとボールリテーナ入りLMガイドの 組合わせにより、低騒音で低発塵な運転を実現。 CLM 100 90 80 70 60 50 40 30 20 10 0 RDM RDM‒ mini 0 0.5 1 2 2.4 駆動速度[m/s] RDM3808P（カバー無し）騒音測定データ（参考） RDM P443-452_RDM.indd 444 444 10.3.15 11:51:08 AM エコノミー シリーズ 特長 システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ ラインナップ RDMは以下の特長のある3タイプをラインナップしています。 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ Type M ● シンプル設計の最軽量アクチュエータ ● 断面形状の小さいアルミ押出しベースと案内部に1軸の ボールリテーナ入りLMガイドSHWを使用 案内部 クリーン シリーズ F A ● ロングストローク対応 （最大ストローク：1668mm） SHW コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ Type P ● 高剛性仕様アクチュエータ ● 正方形断面の高剛性アルミフレーム（アクチュエータ 単体で梁として使用可能） と案内部に2軸のボールリテー ナ入りLMガイドSSRを使用 形番 ● 低速走行時の速度リップルが最も小さいタイプ 案内部 GLM 10 ● ロングストローク対応 （最大ストローク：1954mm） GLM 15 GLM 20 SSR GLM 25 GLS KLM CLM Type K RDM ● 高精度仕様アクチュエータ RDM‒ mini ● 案内部に高精度のボールリテーナ入りL Mガイド アクチュエータSKRを使用 ● 絶対位置決め精度を保証 案内部 SKR 445 P443-452_RDM.indd 445 RDM 10.3.15 11:51:33 AM システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル エコノミー シリーズ 特長 コンパクト シリーズ システム構成 Type M ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ コントローラ ※2 LMガイドSHW ※1 アルミ押出し ベース 磁極センサユニット ※ フォーサと一体 マグネットロッド ※1 ※1 高速パルス入力基板 サーボパック スライダ リニアエンコーダ 動力ケーブル3m ※ アクチュエータに付属 クリーン シリーズ F A 動力ケーブル ※ アクチュエータに付属 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ エンコーダケーブル3ｍ ※ アクチュエータに付属 磁極センサケーブル3ｍ ※ アクチュエータに付属 シリアルケーブル シリアル変換モジュール ※ アクチュエータに付属 ※ アクチュエータに付属 ※1 近接センサ ※2 コントローラおよびコントローラとドライバを接続する配線は貴社にてご用意ください。 Type P 磁極センサケーブル ※ アクチュエータに付属 LMガイドSSR ※1 磁極センサユニット ※ フォーサと一体 マグネットロッド コントローラ ※2 高剛 性アルミ 押出しベース ※1 ※1 高速パルス入力基板 サーボパック スライダ 形番 リニアエンコーダ 動力ケーブル ※ アクチュエータに付属 動力ケーブル290mm ※ アクチュエータに付属 GLM 10 エンコーダケーブル3m ※ アクチュエータに付属 GLM 15 磁極センサケーブル3m ※ アクチュエータに付属 GLM 20 シリアルケーブル ※ アクチュエータに付属 シリアル変換モジュール ※ アクチュエータに付属 GLM 25 ※1 近接センサ ※2 コントローラおよびコントローラとドライバを接続する配線は貴社にてご用意ください。 GLS KLM Type K CLM コントローラ LMガイドアクチュエータSKR ※2 RDM 磁極センサユニット ※ フォーサと一体 RDM‒ mini マグネットロッド ※1 ※1 ※1 高速パルス入力基板 サーボパック スライダ リニアエンコーダ 動力ケーブル3m ※ アクチュエータに付属 動力ケーブル ※ アクチュエータに付属 エンコーダケーブル3m ※ アクチュエータに付属 磁極センサケーブル3m ※ アクチュエータに付属 シリアルケーブル シリアル変換モジュール ※ アクチュエータに付属 ※ アクチュエータに付属 ※1 近接センサ ※2 コントローラおよびコントローラとドライバを接続する配線は貴社にてご用意ください。 RDM P443-452_RDM.indd 446 446 10.3.15 11:52:17 AM エコノミー シリーズ 特長 システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ 形番構成 アクチュエータ本体 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 2 RDM2504 − M − 1775L − N − RN − S − I − UT20 − A − D06 − S03 ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ①組合わせスライダ数 ※ 1個の場合は「無記号」 となります。 ②モータ形番 ※ 数字はリニアモータのサイズ 上2桁：マグネットロッド （固定子） サイズ 下2桁：フォーサ（可動子） サイズ ③アクチュエータタイプ M：基本アクチュエータ （案内部にSHWを使用） P：高剛性アクチュエータ （案内部にSSRを使用） K：高精度アクチュエータ （案内部にコンパクトシリーズSKRを使用） ④アクチュエータ長さ ※ 単位はmmです。 ⑤カバー A：アルミ押出しカバー（Pタイプのみ） J：ジャバラ （M, Kタイプのみ） N：カバー無し E：特殊 ※ M、 Kタイプ標準：N Pタイプ標準：A ⑥リニアエンコーダ RN：光学式リニアエンコーダ：RGH24B（RENISHAW㈱製） E ：特殊（Mタイプは特殊対応不可） ⑦センサ N：センサ無し S：近接センサ GL‒12F ［N.O.接点］ 3個 （SUNX㈱製） E：特殊 ⑧ケーブルチェーン N：ケーブルチェーン無し A：TKP0130W20R37 （㈱椿本チエイン製） I ：15.2 （igus㈱製） S：KSH24‒42 （THK製） E：特殊 ※ Mタイプ標準：I K、 Pタイプ標準：A ⑪ ⑫ クリーン シリーズ F A コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ 形番 GLM 10 GLM 15 GLM 20 GLM 25 GLS KLM CLM ⑨ベース固定用部品 （M、Pタイプのみ） RDM RDM‒ mini N：固定用部品無し UT ＊＊：底面からのベース固定用Tナット ＊＊は必要個数 UC ＊＊：側面からのベース固定用コマ （ショートタイプ） ＊＊は必要個数 UL ＊＊：側面からのベース固定用コマ （ロングタイプ） ＊＊は必要個数 ※ ベース固定ピッチは200mm以下を推奨します。 ⑩取付姿勢 A：水平 B：壁掛け （ケーブルチェーン上側） C：逆（天吊り） D：壁掛け （ケーブルチェーン下側） E：特殊 ⑪動力ケーブル D＊＊：03： 3m, 05： 5m, 06： 6m, 08： 8m 10：10m, 13：13m, 15：15m, 18：18m 20：20m, 23：23m ※ ＊＊はケーブル長さです。単位はmです。 ［アクチュエータ本体の形番構成は次ページにつづきます］ 447 P443-452_RDM.indd 447 RDM 10.3.15 11:54:41 AM 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル コンパクト シリーズ ⑫シリアルケーブル システム構成 エコノミー シリーズ 特長 S＊＊：03：3m, 05：5m, 10：10m, 15：15m, 20：20m ※ シリアルケーブルは固定配線用となります。 可動部配線用をご希望の場合は、 THKまでお問い合わせください。 ※1 アクチュエータは標準長さをご指定ください （マグネット長さに合わせた設計をしていますので、標準長さを推奨します） 。 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 注）ご注文時には必ず、 ご使用時のアクチュエータ取付姿勢をご指定してください。 （リニアモータアクチュエータ ロッドタイプはロッドのたわみを考慮して、 ご使用姿勢に合わせて組立てを行います。） ※ ご指定以外の取付姿勢での使用はアクチュエータの動作不良、性能低下の原因となります。 サーボパック（㈱安川電機製） SGDH − 05 A E Y140 − H ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ F A SGDH ②最大適用サーボモータ容量 05：450W 15：1500W ③電源電圧 A：三相AC200V ④モデル E：推力・速度・位置制御（オプションユニット対応型） ⑤変更機能 Y140：RDM専用仕様 クリーン シリーズ ①形番 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ N：高速パルス入力基板無し H：高速パルス入力基板（JUSP‒LD001A） ⑥高速パルス入力基板 ※ 入出力信号コネクタはサーボパックに付属します。高速パルス入力基板付きの場合は、高速パルス入力信 号コネクタが付属します。 シリアル変換モジュール（㈱安川電機製） JZDP−D010 − ＊＊＊ ① ② ①シリアル変換モジュール分類 JZDP‒D010 ②各形番分類番号 各Type別の基本仕様一覧表をご参照ください。 形番 ※ アクチュエータ、サーボパックとのセット販売となります。モータ形番に対応したシリアル変換モジュールが付属します。 GLM 10 GLM 15 注）シリアル変換モジュールにはアクチュエータタイプ、 モータ形式毎に固有の設定値が登録されています。 そのため他のアクチュエータタイプ、 モータ形式と組合わせてご使用 されると誤動作、破損の危険があります。 ご使用の際はアクチュエータタイプ、 モータ形式とシリアル変換モジュールの組合わせを必ずご確認ください。 GLM 20 動力ケーブル RKD − 03 ※ メンテナンス用に動力ケーブルをご購入いただく場合の形番です。 ①ケーブル長さ GLM 25 ① GLS 03： 3m, 05： 5m, 06： 6m, 08： 8m, 10：10m 13：13m, 15：15m, 18：18m, 20：20m, 23：23m KLM CLM 注）Pタイプのアクチュエータをご選定の場合、 フォーサから標準で配線されている動力ケーブルの長さが、M タイプ、K タイプに比較して3m短くなっています。 システム構成図を ご確認ください。 RDM シリアルケーブル（㈱安川電機製） JZSP − CLP70 − 03 ※ メンテナンス用にシリアルケーブルをご購入いただく場合の形番です。 ① ② ①ケーブル種類 20：固定配線用 70：可動部配線用 ②ケーブル長さ 03：3m, 05：5m, 10：10m, 15：15m, 20：20m RKJP − 03 磁極センサケーブル ※ メンテナンス用に磁極センサケーブルをご購入いただく場合の形番です。 ①ケーブル長さ RDM‒ mini ① 03：3m 注）Pタイプのみ使用します。 RDM P443-452_RDM.indd 448 448 10.3.15 11:55:05 AM エコノミー シリーズ 特長 システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ 基本仕様（Type M） 形番 RDM2504M 項目 RDM2506M RDM2508M RDM2510M RDM3806M RDM3808M RDM3810M ※ ※ ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 最大推力[N] 156 234 312 390 352 528 600 （704） 660 （880） 定格推力[N] 45 63 80 96 104 146 187 223 最高速度[m/s] 4.0 4.0 4.0 4.0 4.0 3.3 2.3 1.8 2.9 3.9 4.9 5.9 2 2 2 2 47 72 64 （97） 分解能[μm] 0.078 ±1 繰り返し位置決め精度[μm] スライダ質量[kg] 1.5 2.3 2.8 3.3 案内部の LM ガイド形番 クリーン シリーズ F A RDM3804M SHW21CA LM ブロック数 1 2 2 2 LM ブロック抵抗[N /個] 5 最大可搬質量[kg] 21 31 43 55 ※ コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ ※ ※ 45 （117） ※ 想定質量[kg] 3 4 7 9 5 12 9（19） 7（25） 想定到達速度[m/s] ［4.0］ ［4.0］ ［4.0］ ［3.1］ ［4.0］ ［2.6］ ［1.5］ ［1.0］ リニアエンコーダ形式 リードヘッド：RGH24B30L00A テープスケール：RGS‒S リファレンスマーク：RGM22S（RENISHAW ㈱製） JZDP‒D010 シリアル変換 モジュール形式 ‒064 ‒065 ‒066 ‒067 ‒068 ‒069 ‒148（‒070） ‒149（‒071） ※ （ ）内はドライバ SGDH‒15AEY140を使用した場合の値です。 注1）最大可搬質量は加速度0.5G 駆動が可能な搬送質量となります（最高速度1m/s まで） 。 注2）想定質量は加速度2G 駆動が可能な搭載質量となります（想定到達最高速度まで）。 注3）仕様値は巻線温度100℃以下における値です。 注4）案内部に使用されているグリースは、専用グリースを使用しています。メンテナンスについては THK までお問い合わせください。 推力・速度特性 RDM2506M 156.0N RDM2508M 234.0N 250 180 200 122.9N 80 推力[N] 推力[N] 推力[N] 100 250 150 100 60 40 GLS 0 1 45.0N KLM 3 2 0 4 1 63.0N 速度[m/s] 800 2 3 80.0N 速度[m/s] 2 3 96.0N 速度[m/s] 1000 700 704.0N 900 600 250 500 500 404.2N （2.6m/s） 400 220.8N 400 300 200 104.0N 100 1 3 2 速度[m/s] 14.9N 4 0 146.0N 最大領域 （SGDH‒05AEY140） 449 P443-452_RDM.indd 449 2 3 4 速度[m/s] 300 200 229.8N 300 222.6N 100 37.4N 1 2 速度[m/s] 3 3.3 4 0 880.0N 800 610.4N （1.5m/s） 700 600.0N 600 1 187.0N 最大領域 （SGDH‒15AEY140） 2 2.3 速度[m/s] 3 773.2N （1.0m/s） 660.0N 500 400 257.3N 200 197.1N 85.6N 100 124.6N 136.3N 0 1 RDM3810M 800 600 50 54.7N 0 4 RDM3808M 300 100 1 528.0N 700 150 50 45.6N 0 4 350 200 180.6N 150 50 RDM3806M 352.0N 推力[N] RDM‒ mini 推力[N] RDM 150 250 200 100 34.8N RDM3804M 400 CLM 200 50 29.4N 20 328.3N （3.1m/s） 245.8N 300 100 推力[N] GLM 25 350 181.1N 120 GLM 20 400 300 140 GLM 15 450 350 160 390.0N 500 推力[N] GLM 10 RDM2510M 312.0N 400 推力[N] 形番 RDM2504M 200 4 0 0.5 223.0N 1 1.4 1.5 1.8 2 速度[m/s] 連続領域 RDM 10.3.15 11:55:23 AM 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル 25シリーズ コアレスロッドタイプ コンパクト シリーズ RDM Type M システム構成 エコノミー シリーズ 特長 メカストローク：12∼1612袢 光学式リニアエンコーダRENISHAW㈱製仕様 寸法図・質量 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ Lf 20 20 Ｌｓ ｔ 50 50 Ｎ１‒∅5Ｈ7深サ5 Ｍ5用Ｔスロット （105） 68 50 ∅25 10 5.3 6.2 11 M5用Ｔスロット詳細 94 リファレンスマーク検出位置 RDM2506M RDM2508M RDM2510M Ｍ5用Ｔスロット RDM2504M 119 1.5 3 RDM2506M 170 2.3 3 RDM2508M 221 2.8 5 RDM2510M 272 3.3 5 175 275 375 475 575 675 775 875 975 1075 1175 1275 1375 1475 1575 1675 1775 最大ストローク Lst[mm] 12 112 212 312 412 512 612 712 812 912 1012 1112 1212 1312 1412 1512 1612 アクチュエータ質量[kg] 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 15 16 17 18 19 20 21 最大ストローク Lst[mm] − 61 161 261 361 461 561 661 761 861 961 1061 1161 1261 1361 1461 1561 アクチュエータ質量[kg] − 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 21 22 最大ストローク Lst[mm] − − 110 210 310 410 510 610 710 810 910 1010 1110 1210 1310 1410 1510 アクチュエータ質量[kg] − − 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 最大ストローク Lst[mm] − − − 159 259 359 459 559 659 759 859 959 1059 1159 1259 1359 1459 アクチュエータ質量[kg] − − − 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 22 23 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ LU RDM2504M ベース固定用部品 UCもしくはUL 50 86 102 116 F A N1 クリーン シリーズ （20） アクチュエータ全長 LU[mm] スライダ長さ スライダ質量 Lf[mm] [kg] 形番 形番 RDM Type M 38シリーズ コアレスロッドタイプ GLM 10 メカストローク：68∼1668袢 光学式リニアエンコーダRENISHAW㈱製仕様 GLM 15 ∅38 リファレンスマーク検出位置 RDM3804M RDM3806M RDM3808M RDM3810M 11 14 Ｍ5用Ｔスロット詳細 Ｍ6用Ｔスロット詳細 ベース固定用部品 ＵＣもしくはＵＬ 50 86 102 116 （20） Ｍ5用Ｔスロット 形番 スライダ長さ Lf[mm] スライダ質量 [kg] N1 RDM3804M 163 2.9 3 RDM3806M 234 3.9 5 RDM3808M 305 4.9 5 RDM3810M 376 5.9 7 275 375 475 575 675 775 875 975 1075 1175 1275 1375 1475 1575 1675 1775 1875 最大ストローク Lst[mm] 68 168 268 368 468 568 668 768 868 968 1068 1168 1268 1368 1468 1568 1668 アクチュエータ質量[kg] 8 10 11 13 14 16 17 19 20 22 23 25 26 28 29 31 32 最大ストローク Lst[mm] − 97 197 297 397 497 597 697 797 897 997 1097 1197 1297 1397 1497 1597 アクチュエータ質量[kg] − 11 12 14 15 17 18 20 21 23 24 26 27 29 30 32 33 最大ストローク Lst[mm] − 26 126 226 326 426 526 626 726 826 926 1026 1126 1226 1326 1426 1526 アクチュエータ質量[kg] − 12 13 15 16 18 19 21 22 24 25 27 28 30 31 33 34 最大ストローク Lst[mm] − − 55 155 255 355 455 555 655 755 855 955 1055 1155 1255 1355 1455 アクチュエータ質量[kg] − − 14 16 17 19 20 22 23 25 26 28 29 31 32 34 35 RDM P443-452_RDM.indd 450 GLS KLM LU アクチュエータ全長 LU[mm] 6.8 60 GLM 25 11.8 Ｎ１‒∅5Ｈ７深サ5 50 M6用Tスロット 84 110 50 （115） Ｌｓ ｔ 10 Ｌ ｆ 5.3 20 GLM 20 8.2 6.2 CLM RDM RDM‒ mini 450 10.3.15 11:56:10 AM エコノミー シリーズ 特長 システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ 基本仕様（Type P） 形番 項目 RDM2504P RDM2506P RDM2508P RDM2510P RDM3804P RDM3806P RDM3808P 156 234 312 390 352 528 600 （704） 660 （880） 最大推力[N] RDM3810P ※ ※ ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 繰り返し位置決め精度[μm] F A LM ブロック抵抗[N/個] 3.3 3.3 3.3 3.3 3.8 3.8 3.8 最大可搬質量[kg] 17 28 40 51 43 68 58 （94） 想定質量[kg] 0.5 2 4 6 3 9 5 （16） ※ 2 （21） 想定到達速度[m/s] ［4.0］ ［4.0］ ［4.0］ ［3.1］ ［4.0］ ［2.6］ ［1.5］ ［1.0］ 定格推力[N] 37 52 67 81 81 120 157 194 最高速度[m/s] 4.0 4.0 4.0 4.0 4.0 3.4 2.4 1.9 5.3 7.0 8.4 10.1 分解能[μm] 0.078 ±1 スライダ質量[kg] 3.7 4.4 案内部の LM ガイド形番 5.2 6.1 SSR15XWY SSR20XW LM ブロック数 4 クリーン シリーズ リニアエンコーダ形式 3.8 ※ ※ 39 （114） ※ リードヘッド：RGH 24 B 30 L00A テープスケール：RGS‒S リファレンスマーク：RGM 22S （RENISHAW ㈱製） コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ JZDP‒D010 シリアル変換 モジュール形式 ‒080 ‒081 アルミベース 断面二次モーメント [mm4] ‒082 ‒083 ‒084 ‒085 6 ‒150 （‒086） ‒151 （‒087） 6 X 軸まわり：1.8 × 106 Y 軸まわり：12 × 10 X 軸まわり：2.9 × 106 Y 軸まわり：17 × 10 ※ （ ）内はドライバ SGDH‒15AEY140を使用した場合の値です。 注1）最大可搬質量は加速度0.5G 駆動が可能な搬送質量となります（最高速度1m/s まで）。 注2）想定質量は加速度2G 駆動が可能な搭載質量となります（想定到達速度まで） 。 注3）仕様値は巻線温度100℃以下における値です。 注4）案内部に使用されているグリースは専用グリースを使用しています。メンテナンスについては THK までお問い合わせください。 推力・速度特性 RDM2504P RDM2508P 234.0N 250 400 180 120 108.7N 100 80 60 100 1 2 3 100 0 3 4 67.0N 速度[m/s] 推力[N] 150 2 3 速度[m/s] RDM3810P 880.0N 600 600 500 400 500 415.1N （2.6m/s） 400 300 300 194.3N 100 111.6N 100 81.0N 速度[m/s] 4 0 120.0N 最大領域 （SGDH‒05AEY140） 451 P443-452_RDM.indd 451 1 2 速度[m/s] 3 3.4 12.4N 4 0 157.0N 660.0N 600 500 400 300 59.7N 3.5 速度[m/s] 782.5N （1.0m/s） 50 3 4 620.5N 800 （1.5m/s） 600.0N 700 200 2 3 2 704.0N 900 200 1 1 700 100 0 31.5N 0 81.0N 1000 227.1N 200 1 RDM3808P 528.0N 700 250 推力[N] 2 23.0N 4 800 800 300 RDM‒ mini 50 0 RDM3806P 352.0N 350 RDM 1 52.0N 速度[m/s] 178.0N 推力[N] CLM 200 150 13.9N 3.8N 4 RDM3804P 400 250 50 37.0N KLM 150 推力[N] GLS 200 50 20 0 326.3N （3.1m/s） 241.5N 300 100 40 GLM 25 350 250 推力[N] GLM 20 400 300 150 推力[N] 推力[N] GLM 15 450 175.1N 140 390.0N 500 350 200 160 GLM 10 RDM2510P 312.0N 推力[N] 形番 200 RDM2506P 156.0N 1 最大領域 （SGDH‒15AEY140） 2 2.4 速度[m/s] 3 4 200 210.5N 187.1N 100 99.3N 0 194.0N 0.5 1 1.4 1.5 1.9 2 速度[m/s] 連続領域 RDM 10.3.15 11:56:40 AM 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル 25シリーズ コアレスロッドタイプ コンパクト シリーズ RDM Type P システム構成 エコノミー シリーズ 特長 メカストローク：41∼1673袢 光学式リニアエンコーダRENISHAW㈱製仕様 寸法図・質量 LU 123 108 93 ∅25 11 151 108 166 （180） 5 39 50 Lst 15 （50） リファレンス マーク検出位置 N 2‒M5 122.5 20 Lt 12 30 ベース固定用部品 6 クリーン シリーズ N2 RDM2504P 182 3.7 RDM2506P 212 4.4 4 6 RDM2508P 263.5 5.2 8 RDM2510P 314.5 6.1 10 475 575 675 775 875 975 1075 1175 1275 1375 1475 1575 1675 1775 1875 1975 173 273 373 473 573 673 773 873 973 1073 1173 1273 1373 1473 1573 1673 アクチュエータ質量[kg] 13 15 17 19 21 23 24 26 28 30 32 34 35 37 39 41 最大ストローク Lst[mm] 143 243 343 443 543 643 743 843 943 1043 1143 1243 1343 1443 1543 1643 アクチュエータ質量[kg] 14 16 18 20 21 23 25 27 29 31 32 34 36 38 40 42 最大ストローク Lst[mm] 92 192 292 392 492 592 692 792 892 992 1092 1192 1292 1392 1492 1592 アクチュエータ質量[kg] 15 17 19 20 22 24 26 28 30 31 33 35 37 39 41 42 最大ストローク Lst[mm] 41 141 241 341 441 541 641 741 841 941 1041 1141 1241 1341 1441 1541 アクチュエータ質量[kg] 16 18 19 21 23 25 27 29 30 32 34 36 38 40 41 43 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ RDM2510P F A 最大ストローク Lst[mm] アクチュエータ全長 LU[mm] RDM2508P 110 C ‒C断面 スライダ長さ スライダ質量 Lt[mm] [kg] 形番 Ｃ RDM2506P UCもしくはUL Ｍ5用Ｔスロット Ｍ5用Ｔスロット詳細 Ｃ RDM2504P ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 17.5 形番 RDM Type P 17.5 38シリーズ コアレスロッドタイプ GLM 10 メカストローク：12∼1954袢 光学式リニアエンコーダRENISHAW㈱製仕様 GLM 15 144 129 114 LU 30 129 ベース固定用部品 6 UCもしくはUL M5用Tスロット詳細 Ｃ RDM3810P スライダ長さ スライダ質量 Lt[mm] [kg] CLM RDM3804P 201 5.3 6 RDM3806P 272 7.0 8 RDM RDM3808P 343.5 8.4 10 RDM3810P 414.5 10.1 12 RDM‒ mini 475 575 675 775 875 975 1075 1175 1275 1375 1475 1575 1675 1775 1875 1975 2075 2175 2275 154 254 354 454 554 654 754 854 954 1054 1154 1254 1354 1454 1554 1654 1754 1854 1954 アクチュエータ質量[kg] 19 22 25 27 30 33 36 38 41 44 46 49 52 55 57 60 63 65 68 最大ストローク Lst[mm] 83 183 283 383 483 583 683 783 883 983 1083 1183 1283 1383 1483 1583 1683 1783 1883 アクチュエータ質量[kg] 21 24 26 29 32 34 37 40 43 45 48 51 53 56 59 62 64 67 70 最大ストローク Lst[mm] 12 112 212 312 412 512 612 712 812 912 1012 1112 1212 1312 1412 1512 1612 1712 1812 アクチュエータ質量[kg] 22 25 28 31 33 36 39 41 44 47 49 52 55 58 60 63 66 68 71 最大ストローク Lst[mm] − 41 141 241 341 441 541 641 741 841 941 1041 1141 1241 1341 1441 1541 1641 1741 アクチュエータ質量[kg] − 27 29 32 35 38 40 43 46 48 51 54 57 59 62 65 67 70 73 RDM P443-452_RDM.indd 452 N2 最大ストローク Lst[mm] アクチュエータ全長 LU[mm] RDM3808P C‒C断面 KLM Ｃ RDM3806P GLS 130 M5用Tスロット 形番 RDM3804P GLM 25 137.5 11 ∅38 166 181 （195） 50 Lst 15 リファレンスマーク（50） 50 N2‒M5 検出位置 12 Lt 5 18 20 GLM 20 452 10.3.15 11:57:10 AM エコノミー シリーズ 特長 システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ 基本仕様（Type K） 形番 項目 RDM2504K RDM2506K RDM2508K RDM2510K RDM3804K RDM3806K RDM3808K 156 234 312 390 352 528 600 （704） 660 （880） 最大推力[N] ※ ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 定格推力[N] 45 63 80 96 104 146 187 223 最高速度 [m/s] 2.0 2.0 2.0 2.0 2.0 2.0 2.0 1.8 4.5 6.4 8.7 SKR46A SKR46D 分解能 [μm] 0.078 繰り返し位置決め精度 [μm] ±1 位置決め精度 [μm] 10 / 300mm ストローク スライダ質量 [kg] 2.1 案内部のアクチュエータ形番 SKR33A クリーン シリーズ F A RDM3810K ※ 3.2 4.0 4.7 SKR33B 10.2 SKR46B LM ブロック数 1 2 2 2 1 2 2 2 LM ブロック抵抗[N/個] 3.2 3.2 3.2 3.2 5.9 4.5 5.9 5.9 最大可搬質量[kg] 21 31 42 54 46 70 59 （92） ※ ※ ※ 40 （112） ※ 想定質量[kg] 3 4 6 8 4 10 5 （15） 2 （21） 想定到達速度[m/s] ［2.0］ ［2.0］ ［2.0］ ［2.0］ ［2.0］ ［2.0］ ［1.5］ ［1.0］ リードヘッド：RGH 24 B 30 L00A テープスケール：RGS‒S リファレンスマーク：RGM 22S（RENISHAW ㈱製） JZDP‒D010 シリアル変換 モジュール形式 ‒072 ‒073 ‒074 ‒075 ‒076 ‒077 ‒152 （‒078） ‒153 （‒079） ※ （ ）内はドライバ SGDH‒15AEY140を使用した場合の値です。 注1）最大可搬質量は加速度0.5G 駆動が可能な搬送質量となります（最高速度1m/s まで） 。 注2）想定質量は加速度2G 駆動が可能な搭載質量となります（想定到達速度まで） 。 注3）仕様値は巻線温度100℃以下における値です。 注4）案内部に使用されているグリースは専用グリースを使用しています。メンテナンスについては THK までお問い合わせください。 推力・速度特性 RDM2504K RDM2506K 156.0N 200 RDM2508K 234.0N 250 400 180 140 80 GLM 15 277.6N 350 150 100 250 200 36.3N 50 0.5 1 1.5 0 2 RDM3804K GLS 400 推力[N] CLM RDM RDM‒ mini 1 1.5 800 350 700 300 600 287.4N 250 200 80.0N 1000 500 400 400 368.1N 100 79.6N 100 1.5 1 速度[m/s] 2 146.0N 最大領域 （SGDH‒05AEY140） 453 P453-466_RDM.indd 453 0.5 1 速度[m/s] 1.5 2 300 267.5N 0 187.0N 0.5 1 1.5 0.5 最大領域 （SGDH‒15AEY140） 1 速度[m/s] 2 速度[m/s] 880.0N 800 607.1N （1.5m/s） 700 600.0N 600 432.4N 200 0.5 96.0N RDM3810K 600 500 0 0 2 704.0N 900 200 104.0N 1.5 700 100 0 1 速度[m/s] 800 300 60.5N 0.5 RDM3808K 528.0N 150 50 73.9N 50 0 2 速度[m/s] RDM3806K 352.0N 推力[N] KLM 0.5 63.0N 速度[m/s] 推力[N] 0 100 61.4N 50 45.0N 250 150 47.4N 20 348.9N 300 200 150 100 40 GLM 25 400 300 60 GLM 20 450 350 推力[N] 推力[N] 推力[N] 100 390.0N 500 138.8N 120 GLM 10 206.3N 200 推力[N] 形番 160 RDM2510K 312.0N 推力[N] コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ リニアエンコーダ形式 1.5 770.9N （1.0m/s） 660.0N 500 400 300 200 253.3N 190.3N 94.4N 100 120.6N 2 0 223.0N 0.5 1 1.41.5 1.8 2 速度[m/s] 連続領域 RDM 10.3.15 11:59:29 AM システム構成 RDM Type K 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル エコノミー シリーズ 特長 25シリーズ コアレスロッドタイプ コンパクト シリーズ メカストローク：77∼577袢 光学式リニアエンコーダRENISHAW㈱製仕様 LU （120） Lst Lf 37.5 50 N1‒∅5H7深サ5 68 ∅25 M5用Tスロット 50 6.2 100 リファレンスマーク 検出位置 首下2.6 30 （45） 60 275 375 475 575 675 775 N3 2 3 4 5 6 7 最大ストローク Lst [mm] 77 177 277 377 477 577 アクチュエータ質量[kg] 6 8 9 11 12 13 最大ストローク Lst [mm] − − アクチュエータ質量[kg] − − 10 12 13 14 最大ストローク Lst [mm] − − 175 275 375 475 アクチュエータ質量[kg] − − 11 12 14 15 最大ストローク Lst [mm] − − − − 324 424 アクチュエータ質量[kg] − − − − 14 16 RDM2506K RDM2508K RDM2510K 226 326 426 10 Ｍ5用Tスロット詳細 2 x N 3 ‒5.5キリ通シ ∅9.5ザグリ深サ5.4 アクチュエータ全長 LU[mm] RDM2504K 11 526 形番 スライダ長さ Lf[mm] スライダ質量 [kg] N1 RDM2504K 119 2.1 3 RDM2506K 170 3.2 3 RDM2508K 221 4.0 5 RDM2510K 272 4.7 5 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ 50 F A クリーン シリーズ 111 5.3 50 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 寸法図・質量 形番 RDM Type K GLM 10 38シリーズ コアレスロッドタイプ メカストローク：202∼1073袢 光学式リニアエンコーダRENISHAW㈱製仕様 GLM 15 GLM 20 42.5 Lf 50 50 GLM 25 （142） LU Lst N1‒∅5H7深サ5 84 60 ∅38 M6用Tスロット GLS 6.8 8.2 70 首下5.7 140 11.8 KLM （45） 100 46 86 リファレンスマーク検出位置 アクチュエータ全長 LU[mm] 525 625 725 825 N3 4 5 6 7 8 9 10 最大ストローク Lst [mm] 273 373 473 573 673 773 873 アクチュエータ質量[kg] 17 20 22 25 27 30 32 RDM3804K RDM3806K RDM3808K RDM3810K 14 CLM M6用Tスロット詳細 RDM 2 x N 3 ‒6.6キリ通シ ∅11ザグリ深サ6.5 925 1025 1125 1225 1325 11 形番 スライダ長さ Lf[mm] スライダ質量 [kg] N1 RDM3804K 163 4.5 3 RDM3806K 234 6.4 5 RDM3808K 305 8.7 5 RDM3810K 376 10.2 7 12 973 1073 34 RDM‒ mini 37 最大ストローク Lst [mm] 202 302 402 502 602 702 802 アクチュエータ質量[kg] 19 22 24 27 29 32 34 36 39 最大ストローク Lst [mm] − − 331 431 531 631 731 831 931 902 1002 アクチュエータ質量[kg] − − 26 29 31 34 36 39 41 最大ストローク Lst [mm] − − − − 460 560 660 760 860 アクチュエータ質量[kg] − − − − 33 35 38 40 43 RDM P453-466_RDM.indd 454 454 10.3.15 0:00:21 PM エコノミー シリーズ 特長 システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション 近接センサ （２０） ８４ （２０） ８６ RDM38 ＊＊ M GL‒12F （SUNX㈱製） ケーブルチェーン （６０） （１３） （１） 形番 （６０） ８６ （９０） ２４ ８６ （９６） １7.5 （９０） （１０３） GLS （１４８） （６４） （６４） ２０ （８６） ４０ （１０） ８６ GLM 25 ６８ ６８ １０ （７０） ２５ （９０） RDM2504M RDM2504M TKPO1302BR37（㈱椿本チエイン製） KSH24‒42（THK製） GLM 15 ６８ ８６ ２４ ８６ （１４８） （６４） （６４） ２０ （８６． ５） ４０ （１０） ８６ ６８ ６８ （１３） （７０） ２５ １０ ６８ （９０） （１０３） コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ RDM25 ＊＊ M GL‒12F （SUNX㈱製） １３ １３ ８６ １7.5 クリーン シリーズ （３９． ５） （３９． ５） ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ ６８ （９６） コンパクト シリーズ センサ・ケーブルチェーン取付け時寸法（Type M） RDM2504M 15.2（igus㈱製） GLM 20 ケーブル Linear motor series F A GLM 10 ドライバ RDM2506M/2508M/2510M RDM2506M/2508M/2510M 15.2（igus㈱製） TKPO1302BR37（㈱椿本チエイン製） KSH24‒42（THK製） RDM2506M/2508M/2510M ８４ RDM‒ mini （８６） ６８ （７２） ２０ ８６ （６８） ８６ （６７） RDM38＊＊M 15.2（igus㈱製） 455 P453-466_RDM.indd 455 （１） （１０４． ５） （９６） １０ １7.5 ２５ （１４８） （６８） （１３） ８４ ２４ ４０ ８６ （９０） RDM38＊＊M RDM38＊＊M TKPO1302BR37（㈱椿本チエイン製） KSH24‒42（THK製） （１３） RDM （１３） CLM （１３） （１） KLM RDM 10.3.15 0:01:11 PM システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル エコノミー シリーズ 特長 コンパクト シリーズ センサ・ケーブルチェーン取付け時寸法（Type P） 近接センサ ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ （３９． ５） １１４ （４２． ５） ９３ コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ （３２） （２２） クリーン シリーズ F A （１３． ５） １５１ （１３． ５） １６６ RDM25＊＊P GL‒12F （SUNX㈱製） RDM38＊＊P GL‒12F （SUNX㈱製） ケーブルチェーン １２３ （９３． ５） （１０６） （５６． ５） ２５ ２０ １５１ （４９． ５） （１６． ５） （５８） （１６． ５） １０ １７ （１５） １２３ （１４７） （１０６） （５６． ５） ２４ （９３． ５） １２３ １５１ 形番 （１０７） （５６． ５） （９３． ５） ４０ GLM 10 GLM 15 （７５） GLM 20 １５１ GLM 25 RDM25＊＊P RDM25＊＊P 15.2（igus㈱製） TKPO130W20R37（㈱椿本チエイン製） KSH24‒42（THK製） RDM25＊＊P GLS KLM （９３． ５） １４４ CLM （９３． ５） １４４ １４４ RDM38＊＊P 15.2（igus㈱製） １６６ （１４７） （４９． ５） ２４ １６６ （２６． ５） （６１） （２６． ５） （３０） １０ １７ ２０ ４０ （１１１） （１１１） ２５ RDM RDM‒ mini （５６． ５） （５６． ５） （１０７） （９３． ５） １６６ （７５） RDM38＊＊P RDM38＊＊P TKPO130W20R37（㈱椿本チエイン製） KSH24‒42（THK製） RDM P453-466_RDM.indd 456 456 10.3.15 0:01:44 PM エコノミー シリーズ 特長 システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ Linear motor series 近接センサ （１３． ５） ６０ （１７． ３） ８４ （１５． ５） ８６ （１４． ５） （２２） ケーブルチェーン ６８ （７７） ２５ （８９． ５） ４０ ２４ ６８ （６４） ２０ ６８ 形番 RDM2504K 15.2（igus㈱製） １０ （９６） ６０ （７２． ５） ６０ RDM2504K RDM2504K TKPO130W20R37（㈱椿本チエイン製） KSH24‒42（THK製） （７７） ２５ ６８ （８９． ５） ４０ ６０ （９８） （６４） ２０ １４８ （９６） （１０５） GLM 25 １０ １７.5 GLM 20 ６８ ２４ GLM 10 ６８ （９８） （１１． ５） （８１） １１． ５） ６０ １４８ １７.5 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ RDM38＊＊K GL‒12F （SUNX㈱製） （１０５） クリーン シリーズ RDM25＊＊K GL‒12F （SUNX㈱製） １１． ５） ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ ６８ （１５） コンパクト シリーズ センサ・ケーブルチェーン取付け時寸法（Type K） F A GLM 15 ケーブル ６０ RDM2506K/2508K/2510K 15.2（igus㈱製） RDM （７２． ５） RDM2506K/2508K/2510K RDM2506K/2508K/2510K TKPO130W20R37（㈱椿本チエイン製） KSH24‒42（THK製） ８４ （９２） ４０ ８４ （８１） ８４ ２５ （６５） ２４ RDM‒ mini （８０） RDM38＊＊K 15.2（igus㈱製） 457 P453-466_RDM.indd 457 ８６ （６９） （１８． ５） ８６ （１３． ５） （１０５） （９６） １０ （１４８） １７.5 ２０ ８６ （９６） RDM38＊＊K RDM38＊＊K TKPO130W20R37（㈱椿本チエイン製） KSH24‒42（THK製） （１３． ５） CLM （８１） （１１． ５） ６０ （１１． ５） KLM （１１． ５） GLS RDM 10.3.15 0:02:25 PM システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル エコノミー シリーズ 特長 450W 1500W SGDH‒05AEY140‒N SGDH‒15AEY140‒N 高速パルス入力基板付き仕様 ［JUSP ‒ LD001A］ SGDH‒05AEY140‒H SGDH‒15AEY140‒H ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 最大適用サーボモータ容量 高速パルス入力基板無し仕様 コンパクト シリーズ サーボパック 仕様 サーボパック形式 SGDH‒ 05 AEY140 ‒N SGDH‒15 AEY140 ‒N 三相 AC 200 ∼230V（‒15∼+10 %） 50 ∼ 60 Hz 制御回路入力電源 単相 AC 200 ∼230V（‒15∼+10 %） 50 ∼ 60 Hz 入力電流 4 Arms以下（定格負荷時） 突入電流 70A OP（参考値） 漏れ電流 ※ 2 . 5 mArms（参考値） 3 mArms（参考値） 1. 9 kg 3 . 0 kg 4 . 9 m/s ／19 . 6 m/s 2 2 1.7kg 2 . 8 kg 性能 0 ∼450 mm/s（設定分解能 1mm/s） 入力信号 位置制御モード 0 ∼100 %（設定分解能 1%） 0 ∼250 指令単位（設定分解能 1指令単位） 入力パルス種類 符号+パルス列、 CCW+CWパルス列、90度位相差 2 相パルス（A相+B相）のうち、 いずれか1種類を選択 入力パルス形態 ラインドライバ（+ 5 Vレベル） 、 オープンコレクタ（+ 5 Vまたは+12Vレベル） 入力パルス周波数 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ 90 %RH以下（結露なきこと） 位置決め完了幅設定 CN1 最大500 kHz（オープンコレクタの場合は最大 200 kHz） CN8 ー 制御信号 速度制御範囲 最大4MHz（90度位相差2相パルス（A+B相） の場合は 最大1MHz） クリア信号（入力パルス形態は指令パルスと同一） 1：5000（速度制御範囲の下限は、定格負荷時停止しない条件） 0 ∼100 %負荷時 ：±0 . 01%以下（定格速度にて） 定格電圧±10 %にて ：0 %（定格速度にて） 温度変動率 25±25 ℃にて ：±0 .1%以下（定格速度にて） 推力制御精度再現性 ソフトスタート時間設定 指令電圧 400 Hz（J L=J Mにて） DC±6V/定格速度：出荷時設定 可変設定範囲：DC±2∼±10V/定格速度、許容入力電圧：±12V（max） 入力信号 回路時定数 約47μs 回路時定数 入出力信号 位置信号出力 シーケンス入力信号 シーケンス出力信号 通信機能 内蔵機能 ダイナミックブレーキ（DB）機能 エンコーダ分周機能 電子ギヤ 観測用アナログモニタ機能 保護機能 GLM 15 0 ∼10 s（加速・減速それぞれ設定） 約14kΩ 入力インピーダンス GLM 10 ±2 % 入力インピーダンス 指令電圧 形番 性能 速度・推力制御モード 負荷変動率 電圧変動率 周波数特性 推力指 令入力 3 mArms（参考値） 耐振動／耐衝撃 フィードフォワード補償 速度指 令入力 10Arms以下（定格負荷時） 0 ∼+ 55 ℃／‒ 20 ∼+85 ℃（凍結なきこと） バイアス設定 速 度 変動率 F A 4 Arms以下（定格負荷時） 使用・保存湿度 概略質量 指 令 パルス SGDH‒15 AEY140 ‒H 10Arms以下（定格負荷時） 2 . 5 mArms（参考値） 使用温度／保存温度 SGDH‒ 05 AEY140 ‒H クリーン シリーズ 使用条件 基本仕様 基本仕様 主回路入力電源 GLM 20 GLM 25 DC±3V/定格推力指令：出荷時設定 可変設定範囲：DC±1∼±10V/定格トルク指令、許容入力電圧：±12V（max） GLS 約14kΩ 約47μs KLM A相、B相、C相：ラインドライバ出力 サーボオン、P動作（または、制御モード切替え、ゼロクランプ、指令パルス阻止）、正方向/逆方向駆動禁止、アラ ームリセット、正方向側/逆方向側電流制限（または、内部速度切替え） CLM サーボアラーム、アラームコード（3ビット出力）：CN1の出力端子は固定 RDM サーボレディ、位置決め完了（速度一致）、モータ回転中、電流制限中、速度制限中、ブレーキ解放、警告、 NEARの中から、3 種類の出力信号を選択可能 接続機器：デジタルオペレータ（ハンディ形）、パソコンなどのRS‒ 422 Aポート（条件付きでRS‒ 232 Cポート） RDM‒ mini 主電源オフ、サーボアラーム、サーボオフ時、オーバトラベル時にDB動作 任意分周 0 . 01＜B/A＜100 速度、推力指令信号などの観測のためのアナログモニタ用コネクタを内蔵 過電流、過電圧、不足電圧、過負荷、回生異常、主回路検出部異常、ヒートシンク過熱、電源欠相、オーバーフロ ー、過速度、エンコーダ異常、暴走防止、CPU異常、パラメータ異常など ※ ケーブル長さ3m、シールド無しでの値です。 RDM P453-466_RDM.indd 458 458 10.3.15 0:03:00 PM エコノミー シリーズ 特長 システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ 外形寸法 SGDH‒05AEY140‒N（高速パルス入力基板無し仕様） ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ YASKAWA SERVOPACK 200V SGDHVer. MODE/SET DATE/ CHARGE F A L1 クリーン シリーズ L2 POWER C N 3 160 L3 1 2 C N 1 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ L1C L2C B1 B2 B3 C N 2 U V W 90 8 （75） 180 SGDH‒15AEY140‒N（高速パルス入力基板無し仕様） 形番 GLM 10 GLM 15 160 GLM 20 GLM 25 GLS KLM CLM RDM RDM‒ mini 110 459 P453-466_RDM.indd 459 8 （75） 180 RDM 10.3.15 0:03:34 PM システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル エコノミー シリーズ 特長 コンパクト シリーズ SGDH‒05AEY140‒H（高速パルス入力基板付き仕様） YASKAWA SERVOPACK 200V SGDH- MODE/SET ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ LD001A Ver. DATE/ CHARGE L1 L2 POWER C N 3 160 L3 F A 1 C N 1 C N 8 クリーン シリーズ 2 L1C L2C B1 B2 V C N 2 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ B3 U C N 4 W 110 （75） 180 注）空き端子は、中継などに使用しないでください。 SGDH‒15AEY140‒H（高速パルス入力基板付き仕様） 形番 GLM 10 GLM 15 160 GLM 20 GLM 25 GLS KLM CLM RDM RDM‒ mini 130 （75） 180 注）空き端子は、 中継などに使用しないでください。 RDM P453-466_RDM.indd 460 460 10.3.15 0:03:58 PM エコノミー シリーズ 特長 システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ 接続図 ■三相電源仕様 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ R S T 三相AC200∼230V （50/60Hz） +10% ‒15% 1MCCB ノイズフィルタ 電源OFF 電源ON 1MC アラーム処理 1MC クリーン シリーズ F A 電磁接触器、 リレーのコイルにはサージサプレッサを つけてください SUP ※3 1MC B1 L1 ※5 B2 B3 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ A（1） モータ B（2） M C（3） U L2 L3 L1C L2C 1 SGDH V W D（4） ※4 シリアル変換モジュール 2 光学式エンコーダ PG CN2 必ず接地してください 5 SG 6 速度指令 （±2∼10V/定格速度） 推力指令 （±1∼10V/定格推力） CN1 ※2 V‒REF T‒REF 9 SG 10 シールド線の端末処理を 確実に行ってください LPF 37 ※2 A/D 38 LPF 39 ALO1 アラームコード出力 最大使用電力 DC30V ALO2 最大出力電流 DC20mA ALO3 ※1 PULS CW A相 形番 SIGN CCW B相 位置指令 GLM 10 CLR PULS 7150Ω /PULS 8 SIGN 11 /SIGN 33 PAO 34 /PAO 12 35 CLR 15 36 PG分周出力 適用ラインレシーバ /PBO TI製SN75175 または MC3486相当品 /CLR 14 +12V GLM 15 PL1 オープンコレクタ PL2 指令用電源 PL3 GLM 20 ※6 +24V GLM 25 1Ry 1Ryオンでサーボオン GLS 2RyオンでP動作 P‒LSオフで正転駆動禁止 KLM N‒LSオフで逆転駆動禁止 2Ry 6Ryオンで正転側電流制限ON RDM‒ mini 7Ryオンで逆転側電流制限ON PCO 20 /PCO 25 /V‒CMP+速度一致検出 （/COIN+） ：速度一致検出でON /V‒CMP‒ 位置決め完了 （/COIN‒）：位置決め完了ON 26 +24V 47 3.3KΩ /S‒ON 40 ／サーボON /P‒CON 41 比例制御 （P動作） 27 28 /TGON+ TGON出力 /TGON‒ ：設定値以上でON P‒OT 42 正転駆動禁止 N‒LS N‒OT 43 逆転駆動禁止 29 アラーム リセット 30 /S‒RDY+ サーボレディ出力 /S‒RDY‒：レディでON 正転側電流 制限ON 逆転側電流 制限ON 31 ALM+ 32 ALM‒ 3Ryオンでアラームリセット RDM 18 19 P‒LS 3Ry CLM 31KΩ 13 PBO /ALM‒RST 44 /P‒CL 45 6Ry 7Ry /N‒CL 46 コネクタシェル サーボアラーム出力 ：アラームでOFF フォトカプラ 最大使用電圧DC30V 最大出力電流DC50mA FG シールド線はコネクタシェルにつきます ※1 はツイストペア線を示しています。 時定数47μsです。 ※2 一次フィルタで、 ※3 本回路は感電のおそれがあるので、 外部からの接触防止のため保護分離しています。 他の回路から分離されています。 ※4 SELV回路です。二重絶縁あるいは強化絶縁による保護分離により、 B1‒B2端子間に外置き回生抵抗器を接続します（B3端子はありません） 。 ※5 容量6.0kW以上のドライバの場合は、 二重絶縁された機器をご使用ください。 ※6 DC24V電源は、 461 P453-466_RDM.indd 461 RDM 10.3.15 0:04:38 PM システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル エコノミー シリーズ 特長 コンパクト シリーズ サーボパック入出力信号機能説明 ［CN1］ はんだ付けタイプ ケース メーカ 10150‒3000VE 10350‒52A0‒008 住友スリーエム㈱ 10250‒52A2JL 相当品 ライトアングル 50P ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 適用リセプタクル形式 サーボパック内使用コネクタ仕様 ［CN1］ 注）CN1コネクタはドライバに付属します。 信号名 /S‒ON ピンNo. 40 機能 サーボオン：インバータ部のゲートブロック解除により、 モータが通電状態になります。 クリーン シリーズ F A ユーザ定数の設定により、機能を選択します。 /P‒CON オンで速度制御ループがPI（比例・積分）制御からP（比例）制御に切替わります。 内部速度指令選択の場合：回転方向を切替えます。 制御モード切替え 制御モードの切替え可能（位置⇔速度、位置⇔トルク、 トルク⇔速度） ゼロクランプ指令 ゼロクランプ機能付き速度制御：オンで速度指令をゼロとみなします。 指令パルス阻止指令 指令パルス阻止機能付き位置制御：オンで指令パルスの入力を阻止します。 オーバートラベル防止：機械の可動部が移動できる領域を超えたときに、 モータの駆動を停止 します。 P‒OT N‒OT 42 43 正転駆動禁止 逆転駆動禁止 /P‒CL /N‒CL 45 46 正転側電流制限オン 逆転側電流制限オン オンで電流制限機能が有効。 内部速度切替え 内部速度指令選択の場合：内部設定速度を切替えます。 /ALM‒RST 44 アラームリセット：サーボアラーム状態を解除します。 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ 共通 41 比例動作指令 回転方向指令 ユーザ定数の設定により、機能を選択します。 入力信号 シーケンス信号用制御電源入力：+24V（電源は貴社にてご用意ください）動作可能電圧範囲：+11∼+25 V +24VIN 47 V‒REF 5 （6） トルク T‒REF 9（10） 速度 共通 ※ 速度指令入力：±2∼±10V／定格回転速度（入力ゲインはユーザ定数で変更可能） トルク指令入力：±1∼±10V／定格トルク（入力ゲインはパラメータで変更可能） PULS /PULS SIGN /SIGN 7 8 11 12 指令パルス入力 ラインドライバ、 オープンコレクタに対応 CLR /CLR 15 14 偏差カウンタクリア：位置制御時に偏差カウンタをクリアします。 PL1 PL2 PL3 3 13 18 ALM+ ALM‒ 31 32 サーボアラーム：異常検出により、オフします。 /TGON+ /TGON‒ 27 28 モータ動作中検出：モータが設定値以上の速度で動作中であることを検出します。検出速度はユーザ定数で設定可能 です。 /S‒RDY+ /S‒RDY‒ 29 30 サーボレディ：制御/主回路電源オンでサーボアラ−ムが発生していない場合オンします。 GLM 25 A相信号 GLS 入力モード ・符号+パルス列 ・CCW/CWパルス ・2 相パルス（90度位相） 形番 位置 命令 ※ PULS、SIGN、およびCLR指令信号がオープンコレクタ出力信号の場合、 +12Vプルアップ電源を供給します。 （+12V電源はドライバ内蔵） ※ GLM 15 出力信号 PAO /PAO PBO /PBO PCO /PCO 33 （1） 34 35 36 19 20 ALO1 ALO2 ALO3 37 38 ※ 39 （1） アラームコード出力：3ビットでアラームコードを出力します。 オープンコレクタ 最大定格 30V 20 mA FG シェル 入出力信号用ケーブルのシールド線はコネクタシェルに接続しますと、 フレームグランド（アース）に接続されます。 B相信号 C相信号 GLM 10 2 相パルス（A相、B相） 変換エンコーダ出力信号および原点パルス（C相） 信号：RS 422 相当 KLM CLM RDM RDM‒ mini 速度 /V‒CMP+ /V‒CMP‒ 25 26 速度一致（速度制御モードの場合に出力）：モータ速度が設定範囲内で、速度指令値に一致したことを検出します。 位置 /COIN+ /COIN‒ 25 26 位置決め完了（位置制御モードの場合に出力）：偏差パルスが設定値以内に入った時にオンします。 設定値は偏差パルスのパルス数で、指令単位（電子ギヤで定義した入力パルスの単位）で設定します。 予備 GLM 20 16, 17, 23 空き端子は、 中継などに使用しないでください。 24, 50 ※（ ）内のピン No. はシグナルグランドを示します。 RDM P453-466_RDM.indd 462 462 10.3.15 0:05:09 PM エコノミー シリーズ 特長 システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ ［CN8］ （高速指令パルス入力コネクタ） 適用リセプタクル形式 サーボパック内使用コネクタ仕様 ［CN8］ ケース メーカ 10126‒3000VE 10326‒52A0‒008 住友スリーエム㈱ 10226‒52A2JL 相当品 ライトアングル 26P 注）CN8コネクタは高速パルスボードに付属します。 信号名 入力信号 ︵ＣＮ８︶ ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ はんだ付けタイプ クリーン シリーズ F A 位置 指令 ピンNo. 機能 指令パルス入力 R S 4 2 2 準拠ラインドライバ（T I製S N 75174 相当 品） に対応。インターフェースは、ラインレシーバ （TI製SN75175 相当品）仕様。 入力モード 符号+パルス列 CCW/CWパルス 2 相パルス（90度位相） PULS /PULS SIGN /SIGN 10 11 12 13 CLR /CLR 17 18 偏差カウンタクリア：位置制御時に偏差カウンタをクリアします。 SG（GND） SG（GND） 19 26 パルス指令コントローラ側のパルス出力のSGとドライバSGは必ず接続して同レベルにしてください。 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ インターフェース回路 上位装置例 高速指令パルス入力インターフェース 出力ラインドライバ TI製 SN75174 相当品 形番 GLM 10 PULS CN8‒10 /PULS CN8‒11 SIGN CN8‒12 /SIGN CN8‒13 CLR CN8‒17 /CLR CN8‒18 SG 入力ラインレシーバ TI製 SN75175 相当品 CN8‒19, 28 0V コネクタシェル GLM 15 GLM 20 FG はツイストペア線を示しています。 GLM 25 GLS 端子配列 KLM CLM 1 RDM RDM‒ mini 2 − − 4 − − 3 6 − − − − − − 10 PULS 12 SIGN 指令パルス 入力 指令符号 入力 5 − − 7 − − 9 − 11 /PULS 13 /SIGN − − 17 CLR クリア 入力 − − 8 15 19 SG GND 21 − − 23 − − 25 − − − 指令パルス 入力 指令符号 入力 14 − − 16 − − 18 /CLR クリア 入力 20 − − 22 − − 24 − − 26 SG GND 注1）空き端子には、接続しないでください。 注2）ケーブルのシールド線はコネクタシェルに接続してください。 注3）アクチュエータ側コネクタでFG （フレームグランド）に接続されます。 463 P453-466_RDM.indd 463 RDM 10.3.15 0:43:44 PM システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル エコノミー シリーズ 特長 コンパクト シリーズ シリアル変換モジュール ［JZDP‒D010‒＊＊＊］ 注）シリアル変換モジュールはアクチュエータ本体に付属します。 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 仕様 電 気 的 特 性 環 境 F A 平衡型トランシーバ（SN75LBC176相当）、内部終端抵抗120Ω ディファレンシャル入力差動振幅：0.4∼1.2V 入力信号レベル：1.5∼3.5V スルーでCN1へ出力されます。 CMOSレベル入力 250g 90mm×60mm×23mm（本体部） 98m/s2 max. （10∼2500Hz） 3方向 980m/s2 （11ms） 3方向 2回 0∼55℃ -20∼+80℃（凍結なきこと） 20∼90%RH（結露なきこと） コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ 機 械 的 特 性 +5.0V ±5% リップル含有率5%以下 120mA Typ. 350mA Max. 入力2相正弦波ピッチの1/256 250kHz 位置データ、ホールセンサ情報、アラーム シリアルデータ伝送（マンチェスタコードによるHDLCフォーマット） 62.5μs クリーン シリーズ 電源電圧 消費電流※1 信号分解能 最高応答周波数 出力信号※2 出力方式 通信周期 出力回路 アナログ信号入力 ［Cos, Sin, Ref］ リミットスイッチ入力信号 ホールセンサ入力信号 質量 外形寸法 耐振動 耐衝撃 動作温度範囲 保存温度範囲 湿度範囲 ※1 接続されるリニアスケール及びホールセンサの消費電流は含まれていません。 ※2 出力信号は電源投入後100∼300ms後に送信可能となります。 2‒4＃40穴UNCタップ 23 外形寸法 3.を参照 4‒∅4.2 2‒∅4.2 形番 1.を参照 60 52 10 NP GLM 10 300 1.5 3 65 72 82 90 2.を参照 GLM 15 4‒M5 深サ10 GLM 20 GLM 25 GLS 標準インターフェース 1. サーボパック側 シリアルデータ出力 ピンNo. 1 2 5 9 3 4 5 6 1 6 7 第一電子工業㈱製 8 17シリーズコネクタ 9 コネクタ：17JE‒13090‒02（D2C） ケース （ソケット） KLM 信 号 +5V S相出力 空き 空き 0V /S相出力 空き 空き 空き シールド 2. アクチュエータ側 アナログ信号入力 ピンNo. 1 9 2 3 4 5 6 15 8 7 第一電子工業㈱製 8 17シリーズコネクタ 9 コネクタ：17JE‒13150‒02（D8C） 10 （ソケット） 11 12 13 14 15 ケース 1 信 号 /Cos入力（V1‒） /Sin入力（V2‒） Ref入力（V0+） +5V 5Vs 空き 空き リミットスイッチ（Vq） Cos入力（V1+） Sin入力（V2+） /Ref入力（V0‒） 0V 0Vs 空き インナー シールド 3. アクチュエータ側 ピンNo. 信 号 ホールセンサ信号入力 +5V 1 U相出力 2 1 6 V相出力 3 W相出力 4 0V 5 9 /U相出力 6 5 /V相出力 7 第一電子工業㈱製 /W相出力 8 17シリーズコネクタ 空き 9 コネクタ：17JE‒13090 ケース シールド CLM RDM RDM‒ mini 注 1）空きピンは使用しないでください。 注 2）RENISHAW㈱製スケール （アナログ1Vp‒p出力, D‒sub15ピン） を直接つなぐことができます。 ただし、 BID, DIRは接続されていません。 注3）スケールの原点仕様を変更される場合には、 スケール側コネクタ内で変更してください。 RDM P453-466_RDM.indd 464 464 10.3.15 0:44:42 PM エコノミー シリーズ 特長 システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル Linear motor series コンパクト シリーズ ケーブル仕様 RKD‒＊＊：動力ケーブル ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ ＜モータ側＞ ＜サーボパック側＞ 丸形コネクタプラグ （メス） NJC‒204‒PF 〔TUV品〕 （㈱七星科学研究所製） ∅8.1 芯線バラケ防止用はんだ付け処理済み U V W F A クリーン シリーズ FG S L ＜シリアル変換モジュール側＞ ＜磁極センサ側＞ ∅7 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ RKJP‒03：磁極センサケーブル（可動部配線用） ケーブル：ME12V05（㈱潤工社製） フード ：XM2S‒0913（オムロン㈱製） ソケット：XM2D‒0901（オムロン㈱製） フード ：XM2S‒0913（オムロン㈱製） ソケット：XM2A‒0901（オムロン㈱製） 形番 JZSP‒CLP20‒＊＊：シリアルケーブル（固定配線用） ＜サーボパック側＞ GLM 10 ＜シリアル変換モジュール側＞ Ｌ (∅6.8) GLM 15 GLM 20 JZSP‒CLP20‒＊＊ GLM 25 GLS プラグコネクタ：55100‒0600 日本モレックス㈱製 KLM ケーブル： DP9404259 UL20276（ＡＷＧ16×2C + ＡＷＧ26×2P） CLM RDM RDM‒ mini 17シリ−ズコネクタ コネクタ： １７ＪＥ‒２３０９０‒０２ （Ｄ８Ｃ） （9ピン） 第一電子工業㈱製 JZSP‒CLP70‒＊＊：シリアルケーブル（可動部配線用） ＜サーボパック側＞ ＜シリアル変換モジュール側＞ （∅6.8） Ｌ JZSP‒CLP70‒＊＊ プラグコネクタ：55100‒0600 日本モレックス㈱製 465 P453-466_RDM.indd 465 ケーブル： UL20276 （ＡＷＧ22×2C + ＡＷＧ24×2P） 17シリ−ズコネクタ コネクタ： １７ＪＥ‒２３０９０‒０２ （Ｄ８Ｃ） （9ピン） 第一電子工業㈱製 RDM 10.3.20 5:38:41 AM システム構成 形番 基本仕様 寸法図 オプション ドライバ ケーブル エコノミー シリーズ 特長 コンパクト シリーズ スライダへの取付け用Tナット （付属品） M, Kタイプのアクチュエータにはスライダへの取付け用Tナットが付属します。 ユニバーサル スーパー シリーズ シリーズ 付属個数 外形寸法 RDM 2508 M/K RDM3806 M/K RDM3810 M/K 16 4 F A 10 20 8 M 6×1.0 DIN508 （SUS 304） M6×1.0 T ナット 12 10 M6通シ 16 20 コントローラ リニアモータ 精密ステージ シリーズ シリーズ シリーズ RDM3808 M/K 12 M5通シ クリーン シリーズ RDM 2510 M/K RDM3804M/K M 5×0. 8 DIN508 （SUS 304） 10 RDM 2506 M/K 8 8 13 RDM 2504M/K M5×0.8 T ナット 付属個数 6 コマタイプ 8 形番 6 13 ベース固定用部品（オプション） M, Pタイプのアクチュエータのベース固定には専用の固定用部品を用意しています。 8 形番 分類形番：UT（底面からのベース固定用Tナット） M5通シ 6 10 GLM 10 4 GLM 15 10 GLM 20 GLM 25 分類形番：UC（側面からのベース固定用コマ） ［ショートタイプ］ 1.4 6.5キリ通シ∅11ザグリ深サ6 GLS 6 CLM 2.5 7 14 19.3 KLM 11.5 12.5 RDM 25 RDM‒ mini 分類形番：UL（側面からのベース固定用コマ） ［ロングタイプ］ 2.5 7 14 19.3 1.4 4‒6.5キリ通シ∅11ザグリ深サ6 6 11.5 12.5 40 40 40 145 RDM P453-466_RDM.indd 466 466 10.3.20 5:45:36 AM リニアモータ駆動製品 ■ 安全上の注意 ■ ・本製品を落下させたり、 叩いたりしないでください。怪我や破損の原因になります。 ・本製品を分解しないでください。異物の侵入や精度劣化の原因となります。 また、 ドライバは感電の恐れがあります。 ・GLM10/15/20/25：PLシールはアクチュエータ本体のエンドプレートに貼付されています。エンドプレートなしのアクチュエータオプ ションをご選定いただいた場合には、PLシールが貼付されませんので貴社にて準じたものをご用意ください。 ・マグネットプレート （固定子）は強力なマグネットです。強磁性体 （特に金属類） を近づけないでください。マグネットの吸引力により、マグ ネットと金属片の間に指等をはさまれる可能性があります。 また、 心臓ペースメーカを使用されている方は絶対に近づかないでください。 ・通電中はアクチュエータの動作部には、絶対に触らないでください。また、製品の作動中または作動できる状態のときは、アクチュエー タの作動範囲に立ち入らないでください。 ・アクチュエータ本体、 ドライバおよび接続されている関連機器の設置、調整、点検、保守作業を行う際は、必ず全ての電源プラグをコン セントから抜き、作業者以外が電源を投入復帰できないように、施錠、 または安全プラグ等をご用意ください。 また、作業中の旨を明記し た物を見易い位置に掲示してください。 ・複数の人が作業を行う場合は、手順、 合図、 異常等の措置を予め確認し、 別途、作業を監視する人をおいてください。 ・取扱説明書をよく読み、 内容を十分理解し、安全のための注意事項は、 必ず厳守してください。 および厚生労働省「労働安全衛生規則」を ・作業の前に、 JIS規格「産業用マニピュレーティングロボット−安全性」 （JIS B8433−1） 精読し、遵守してください。 ■ 使用環境 ■ アクチュエータとドライバは、使用環境が悪いと故障の原因となりますので、次のような場所でご使用ください。 ・アクチュエータは屋内、周囲温度0∼40℃の範囲内、周囲湿度80％RH以下 （凍結および結露なきこと） ・ドライバは屋内、 周囲温度0∼50℃の範囲内、周囲湿度90％RH以下 （凍結および結露なきこと） ・腐食性ガスや可燃性ガスがない場所 ・鉄粉等の誘電性のある粉体、 塵埃、 オイルミスト、 切削液、水分、塩分、及び有機溶剤が飛散しない場所 ・直射日光、輻射熱が当たらない場所 ・強電界、 強磁界の発生しない場所 ・振動や衝撃が本体に伝わらない場所 ・点検や清掃のしやすい場所 ■ 保管 ■ ・本製品は、 弊社の梱包および荷姿で、高温、低温、 多湿を避け、 水平な状態で保管してください。 ■ 取扱説明書 ■ ・各取扱説明書はウェブサイトからダウンロードできます （ログインが必要な場合もあります） 。 THKアクチュエータサイト http://www.ea-thk.com/ 「リニアモータアクチュエータ GLM10/20 取扱説明書 TDドライバ仕様」 「リニアモータアクチュエータ GLM10/20 取扱説明書 汎用ドライバ仕様」 「リニアモータアクチュエータ GLS 取扱説明書」 「リニアモータアクチュエータ KLM46 取扱説明書」 「リニアモータアクチュエータ CLM 取扱説明書」 「リニアモータアクチュエータ RDM 取扱説明書」 「リニアモータアクチュエータ RDM−mini 取扱説明書」 「リニアモータロッドタイプ 取扱説明書 （モータ単体）」 その他、 ＣＡＤデータやパソコンソフト等もダウンロードできます。 19 前付_P003-020.indd 19 10.3.20 8:50:36 AM